彩色树脂眼镜片及其制备方法
【专利摘要】本发明涉及一种彩色树脂眼镜片，包括树脂镜片基体，所述树脂镜片基体的前表面蒸镀有一层加硬膜层，所述加硬膜层的表面蒸镀有一层吸收材料薄膜层，所述吸收材料薄膜层的表面蒸镀有一层减反射膜组层；所述减反射膜组层上蒸镀有一层金属氧化物膜层，所述金属氧化物膜层上蒸镀有一层氟化物膜层。该结构使得树脂眼镜片在保证了高的可见光透过率和防油污防紫外线的同时具有能够吸收蓝光的作用，实现了防紫外线及蓝光的彩色树脂眼镜片；该制备方法能有效保障各层膜的沉积质量，极大地提高镜片的合格率，使镜片具有优异的防油污和防紫外线的功效，并具有很好的光滑性。
【专利说明】
彩色树脂眼镜片及其制备方法
技术领域
[0001]本发明涉及一种眼镜片，特别涉及一种彩色树脂眼镜片及其制备方法。
【背景技术】
[0002]随着人们生活水平的提高和审美意识的加强，人们越来越强调特立独行，太阳镜越来越普及，彩色镜片用量越来越大。彩色镜片或者染色镜片是每个用户个性的宣扬，同时绝大部分彩色镜片通过对镜片材料进行染料或颜料的沉积进行完成的，这种方法通过带有助染剂的溶剂来协助染料的沉积，同时伴有加热过程，利于染料或颜料的运动和扩散。自从出现了染色技术，镜片从无色变成五彩缤纷，在各种场合显示出了极强的优势，例如在具有强阳光或紫外光的现场下，佩戴具有一定深度(70%以上的遮盖率)的茶色或灰色镜片，具有过滤太阳光的作用，是眼睛免受损伤，同时可以更为清楚的看清物体，还有再具有大片面积的雪地或水面，强烈的反光或眩光对眼睛具有极强的伤害，同时很难分辨物体，如果在这种情况下，如果佩戴茶色或含有偏光效果的茶色镜片，可以明显的过滤反光或眩光。有了这种明显对于眼睛保护和看清物体的功能，染色镜片是目前非常流行的镜片品类，各种颜色的出现，更加增加了吸引力。
[0003]但是各种彩色镜片的制作过程是一个充满溶剂挥发和染料或颜料挥发的过程，过程中带有明显的对人体刺激过程，通过通风或者隔离，会有效降低这种刺激，但是绝大部分彩色镜片是通过一幅一幅通过人工或者自动来完成，效率很低，成本很高，而且由于镜片的固化曲线不同和镜片的材质不同，染色过程对温度和时间还有染色剂的浓度很难控制，导致不停在补色或有很大比例的报废，国内在改善这种问题的方法有很多，例如:
1.镜片材料的变更，主要指聚合度下降，分子链变成很长，分子间密度较低，从而使染料更容易沉积。常用的材料中，CR39和1.56折射率的镜片比较容易着色，高折射率材料由于主要材质是聚氨酯，聚合致密，染色变得很困难，即使在200华氏温度下半个小时，染色深度还只有45%，还有PC材料很难染色，而改变高折射率材料或PC的聚合度，难度极大。所以这种方法的效果不是很明显。
[0004]2.添加各种溶剂，例如:苯甲醇等，同时添加一些表面活性剂，这种方法有利于染料或颜料的分散和沉积，但是对人体有些伤害，有刺激性，而且在使用过程中由于镜片的度数不同，厚度就不同，染色时间会变化，这使得染色工艺很难控制，最终效果也不是很好。
[0005]3.采用特殊的加硬液在后表面染色，这种镜片只要是半成品镜片，这种镜片在前表面已经具有保护镜片的加硬层，而且这种加硬层具有很好的耐剥落性和耐温的特点，当后表面进行加工度数后，后表面是一个裸露的表面，然后在后表面涂上一层可以染色的加硬液，这种加硬液具有一定的硬度和可以进行固化后染色的特点，完成整个过程后，再把整个镜片浸泡在染色剂中进行染色，由于采用了后表面涂层染色技术，隔断了材料对染色的影响。但是由于全部集中在后表面，深度较难控制。
[0006]本体染色的方法，既然表面渗透难度很大，就出现了材料本体染色的方法，这种方法的主要部分是将染料或者颜料直接加在材料单体中，通过一系列的聚合反应，染料或者颜料不参与聚合，从而保护镜片单体本身的聚合反应不受影响。但是由于镜片是一种光学部件，在制作过程中，会涉及高精密的过滤，所以颜料大于300nm的颗粒常被过滤掉，从而影响颜色。而染料基本会参与反应，导致影响镜片其他物理性能，所以这种技术很少被行业内使用。
[0007]因此，现在需要研发出一种稳定的膜层彩色树脂眼镜片及其制备方法。
【发明内容】
[0008]本发明要解决的技术问题是，针对现有的不足，提供一种高质量的、防紫外线及吸收蓝光的彩色树脂眼镜片。
