一种玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法

文档序号:8248293阅读:547来源:国知局
一种玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法
【技术领域】
[0001]本发明属于无机材料涂层制备领域,特别涉及一种适用于玻璃或陶瓷基板的制作导电层化学镀铜的工艺。
【背景技术】
[0002]在玻璃或陶瓷基板的表面化学镀铜时,通常首先将玻璃或陶瓷基板用NaOH、KOH或HF的溶液进行表面粗化处理,再经过钯溶液的活化处理后,进行化学镀铜,然后经过涂覆感光膜、蚀刻等工艺,在玻璃或陶瓷基板上得到线路。但是,这样的粗化处理方法,往往很难得到附着强度良好的镀铜层。另外由于钯的活化处理,钯在玻璃、或陶瓷基板上的残留,影响铜导线间的绝缘电阻,有时还需要进行去除残留钯的处理。

【发明内容】

[0003]本发明很好地解决了上述现行工艺的不足,实现了不经粗化和钯活化处理,即可得到附着强度良好的化学镀铜层。为了达成上述目的,本发明使用锌粉、铜盐和虫胶的以醇为溶剂的悬浊粘稠液,将该粘稠液涂附于玻璃或陶瓷的表面,经80?120°C,5?15分钟烘干后,再经过300?600°C,10?30分钟的高温烧结处理,在基板表面即可得到含有锌和氧化铜的膜,即可进行化学镀铜,所得到的铜镀层附着强度良好。
[0004]上述悬浊粘稠液的配制方法为,将虫胶溶解于醇类溶剂后得到虫胶粘稠液,再将锌粉和铜盐加入到虫胶粘稠液中,即得到用于玻璃或陶瓷基板的前处理悬浊粘稠液,
[0005]其中,上述玻璃基板的材料是以Na20、Si02、Ca0为主成分的硅酸盐玻璃;陶瓷基板是碳化硅、氧化铝或氮化铝陶瓷,
[0006]上述的醇类溶剂为一元醇、二元醇或多元醇,只要是可以充分溶解虫胶的溶剂即可,其中以乙醇为最佳,
[0007]将虫胶溶解在醇类溶剂中的浓度为100?500g/L,浓度大于500g/L时,所配制的粘稠液的粘度过大,难以在基板上进行涂覆,虫胶的浓度小于100g/L时,所配制的粘稠液的粘度过小,难以在基板上成膜,虫胶的最佳浓度为300g/L ;
[0008]上述铜盐中,阴离子可以是无机阴离子或有机阴离子:无机阴离子如硫酸根离子、硝酸根离子、氯离子、溴离子、碘离子等,其中以硫酸根离子为最佳;有机阴离子可以是醋酸根离子、甲酸根离子、柠檬酸根离子等,从成本等角度考虑,以乙酸根离子为最佳,
[0009]并且,铜盐向粘稠液中的加入量为0.1?10g/L,浓度大于10g/L时,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、烧结后,制备的膜易于龟裂,铜盐的浓度小于0.lg/L时,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、烧结、进行化学镀铜时,起镀时间过长,镀层质量不佳,锌盐的最佳使用量为5g/L ;
[0010]上述锌粉粒径小于100 μ m,锌粉向粘稠液中的加入量为I?10g/L,浓度大于1g/L时,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、烧结后,制备的膜易于龟裂,锌粉的浓度小于lg/L时,在玻璃或陶瓷基板上涂覆、烧结、进行化学镀铜时,起镀时间过长,镀层质量不佳,锌盐的最佳使用量为5g/L。
[0011]对于上述的化学镀铜而言,可以采用通常的化学镀铜处理:镀液的组成为,硫酸铜10?20g/L、EDTA.4Na 30?40g/L、甲醛2?4ml/L,用氢氧化钠调节镀液的pH为12,化学镀时间可设定为30分钟,温度为40°C ;
[0012]在化学镀铜后的涂层上进行电镀铜,可以采用通常的电镀铜处理:镀液的组成为,硫酸铜50?80g/L、硫酸150?200g/L、氯离子浓度为30?70ppm及少量添加剂,电流密度可设置为0.5?3A/dm2,温度10-35°C,时间I小时。
