连续掩膜挡板传动装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种薄膜镀膜用设备，特别涉及一种薄膜连续掩膜挡板传动装置。
【背景技术】
[0002]薄膜镀膜作业是在真空条件下利用镀膜设备通过不同的镀膜工艺(例如:物理气相沉积、化学气相沉积等)对工件进行镀膜，但现有薄膜镀膜设备无法完成对膜厚变化有要求的镀膜作业。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、镀膜效果好的连续掩膜挡板传动装置。
[0004]为解决上述技术问题，本发明提供了一种连续掩膜挡板传动装置，包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；
[0005]传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；
[0006]电机带动传动组件的螺杆转动。
[0007]采用这样的结构后，初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。
[0008]本连续掩膜挡板传动装置允许用户通过手动或自动控制，精确控制掩膜挡板在镀膜过程中的传动走位，适用于多种镀膜机的工艺开发。
[0009]为了更好的理解本发明的技术内容，以下将本连续掩膜挡板传动装置简称为本传动装置。
[0010]本传动装置的传动组件还包括真空磁流体动密封件、联轴器、涡轮和涡杆，螺杆一端装有涡轮，涡轮与涡杆配合，涡杆通过联轴器与真空磁流体动密封件连接，真空磁流体动密封件与电机的输出轴连接;采用这样的结构后，通过真空磁流体动密封件将电机设置在真空作业空间外，可以提高真空作业空间的使用效率;涡轮和蜗杆可以改变输出轴的方向，便于合理布置位置，使本装置适用于更多作业场所。
【附图说明】
[0011 ]图1是本传动装置实施例的主视图。
[0012]图2是图1沿A-A方向剖视图。
【具体实施方式】
[0013]如图1至2所示
[0014]本传动装置包括电机5、掩膜挡板3、安装支架1、传动组件和底座2。
[0015]安装支架I水平放置，安装支架I内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口11，镀膜槽口 11延伸至安装支架I的右端面，镀膜槽口 11中部固定有支撑杆12，支撑杆12两端分别与镀膜槽口 11前、后侧壁固定，镀膜槽口 11的前、后侧壁上分别开有左、右走向滑槽13，两条滑槽13的位置对应。
[0016]底座2放置在安装支架I下侧，底座2上端面为放置工件6的置物平台，置物平台对准安装支架I的镀膜槽口 11。
[0017]掩膜挡板3为长方形板体，掩膜挡板3前、后部分别伸入两个滑槽13内，并且掩膜挡板3可以沿两个滑槽13的走向左右往复移动。
[0018]传动组件包括传动丝杆、真空磁流体动密封件43、联轴器44、涡轮45和涡杆46，传动丝杆包括螺杆41和螺母42，螺杆41的左端通过轴承支撑在安装支架I左部，螺杆41的右端通过轴承支撑在安装支架I的支撑杆12上，螺杆41可以相对安装支架I自用自由转动，螺杆41的放置走向与滑槽13的走向一致，螺母42与螺杆41配合，并且螺母42与掩膜挡板3下端面固定；
[0019]涡轮45安装在螺杆41左端部，涡轮45与涡杆46配合，涡杆46通过联轴器44与真空磁流体动密封件43连接，真空磁流体动密封件43与电机5的输出轴连接。
[0020]镀膜作业时，将待镀膜的工件6放置在底座2上，掩膜挡板3处于其行程的最右侧位置，待镀膜的工件6此时完全被掩膜挡板3遮挡，启动外部的镀膜设备，本转动装置的电机5带动真空磁流体动密封件43转动，经过涡轮45和涡杆46的传动，进而驱动传动丝杆的螺杆41转动，掩膜挡板3在螺母42的带动下向左侧缓慢移动，待镀膜的工件6则逐步脱离掩膜挡板3的遮挡，达到渐进式镀膜的目的；
[0021]掩膜挡板3处于其行程的最左侧位置，工件6则暴露在镀膜设备的镀膜范围内，镀膜作业完毕后，启动电机5反转使掩膜挡板3回到右侧的初始位置。
[0022]本传动装置可以采用以下步骤进行:
[0023]1.手动或自动程序精确控制电机5，控制掩膜挡板3从原始的“右侧”位置向“左侧”位置运动，运动可以是连续，可以是渐进，由手动或自动程序控制。
[0024]2.镀膜工艺完成后，手动或自动程序控制掩膜挡板3复位到“左侧”位置。
[0025]以上所述的仅是本发明的一种实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种连续掩膜挡板传动装置，其特征是:包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧； 传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上； 电机带动传动组件的螺杆转动。2.根据权利要求1所述的连续掩膜挡板传动装置，其特征是: 所述传动组件还包括真空磁流体动密封件、联轴器、涡轮和涡杆，螺杆一端装有涡轮，涡轮与涡杆配合，涡杆通过联轴器与真空磁流体动密封件连接，真空磁流体动密封件与电机的输出轴连接。
【专利摘要】本发明给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。
【IPC分类】C23C14/54, C23C16/52, C23C16/04, C23C14/04
【公开号】CN105525257
【申请号】CN201511033444
【发明人】郭祖华, 葛怀庆, 练菊, 朱向炜
【申请人】蚌埠雷诺真空技术有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年12月31日