[0009]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，该彩色树脂眼镜片包括树脂镜片基体，所述树脂镜片基体的前表面镀有一层加硬膜层，所述加硬膜层的表面镀有一层吸收材料薄膜层，所述吸收材料薄膜层的表面镀有一层减反射膜组层;所述减反射膜组层上镀有一层金属氧化物膜层，所述金属氧化物膜层上镀有一层氟化物膜层;所述吸收材料薄膜层由二氧化硅、氧化铟锡、五氧化三钛、二氧化锆、五氧化二钽、三氧化二铁、三氧化二铬和砸化锌中的一种或多种的组合。
[0010]采用上述技术方案，通过在树脂镜片基体的前表面上依次镀上加硬防刮层、吸收材料薄膜层、减反射膜组层、金属氧化膜层和氟化物膜层，采用边缘遮挡夹具，可以使得各层薄膜在沉积过程中不会沉积到镜片本体的边缘上;将吸收材料采用蒸镀的方式，在真空环境下，将其蒸发到加硬膜层的表面，可以成功地使该彩色树脂眼镜片具有一层吸收蓝光的彩色薄膜，吸收材料薄膜层由二氧化硅、氧化铟锡、五氧化三钛、二氧化锆、五氧化二钽、三氧化二铁、三氧化二铬和砸化锌中的一种或多种的组合，可以通过调整各膜的厚度以及制备工艺，使得制得的薄膜具有吸收波长为400~500nm的蓝光的作用，可以实现镜片在具有彩色的同时还具有防紫外线和吸收蓝光的作用，从而既美观又保护眼睛。
[0011]本发明进一步改进在于，所述加硬膜层、所述吸收材料薄膜层、所述减反射膜组层、金属氧化物膜层和氟化物膜层均采用电子束蒸发法沉积。采用电子束蒸发法在一定的真空度下沉积各层薄膜，可以得到高质量高透过率的薄膜，同时使得各层薄膜在镜片本体上有着很好地附著力，同时所有的薄膜层均是一次性在真空环境下沉积得到的，可以使各层薄膜的附著力更好，更稳定同时防止了制作过程中的污染;此外该方法制备速度快，生产效率高。
[0012]本发明进一步改进在于，所述吸收材料薄膜层所使用的靶材是将所述卤化银和所述氧化铜混合均匀，并在280KN的载荷下压实成型，再在马弗炉里400°C温度下煅烧12小时制得吸收材料靶材。该自制靶材的方法简单方便可控，可以节约生产成本。
[0013]本发明进一步改进在于，所述加硬膜层的厚度为300?400nm;所述吸收材料薄膜层的厚度为10?20nm;所述减反射膜组层的厚度为280?320nm;所述金属氧化膜层的厚度为10?20nm;所述氟化物膜层的厚度为5?1nm0
[0014]本发明进一步改进在于，所述后表面减反射膜组层依次为第一二氧化硅层、第一氧化锆层、第二二氧化硅层、第二氧化锆层、第三二氧化硅层。在镜片的前表面采用的搭配为P1/P2 /Super Hydrophobic八Si02/Zr02/Si02/Zr02/Si02)/HC/Lens，其中S12的折射率为1.45，Zr02的折射率为2.176，通过多层的S12膜和ZrO2膜，同时调整各层透明膜的参数及制备工艺条件，使得减反射膜具有很好的反射和吸收紫外线的作用，同时保证了其高的可见光透过率。
[0015]本发明进一步改进在于，所述第一二氧化娃层的厚度为30?50nm，所述第一氧化错层的厚度为40?60nm，所述第二二氧化娃层50?60nm，所述第二氧化错层40?50nm，所述第三二氧化娃层为50~60nmo
[0016]本发明还要解决的一个问题是，提供一种彩色树脂镜片结构的制备方法。
[0017]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，该制备方法采用多个真腔室相连接形成的蒸镀设备，各个真空腔室通过阀门相隔开，该制备方法具体包括以下步骤:
(I)树脂镜片基体的化学清洗:①为了去除树脂镜片基体表面的有机物，先用双氧水和浓硫酸的混合溶液(体积比为3: I)的浸泡超声20?30min后用去离子水清洗;②把镜片基体先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声25?35min，以提高树脂镜片基体表面活性，从而增加薄膜与树脂镜片基体材料的结合力；③清洗结束后将树脂镜片基体置于烘箱干燥，干燥后将基片放入托盘，然后将托有基片的托盘送入预沉积室。
