一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的分子泵，尤指一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机在抽真空时需要用到分子泵，为保证真空的纯净度与抽真空工作能顺利开展，分子泵抽真空工作需要在高转速、高功率的条件下进行，而在真空镀膜抽真空装置中，分子泵由转速为10000?60000r/min的中频电动机直联驱动，因此可以看出分子泵在进行抽真空工作时需承受不小的负荷，为了保证高转速工作进行同时减少机器自身承载的负荷，分子泵的转动件即叶轮采用可高速转动且耐用的金属材质，且一般采用重量相对于其它金属来说较轻的铝材。
[0003]分子泵采用铝合金材质的叶轮时，由于铝合金材质的物理性质可知铝合金的钢性和韧性都有一定的限度，而分子泵在在工作时，分子泵的叶轮必须在高速条件下旋转，在长期的工作过程中，因叶轮表面因跟空气分子的接触摩擦造成叶轮叶片的表面存在一定的损伤，然而，当叶轮的其中一片叶片出现裂痕、破损或出现其它缺陷时，在分子泵高速旋转的情况下直接导致叶轮的叶片断裂，而断裂的叶片会掉进正在高速旋转的叶轮中，使其与其它叶片的相互撞击，并且引起连锁反应，使得分子泵整体在瞬间毁坏报废，不但影响整个抽真空装置，还会影响整个镀膜系统的工作。
【发明内容】
[0004]为解决上述问题，本实用新型旨在公开一种用于真空镀膜机的分子泵，尤指一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，所述的分子泵安装在真空镀膜机上，分子泵内成型有安装叶轮和定子的腔体，叶轮套设在定子上以形成叶轮可绕定子转动，其特征在于:所述的叶轮由叶轮轮盘与叶轮叶片固定连接组成，叶轮从里到外主要包括两层结构，分别为叶轮基层和叶轮表层，其中，叶轮基层为铝合金材质，叶轮表层为覆盖在叶轮基层表面的保护膜层，保护膜层为铝合金阳极氧化的氧化物膜层。
[0006]所述的套设在定子上的叶轮设置有至少10个。
[0007]所述的各个叶轮从上往下依次套设安装在定子上。
[0008]所述的叶轮表层表面有若干微孔。
[0009]所述的叶轮可增设着色外层，着色外层通过叶轮表层的微孔吸附着色。
[0010]本实用新型的有益效果体现在:本实用新型采用多层结构组成分子泵的叶轮，使叶轮由原本性能就比较好的铝合金材质进步为刚性与韧性提高的带有氧化物保护膜层的铝合金材质，既能满足叶轮材质轻便又能满足材质性能优异的要求，且采用多个叶轮组合形成叶轮组，使叶轮增强了其自身承载负荷的能力；本实用新型因铝合金阳极氧化形成氧化物膜层可显著改善铝合金的耐蚀性能，并提高铝合金的表面硬度和耐磨性，而质量并不会因此而提升，使得分子泵在高速运转时不易于因与气体份子的摩擦从而造成损坏或断裂或造成过大的损耗，即不易于因高速运转时出来裂痕等缺陷而导致分子泵在作业时的分子泵报废或作业收影响等问题的发生。
[0011]本实用新型在提高分子泵的硬度、耐磨性与承载负荷能力的同时，更延长了分子泵的使用寿命；叶轮的结构与多个叶轮的组合不
[0012]仅减少因分子泵在运转时因叶轮叶片的故障而导致的资源损失机率或降低分子泵的报废率，大大降低资源损耗，起到能源节省的重要作用，而且符合分子泵内高速旋转所要求达到的性能条件，使其在分子泵内以高转速完成作业，并达到分子泵工作效率高同时耐用性强的效果。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型立体结构示意图。
[0014]图2是本实用新型叶轮的结构简图。
[0015]图3是本实用新型叶轮叶片截面结构图。
[0016]附图标注说明:1-叶轮，2-定子，3-分子泵，4-叶轮叶片，5-叶轮轮盘，6-叶轮基层，7-叶轮表层，8-着色外层。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图详细说明本实用新型的【具体实施方式】:
[0018]一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，所述的分子泵3安装在真空镀膜机上，分子泵3内成型有安装叶轮I和定子2的腔体，叶轮I套设在定子2上以形成叶轮I可绕定子2转动，套设在定子2上的叶轮I设置有至少10个，各个叶轮I从上往下依次套设安装在定子2上；所述的叶轮I由叶轮轮盘5与叶轮叶片4固定连接组成，叶轮I从里到外主要包括两层结构，分别为叶轮基层6和叶轮表层7，其中，叶轮基层6为铝合金材质，叶轮表层7为覆盖在叶轮基层6表面的保护膜层，保护膜层为铝合金阳极氧化的氧化物膜层，且叶轮表层7表面有若干微孔；叶轮I可增设着色外层8，着色外层8通过叶轮表层7的微孔吸附着色。
[0019]叶轮I成型时，首先由铝合金材质一体成型为叶轮轮盘5与叶轮叶片4组合形成的叶轮其中的叶轮基层6，然后将叶轮基层6通过电解反应使铝合金阳极氧化并在其表面形成一层氧化物保护膜层，即叶轮表层7，最后通过保护膜层表面膜层的微孔的吸附能力使叶轮表层7吸附着色，形成着色外层8 ;
[0020]叶轮I在分子泵3内旋转时，由于其表面增加了保护膜层，使原本性能较好的铝合金材质提尚了刚性和初性，并在提尚刚性和初性后性能大大提升，形成硬度大、耐磨性尚的叶轮1，并符合分子泵3内高速旋转所要求达到的性能条件，使其在分子泵3内以高转速完成作业，并达到延长分子泵寿命的效果。
[0021]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，本行业的技术人员，在本技术方案的启迪下，可以做出一些变形与修改，凡是依据本实用新型的技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，所述的分子泵安装在真空镀膜机上，分子泵内成型有安装叶轮和定子的腔体，叶轮套设在定子上以形成叶轮可绕定子转动，其特征在于:所述的叶轮由叶轮轮盘与叶轮叶片固定连接组成，叶轮从里到外主要包括两层结构，分别为叶轮基层和叶轮表层，其中，叶轮基层为铝合金材质，叶轮表层为覆盖在叶轮基层表面的保护膜层，保护膜层为铝合金阳极氧化的氧化物膜层。
2.根据权利要求1所述的一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，其特征在于:所述的套设在定子上的叶轮设置有至少10个。
3.根据权利要求2所述的一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，其特征在于:所述的各个叶轮从上往下依次套设安装在定子上。
4.根据权利要求1所述的一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，其特征在于:所述的叶轮表层表面有若干微孔。
5.根据权利要求1或4所述的一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵，其特征在于:所述的叶轮可增设着色外层，着色外层通过叶轮表层的微孔吸附着色。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的分子泵，尤指一种应用于真空镀膜机中高速耐磨的分子泵；所述的分子泵安装在真空镀膜机上，分子泵内成型有安装叶轮和定子的腔体，叶轮套设在定子上以形成叶轮可绕定子转动，所述的叶轮由叶轮轮盘与叶轮叶片固定连接组成，叶轮从里到外主要包括两层结构，分别为叶轮基层和叶轮表层，其中，叶轮基层为铝合金材质，叶轮表层为覆盖在叶轮基层表面的保护膜层，保护膜层为铝合金阳极氧化的氧化物膜层；本实用新型在提高分子泵的硬度、耐磨性与承载负荷能力的同时，更延长了分子泵的使用寿命，不仅减少因分子泵在运转时因叶轮叶片的故障而导致的资源损失机率且在分子泵内以高转速完成作业。
【IPC分类】C23C14-00
【公开号】CN204281843
【申请号】CN201420738833
【发明人】刘双良
【申请人】东莞市华星镀膜科技有限公司, 东莞市华星纳米科技有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月2日