[0013]镀铜完成后,采用划痕实验确定镀铜层的附着强度,在镀铜层表面用刀划刻边长为2mm的正方形格子25个,用胶带充分粘贴在这些正方形的格子上,快速撕下胶带时,以正方形的格子上的铜层掉落的多少来评价铜镀层的附着强度。
【具体实施方式】
[0014]实施例1
[0015]在1cm X 1cm(厚1.5mm)的玻璃板上均匀涂覆以乙醇为溶剂,含虫胶300g/L、锌粉(粒径50 μ m) 5g/L和硫酸铜lg/L的浆料,经80°C,10分钟烘干后,再经过500°C,30分钟的烧结处理,在基板表面即可得到含有锌和氧化铜的膜,该基板即可进行化学镀铜,
[0016]化学镀铜采用通常的化学镀铜处理:镀液的组成为,硫酸铜10?20g/L、EDTA *4Na30?40g/L、甲醛2?4ml/L,用氢氧化钠调节镀液的pH为12,化学镀时间设定为30分钟,温度为40°C,得到0.5 μ m的涂层;
[0017]为了评价镀层的附着强度,在化学镀铜得到的涂层表面,再进行电镀铜,电镀铜采用通常的电镀铜处理:镀液的组成为,硫酸铜50?80g/L、硫酸150?200g/L、氯离子浓度为30?70ppm,电流密度设置为0.5?3A/dm2,温度10_35°C,时间I小时。
[0018]本实施例中,镀铜层的总厚度为20 μπι,采用上述的铜镀层附着强度评价方法,测得正方形格子上的铜层无脱落,证明采用本发明的方法,铜镀层附着强度良好。
[0019]对比实施例1
[0020]将1cm X 1cm(厚1.5mm)的玻璃板放入含氢氟酸(40%,w/w% )50ml/L和氟化钠50g/L的水溶液中进行粗化处理,温度为45°C,时间10分钟;将粗化处理后的的玻璃进行化学镀铜的前处理,即敏化处理(氯化亚锡10g/L、室温25°C、5分钟);水洗;活化处理(氯化钯0.2g/L、室温25°C、5分钟);水洗后,进行化学镀铜和电镀铜,化学镀铜和电镀铜的具体操作与实施例1一致。
[0021]本实施例中,镀铜层的总厚度为20 ym(化学镀铜涂层为0.5 μ m),采用上述的铜镀层附着强度评价方法,测得25个正方形格子上的铜层中有18个脱落,证明采用该方法的铜镀层附着强度不如实施例1的好。
[0022]实施例2
[0023]在1cm X 1cm(厚1.5mm)的氧化铝陶瓷基板上均匀涂覆以乙醇为溶剂,含虫胶300g/L、锌粉(粒径50 μ m) 5g/L和硫酸铜lg/L的浆料,经80°C,10分钟烘干后,再经过500°C,30分钟的烧结处理,在基板表面即可得到含有锌和氧化铜的膜,该基板即可进行化学镀铜,进行化学镀铜和电镀铜的具体操作与实施例1一致。
[0024]采用上述的铜镀层附着强度评价方法,测得正方形格子上的铜层无脱落,证明采用本发明的方法,铜镀层附着强度良好。
[0025]对比实施例2
[0026]将1cm X 1cm(厚1.5mm)的氧化铝陶瓷基板放入含氢氧化钠150g/L的水溶液中进行粗化处理,温度为50°C,时间15分钟;将粗化处理后的氧化铝陶瓷基板进行化学镀铜的前处理,即敏化处理(氯化亚锡10g/L、室温25°C、5分钟);水洗;活化处理(氯化钯0.2g/L、室温25°C、5分钟);水洗后,进行化学镀铜和电镀铜,化学镀铜和电镀铜的具体操作与实施例1 一致。
[0027]本实施例中,镀铜层的总厚度为20 ym(化学镀铜涂层为0.5 μ m),采用上述的铜镀层附着强度评价方法,测得25个正方形格子上的铜层中有6个脱落,证明采用该方法的铜镀层附着强度不如实施例2的好。
[0028]对比实施例3
[0029]仅仅将实施例1中的涂覆浆料中的“虫胶”替换为“氢化松香”,其余操作均与实施例I相同。
[0030]采用上述的铜镀层附着强度评价方法,测得25个正方形格子上的铜层中有12个脱落,证明采用该方法的铜镀层附着强度不如实施例1的好。
[0031]对比实施例4