[0018](2)设备真空的获得:启动机械栗，打开旁抽阀Π，对各个真空腔室抽真空；当真空度达到I?SPa时，关闭旁抽阀Π，打开旁抽阀I，并启动分子栗，打开闸板阀，采用分子栗对各个真空腔室进一步抽真空；当分子栗加速后稳定运行直至真空度达到1~5 X 10—3Pa;打开加热器，设置加热温度为150-200 0C ;当电子束蒸发仪的真空腔室内的真空度达到I?3 X 10—7Pa时启动电子束枪，调整电子束的位置，使其位于加硬膜层靶材的中间；
(3 )在预沉积室内进行离子束清洗:氩气等离子体清洗;打开氩气阀，通入氩气，对树脂镜片基体进行离子束清洗，清洗时间为3~5 min;清洗完成后关闭氩气阀；打开第一真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第一真空腔室；
(4)加硬膜层的制备:基片随着托盘进入第一真空腔室，调节束流，在树脂镜片基体的前表面上蒸镀一层加硬膜层，蒸镀时间为5?1min;关闭电子束枪，打开氩气阀和氧气阀，往真空腔室通入氩气和氧气，进行氩氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为2?5min;关闭氩气阀和氧气阀，打开第二真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第二真空腔室；
(5)吸收材料薄膜层的制备:基片随着托盘进入第二真空腔室，调节束流，在加硬膜层的表面上蒸镀一层吸收材料薄膜，蒸镀时间为15?20min;关闭电子束枪，打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为2?5min;关闭氧气阀，打开第三真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第三真空腔室；
(6)减反射膜组层的制备:基片随着托盘进入第三真空腔室，调节束流，在吸收材料薄膜层的表面上蒸镀减反射膜组层，蒸镀时间为15?20min;关闭电子束枪;打开氩气阀和氧气阀，往真空腔室通入氩气和氧气，进行氩氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为3?6min;关闭氩气阀和氧气阀，打开第四真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第四真空腔室；
(7)金属氧化物膜层的制备:基片随着托盘进入第四真空腔室，调节束流，在减反射膜组层的表面上蒸镀金属氧化物膜层，蒸镀时间为10?15min;关闭电子束枪;打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为I?2min;关闭氧气阀，打开第五真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第五真空腔室；
(8)氟化物膜层的制备:基片随着托盘进入第五真空腔室，调节束流，在金属氧化物膜层的表面上蒸镀氟化物膜层，蒸镀时间为5?8min;关闭电子束枪;打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为I?2min;关闭氧气阀，打开预退出腔室阀，将托有基片的托盘送入预退出腔室；
(9)解除真空:开启预退出腔室进气阀，通入空气，取出镜片。
[0019]采用电子束蒸发法，其中的电子枪为e形电子枪，该电子束枪的优点是不易使沉积薄膜受到污染，且沉积的功率大，沉积的薄膜质量高;在制备过程中可以采用多个真空腔室相接，树脂镜片基体在各个真空腔室装有各个膜层的靶材的坩祸，基片在各个真空腔室依次送入各个腔室并依次沉积各层薄膜，坩祸采用的是水冷坩祸，可以避免坩祸材料蒸发及其与膜材料之间发生反应;后处理的温度，时间和气氛均可以影响薄膜的透过率以及对紫外线的反射和吸收，采用氩氧刻蚀和全氧刻蚀有利于提交各层膜之间的附著力，使各层膜更紧密的相结合。
[0020]作为本发明的优选方案，所述金属氧化物膜层为氧化镁膜层或氧化铋膜层。该金属氧化物膜层作为联结层，有利于减反射膜组层与防油污的氟化物膜层的附著，提高树脂镜片覆膜的均匀性。
[0021]作为本发明的优选方案，所述氟化物膜层为氟化镁膜层或氟化钠膜层或氟化钙膜层。
