专利名称：内置式磁控溅射源用冷却水接头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于内置式磁拦溅射源的冷却水接头。
目前常用的磁控溅射源冷却水接头为外置式，采用将橡皮管插在带有倒齿的管接头上，若该接头随磁控溅射靶一起置入真空室中，则会破坏真空环境，使设备无法运行。
本实用新型的发明目的在于提供一种真空室内使用的内置式磁控溅射源用冷却水接头。
本实用新型采用下述技术方案来实现其发明目的本实用新型由塑料锥形头(1)、锁紧头(2)和进水头(3)组成，在锥形塑料头(1)的锥面上设有螺纹，在塑料锥形头(1)上还设有凸缘(4)，在锁紧头(2)内设有阶梯通孔，其小孔直径大于塑料锥形头(1)的外径且小于其凸缘(4)的外径，在阶梯通孔之大孔内设有内螺纹，在进水头(3)的一端设有能与上述大孔内螺纹相配合的外螺纹，并在该端面上设有凸环(5)，塑料锥形头(1)与进水头(3)通过锁紧头(2)固紧连接，在塑料锥形头(1)和进水头(3)的内部分别设有能够相通的水流孔(6)和(7)。
与现有技术相比，本实用新型具有如下优点本实用新型的塑料锥形头具有良好的电绝缘性能，从而使本实用新型具有绝缘性能好的优点；由于本实用新型采用了塑料锥形头，尤其是采用尼龙等工程塑料锥形头，使其在与磁控溅射源旋紧时能够产生适度的变形，保证了真空密封；而涂覆在锥形面上的环氧树脂进一步填补了螺纹连接部位的间隙，提高了密封性能。由于锁紧头的作用使进水头的凸环，尤其是锥形凸环能够紧紧压入塑料锥形头，实现了真空密封。另外，本实用新型适用于平面磁控溅射靶、园柱磁控溅靶及S枪，故具有适用面广的优点。
图1是本实用新型的结构示意图。
下面对照附图对本用新型的实施方案作一详细描述本实用新型由塑料锥形头(1)、锁紧头(2)和进水头(3)组成，塑料锥形头(1)可采用工程塑料锥形头，尤其可以优先采用尼龙、聚四氧乙烯、聚乙烯锥形头，还可选用韧性和塑料性较好的工程塑料锥形头，在本实施例中选择尼龙锥形头，尼龙锥形头材料强度适中，在受力作用下能适度变形，因而可提高真空密封性能。在该锥形头的锥面上设有螺纹，在本实施例中该螺纹采用管螺纹，在锥形头上还设有凸缘(4)，在锁紧头(2)内设有阶梯通孔，其小孔直径大于锥形头(1)的外径且小于其凸缘(4)的外径，在阶梯通孔之大孔内设有内螺纹，在进水头(3)的一端设有能够与上述大孔内螺纹相配合的外螺纹，在进水头(3)的外螺纹端的端面上设有凸环(5)，在本实施例中凸环(5)采用锥形凸环，进水头采用硬质材料制成，例如锥形头(1)与进水头(5)通过锁紧头(2)固紧连接，在锥形头(1)和进水头(5)的内部分别设有能够相通的水流孔(6)和(7)。在使用时，先将塑料锥形头(1)套入锁紧头(2)；并在锥形头(1)的螺纹部分涂敷一层环氧树脂，然后用力将塑料锥形头旋入溅射靶座(8)，通过塑料锥形头的适度变形和固化后的环氧树脂，填补锥形螺纹连接部分的间隙，以实现这个部位的真空密封。而塑料锥形头(1)与进水头(3)之间的密封则依靠锁紧头(2)的固紧，当旋紧锁紧头(2)时，进水头(3)的凸环会嵌入塑料锥形头，从而实现真空密封。
权利要求1.一种内置式磁控溅射源用冷却水接头，其特征在于该冷却水接头由塑料锥形头(1)、锁紧头(2)和进水头(3)组成，在塑料锥形头(1)的锥面上设螺纹，在塑料锥形头(1)的上还设有凸缘(4)，在锁紧头(2)内设有阶梯通孔，其小孔直径大于塑料锥形头(1)的外径且小于其凸缘(4)的外径，在阶梯通孔之大孔内设有内螺纹，在进水头(3)的一端设有能与上述大孔内螺纹相配合的外螺纹，并在该端面上设有凸环(5)，塑料锥形头(1)与进水头(3)通过锁紧头(2)固紧连接，在塑料锥形头(1)和进水头(3)的内部分别设有能够相通的水流孔(6)和(7)。
2.根据权利要求1所述的内置式磁控溅射源用冷却水接头，其特征在于塑料锥形头(1)采用工程塑料锥形接头。
3.根据权利要求2所述的内置式磁控溅射源用冷却水接头，其特征在于锥形头(1)采用尼龙锥形头。
4.根据权利要求2所述的内置式磁控溅射源用冷却水接头，其特征在于锥形头(1)采用聚四氧乙烯锥形接头。
5.根据权利要求2所述的内置式磁控溅射源用冷却水接头，其特征在于锥形头(1)采用聚乙烯锥形接头。
6.根据权利要求1或2所述的内置式磁控溅射源用冷却水接头，其特征在于凸环(5)为锥形凸环。
专利摘要本实用新型公开了一种内置式磁控溅射源用冷却水接头，它由塑料锥形头、锁紧头和进水头组成，在塑料锥形头的锥面上设有螺纹，在锥形头上还设有凸缘，在锁紧头内设阶梯通孔，其小孔直径大于锥形头外径且小于凸缘外径，阶梯孔之大孔内设内螺纹，在进水头的一端设有与大孔内螺纹相配的外螺纹，在该端面上设有凸环，锥形头与进水头通过锁紧头固紧连接，它们内部分别设有相通水流孔，本实用新型具有绝缘性与真空密封性良好的优点。
文档编号C23C14/35GK2206792SQ9424222
公开日1995年9月6日 申请日期1994年7月16日 优先权日1994年7月16日
发明者陈国平, 陈丹晔, 张浩康 申请人:东南大学