[0032]仅仅将实施例1中的涂覆浆料中的“虫胶”替换为“酚醛树脂(牌号2122) ”,其余操作均与实施例1相同。
[0033]采用上述的铜镀层附着强度评价方法,测得25个正方形格子上的铜层中有14个脱落,证明采用该方法的铜镀层附着强度不如实施例1的好。
【主权项】
1.一种玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的化学镀铜方法为,配制锌粉、铜盐和虫胶的以醇为溶剂的悬浊粘稠液,将所述粘稠液均匀涂附于玻璃或陶瓷的表面,经80?120°C,5?15分钟烘干,再经过300?600°C,10?30分钟的高温烧结处理后成膜,在所述膜的表面进行化学镀铜。
2.如权利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的悬浊粘稠液的配制方法为,将虫胶溶解于醇类溶剂后得到虫胶粘稠液,再将锌粉和铜盐加入到所述的虫胶粘稠液中,即得到用于玻璃或陶瓷基板的前处理悬浊粘稠液。
3.如权利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的玻璃基板的材料是以Na20、Si02、Ca0为主成分的硅酸盐玻璃;所述的陶瓷基板是碳化硅、氧化铝或氮化铝陶瓷。
4.如权利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的醇溶剂为乙醇。
5.如权利要求2所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的虫胶溶解于醇类溶剂中的浓度为100?500g/L。
6.如权利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的铜盐中,阴离子是无机阴离子或有机阴离子,所述的无机阴离子为硫酸根离子、硝酸根离子、氯离子、溴离子或碘离子,所述的有机阴离子是醋酸根离子、甲酸根离子或柠檬酸根离子。
7.如权利要求6所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的铜盐中,阴离子是无机阴离子或有机阴离子,所述的无机阴离子为硫酸根离子,所述的有机阴离子是醋酸根离子。
8.如权利要求2所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述铜盐向所述的虫胶粘稠液中的加入量为0.1?10g/L。
9.如权利要求2所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述锌粉向所述的虫胶粘稠液中的加入量为I?10g/L。
10.如权利要求1所述的玻璃、陶瓷基板的化学镀铜方法,其特征在于:所述的化学镀铜操作中,镀液的组成为,硫酸铜10?20g/L、EDTA.4Na 30?40g/L、甲醛2?4ml/L,用氢氧化钠调节镀液的pH为12,化学镀铜的时间为30分钟,温度为40°C。
【专利摘要】本发明属于无机材料涂层制备领域,特别涉及一种适用于玻璃或陶瓷基板的制作导电层化学镀铜的工艺。发明使用锌粉、铜盐和虫胶的以醇为溶剂的悬浊粘稠液,将该粘稠液涂附于玻璃或陶瓷的表面,经80~120℃,5~15分钟烘干后,再经过300~600℃,10~30分钟的高温烧结处理,在基板表面即可得到含有锌和氧化铜的膜,即可进行化学镀铜,所得到的铜镀层附着强度良好。
【IPC分类】C23C18-40, C23C18-18
【公开号】CN104561944
【申请号】CN201510073182
【发明人】梁学敏, 陈智栋, 缪洪武, 张伟伟
【申请人】广德宏霞科技发展有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2015年2月11日
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