[0022]与现有技术相比，本发明的有益效果是:提供一种彩色树脂眼镜片以及其制备方法，该结构使得树脂眼镜片在保证了高的可见光透过率和防油污防紫外线的同时具有能够吸收蓝光的作用，实现了防紫外线及蓝光的彩色树脂眼镜片；该制备方法能有效保障各层膜的沉积质量，极大地提高镜片的合格率，使镜片具有优异的防油污和防紫外线的功效，并具有很好的光滑性。
【附图说明】
[0023]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明:
图1是本发明的实施例1彩色树脂眼镜片结构的结构示意图；
其中:其中:1-氟化物膜层;2-金属氧化膜层;3-减反射膜组层;4-吸收材料薄膜层;5-加硬膜层;6-树脂镜片基体。
【具体实施方式】
[0024]实施例1:如图1所示，该彩色树脂眼镜片结构为Pl/P2/(Si02/Zr02/Si02/Zr02/3102)/(11'0/^02/^02)/!^/1^仙；其中？1为氟化物膜层1;?1为弱碱性金属氧化物膜层2，(Si02/Zr02/Si02/Zr02/Si02)为减反射膜组层3，吸收材料薄膜层4，HC为加硬层5，Lens为树脂镜片基体6。
[0025]实施例2:实施例1的制备方法，包括如下步骤:
该制备方法采用多个真腔室相连接形成的蒸镀设备，各个真空腔室通过阀门相隔开，该制备方法具体包括以下步骤:
(I)树脂镜片基体的化学清洗:①为了去除树脂镜片基体表面的有机物，先用双氧水和浓硫酸的混合溶液(体积比为3:1)的浸泡超声25min后用去离子水清洗;②把镜片基体先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声35min，以提高树脂镜片基体表面活性，从而增加薄膜与树脂镜片基体材料的结合力;③清洗结束后将树脂镜片基体置于烘箱干燥，干燥后将基片放入托盘，然后将托有基片的托盘送入预沉积室。
[0026](2)设备真空的获得:启动机械栗，打开旁抽阀Π，对各个真空腔室抽真空；当真空度达到6Pa时，关闭旁抽阀Π，打开旁抽阀I，并启动分子栗，打开闸板阀，采用分子栗对各个真空腔室进一步抽真空；当分子栗加速后稳定运行直至真空度达到5 X 10—3Pa;打开加热器，设置加热温度为180°C;当电子束蒸发仪的真空腔室内的真空度达到2 X 10—7 Pa时启动电子束枪，调整电子束的位置，使其位于加硬膜层靶材的中间；
(3 )在预沉积室内进行离子束清洗:氩气等离子体清洗;打开氩气阀，通入氩气，对树脂镜片基体进行离子束清洗，清洗时间为4min;清洗完成后关闭氩气阀；打开第一真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第一真空腔室；
(4)加硬膜层的制备:基片随着托盘进入第一真空腔室，调节束流，在树脂镜片基体的前表面上蒸镀一层加硬膜层，蒸镀时间为Smin;关闭电子束枪，打开氩气阀和氧气阀，往真空腔室通入氩气和氧气，进行氩氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为4min;关闭氩气阀和氧气阀，打开第二真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第二真空腔室；
(5)吸收材料薄膜层的制备:基片随着托盘进入第二真空腔室，调节束流，在加硬膜层的表面上蒸镀一层吸收材料薄膜，通过采用多靶真空腔室，旋转靶材来实现，蒸镀时间的时间分别为2111；[11、21]1；[11、31]1；[11、关闭电子束枪，打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为4min;关闭氧气阀，打开第三真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第三真空腔室；
(6)减反射膜组层的制备:基片随着托盘进入第三真空腔室，调节束流，在吸收材料薄膜层的表面上蒸镀减反射膜组层，通过采用双靶真空腔室，旋转靶材来实现，蒸镀时间的时间分别为2111；[11、21]1；[11、41]1；[11、31]1；[11、41]1；[11;关闭电子束枪;打开氩气阀和氧气阀，往真空腔室通入氩气和氧气，进行氩氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为5min;关闭氩气阀和氧气阀，打开第四真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第四真空腔室；
(7)金属氧化物膜层的制备:基片随着托盘进入第四真空腔室，调节束流，在减反射膜组层的表面上蒸镀金属氧化物膜层，蒸镀时间为13min;关闭电子束枪;打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为2min;关闭氧气阀，打开第五真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第五真空腔室；
(8)氟化物膜层的制备:基片随着托盘进入第五真空腔室，调节束流，在金属氧化物膜层的表面上蒸镀氟化物膜层，蒸镀时间为7min;关闭电子束枪;打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为2min;关闭氧气阀，打开预退出腔室阀，将托有基片的托盘送入预退出腔室；
(9)解除真空:开启预退出腔室进气阀，通入空气，取出镜片。
[0027]测试结果为:该彩色树脂眼镜片可以吸收400?500nm的蓝光，可以得到20?80%深度可调的彩色树脂镜片;采用IT0/Si02/Zr02制得的吸收材料薄膜层，可以得到80%的深度的彩色树脂镜片，其400?500nm的蓝光的透过率仅为15%?20%。
[0028]在制备过程中还可以采用边走边沉积，树脂镜片基体依次以各种均匀的速度走过各个真空腔室则沉积完成所有的薄膜层，均匀的移动速度可以获得均匀的薄膜，同时这样有利于提高薄膜沉积质量，避免不同材料的污染;此外在制备的过程中减反射膜组层可以在同一个真空腔室中沉积，通过采用双靶真空设备，旋转镜片本体来实现，这样有利于节约成本，适用于广泛推广。
[0029]以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。
【主权项】
1.一种彩色树脂眼镜片，包括树脂镜片基体，其特征在于，所述树脂镜片基体的前表面镀有一层加硬膜层，所述加硬膜层的表面镀有一层吸收材料薄膜层，所述吸收材料薄膜层的表面镀有一层减反射膜组层;所述减反射膜组层上镀有一层金属氧化物膜层，所述金属氧化物膜层上镀有一层氟化物膜层;所述吸收材料薄膜层由二氧化硅、氧化铟锡、五氧化三钛、二氧化错、五氧化二钽、三氧化二铁、三氧化二络和砸化锌中的一种或多种的组合。2.根据权利要求1所述的彩色树脂眼镜片，其特征在于，所述加硬膜层、所述吸收材料薄膜层、所述减反射膜组层、金属氧化物膜层和氟化物膜层均采用电子束蒸发法沉积。3.根据权利要求2所述的彩色树脂眼镜片，其特征在于，所述吸收材料薄膜层所使用的靶材是将所述卤化银和所述氧化铜混合均匀，并在280KN的载荷下压实成型，再在马弗炉里400 °C温度下煅烧12小时制得吸收材料靶材。4.根据权利要求3所述的彩色树脂眼镜片，其特征在于，所述加硬膜层的厚度为300?400nm;所述吸收材料薄膜层的厚度为10?20nm;所述减反射膜组层的厚度为280~320nm;所述金属氧化膜层的厚度为10?20nm;所述氟化物膜层的厚度为5?1nm05.根据权利要求4所述的彩色树脂眼镜片，其特征在于，所述减反射膜组层依次为第一二氧化硅层、第一氧化锆层、第二二氧化硅层、第二氧化锆层、第三二氧化硅层。6.根据权利要求5所述的彩色树脂眼镜片，其特征在于，所述第一二氧化硅层的厚度为30?50nm，所述第一氧化错层的厚度为40?60nm，所述第二二氧化娃层50?60nm，所述第二氧化锆层40?50nm，所述第三二氧化硅层为50?60nmo7.一种如根据权利要求1-6任一项所述的彩色树脂眼镜片的制备方法，其特征在于，该制备方法采用多个真腔室相连接形成的蒸镀设备，各个真空腔室通过阀门相隔开，该制备方法具体包括以下步骤: (1)树脂镜片基体的化学清洗:①为了去除树脂镜片基体表面的有机物，先用体积比为3:1的双氧水和浓硫酸的混合溶液，浸泡超声20?30min后用去离子水清洗;②把镜片基体先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声25?35min，以提高树脂镜片基体表面活性，从而增加薄膜与树脂镜片基体材料的结合力;③清洗结束后将树脂镜片基体置于烘箱干燥，干燥后将基片放入托盘，然后将托有基片的托盘送入预沉积室； (2)设备真空的获得:启动机械栗，打开旁抽阀Π，对各个真空腔室抽真空；当真空度达至IJl?SPa时，关闭旁抽阀Π，打开旁抽阀I，并启动分子栗，打开闸板阀，采用分子栗对各个真空腔室进一步抽真空；当分子栗加速后稳定运行直至真空度达到I?5 X 10—3Pa;打开加热器，设置加热温度为150?200°C;当电子束蒸发仪的真空腔室内的真空度达到I?3 X 10—7 Pa时启动电子束枪，调整电子束的位置，使其位于加硬膜层靶材的中间； (3)在预沉积室内进行离子束清洗:氩气等离子体清洗;打开氩气阀，通入氩气，对树脂镜片基体进行离子束清洗，清洗时间为3~5 min;清洗完成后关闭氩气阀；打开第一真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第一真空腔室； (4)加硬膜层的制备:基片随着托盘进入第一真空腔室，调节束流，在树脂镜片基体的前表面上蒸镀一层加硬膜层，蒸镀时间为5?1min;关闭电子束枪，打开氩气阀和氧气阀，往真空腔室通入氩气和氧气，进行氩氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为2?5min;关闭氩气阀和氧气阀，打开第二真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第二真空腔室； (5)吸收材料薄膜层的制备:基片随着托盘进入第二真空腔室，调节束流，在加硬膜层的表面上蒸镀一层吸收材料薄膜，蒸镀时间为15?20min;关闭电子束枪，打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为2?5min;关闭氧气阀，打开第三真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第三真空腔室； (6)减反射膜组层的制备:基片随着托盘进入第三真空腔室，调节束流，在吸收材料薄膜层的表面上蒸镀减反射膜组层，蒸镀时间为15?20min;关闭电子束枪;打开氩气阀和氧气阀，往真空腔室通入氩气和氧气，进行氩氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为3?6min;关闭氩气阀和氧气阀，打开第四真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第四真空腔室； (7)金属氧化物膜层的制备:基片随着托盘进入第四真空腔室，调节束流，在减反射膜组层的表面上蒸镀金属氧化物膜层，蒸镀时间为10?15min;关闭电子束枪;打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为I?2min;关闭氧气阀，打开第五真空腔室阀门，将托有基片的托盘送入第五真空腔室； (8)氟化物膜层的制备:基片随着托盘进入第五真空腔室，调节束流，在金属氧化物膜层的表面上蒸镀氟化物膜层，蒸镀时间为5?8min;关闭电子束枪;打开氧气阀，往真空腔室通入氧气，进行全氧等离子体刻蚀，刻蚀时间为I?2min;关闭氧气阀，打开预退出腔室阀，将托有基片的托盘送入预退出腔室； (9)解除真空:开启预退出腔室进气阀，通入空气，取出镜片。8.如根据权利要求7所述的彩色树脂眼镜片的制备方法，其特征在于，所述金属氧化物膜层为氧化镁膜层或氧化铋膜层。9.如根据权利要求8所述的彩色树脂眼镜片的制备方法，其特征在于，所述氟化物膜层为氟化镁膜层或氟化钠膜层或氟化钙膜层。
【文档编号】C23C14/08GK105861993SQ201610325025
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年5月17日
【发明人】刘锋
【申请人】江苏淘镜有限公司