划片机主轴紧固装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及紧固装置，具体涉及划片机主轴紧固装置及装调方法。
【背景技术】
[0002]切割机是一种半导体后封装关键设备，其作用是将器件分割成单个的电路单元或将大尺寸材料分离成小尺寸材料。切割机的工作机理是砂轮刀片的强力磨削，在切割过程中高速运转的砂轮刀片与被加工件进行接触，通过几个方向的进给运动完成切割过程。其中主轴的作用就是完成砂轮刀片的固定和高速旋转，由于半导体材料或器件切割加工精度要求很高，属于超精密加工范畴，砂轮刀片的稳定性尤其重要，刀片与被加工件之间的垂直度是影响切割质量的重要因素之一。
[0003]切割机主轴是一种轴类零件，其固定及端面调整是切割机设备结构设计的关键点之一，如何能在保证结构稳定的情况下完成微米级精度调节也是设备设计的难点。目前大多数轴类零部件固定多数采用端面锁紧或法兰固定的方式，这样对主轴外形精度又有较高的要求，本实用新型就是设计一种稳定的卡紧固定装置，在不增加主轴制造成本的基础上完成主轴的固定及前段刀盘端面的精度调整。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种划片机主轴紧固装置，可以完成划片机主轴的稳定紧固，该装置还可以方便有效的进行主轴刀盘端面的平面精度调整，保证刀盘与被加工件之间的垂直度要求。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型提供一种可调整的划片机主轴紧固装置，包括固定基座，固定基座上固定主轴座；固定基座与主轴座之间有调节块和调节螺钉；主轴与刀盘穿过主轴座；压板将主轴卡紧在主轴座上。
[0006]优选的，所述固定基座与主轴座之间通过调节块和调节螺钉固定，所述主轴与主轴座之间为间隙配合，压板与主轴座之间通过紧定螺钉夹紧主轴。
[0007]优选的，所述调节块的数量为三个。
[0008]本实用新型还提供上述划片机主轴紧固装置的装调方法，包括如下步骤:
[0009]I)将下端的调节块锁紧，先调节左右两个调整块，对主轴前端刀盘进行水平方向的平行度调整；
[0010]2)通过下端调整块进行刀盘竖直方向的平行度调整。
[0011]优选的，所述刀盘端面与进给方向平行度要求为不大于2 μ m。
[0012]优选的，所述刀盘端面与被加工平面垂直度要求为不大于2 μπι。
[0013]优选的，所述调节块的固定调节螺钉要求使用力矩扳手锁紧，锁紧扭矩范围33?45Ν.m0
[0014]该装置组装时先将主轴固定座通过调节块和调节螺钉紧定，然后将主轴穿过主轴座中心孔，调整好先后位置，将压板利用紧定螺钉夹紧主轴，完成整个装置的固定；当进行主轴刀盘端面调整时，先松动调节螺钉，然后将旋转调节块，调节固定基座与主轴座之间的间隙大小，实现主轴前端刀盘端面的水平方向与竖直方向的平行度调节。调节过程中，注意需要锁紧调节螺钉后再进行精度检测，利用力矩扳手使用标准的扭矩将三个紧定螺钉紧定。
[0015]本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种划片机主轴紧固装置，可以完成切割机主轴的稳定紧固，以及主轴刀盘端面的平面精度调整，保证刀盘与被加工件之间的垂直度要求。
[0016]本实用新型系统结构简单，生产成本较低，加工方便，紧固稳定，容易调节，空间需求小；本实用新型可通过调节块的外螺纹对主轴刀盘端面进行较高机械精度调整。使用本装置的切割机可提高主轴的稳定性，并方便有效的进行主轴刀盘端面精度控制。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型划片机主轴紧固装置的爆炸图；
[0018]图2是本实用新型装调过程原理的示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0020]本实用新型具体实施的技术方案是:
[0021]如图1、图2所示，本实用新型提供一种可调节划片机主轴紧固装置，包括固定基座1、主轴座2、调节块3、调节螺钉31、压板4、紧定螺钉41、主轴5及刀盘6 ;通过调节块3外螺纹33调节主轴座2与固定基座I的平面间隙21对主轴6前端刀盘7的平面进行精度调整。
[0022]所述固定基座I与主轴座2之间通过调节块3和调节螺钉31固定，所述主轴6与主轴座2之间为间隙21配合，压板4与主轴座2之间通过紧定螺钉41夹紧主轴5。
[0023]所述调节块3的数量为三个。
[0024]本实用新型还提供上述主轴紧固装置的装调方法，包括如下步骤:
[0025]I)将下端的调节块锁紧，先调节左右两个调整块，对主轴前端刀盘进行水平方向的平行度调整；
[0026]2)通过下端调整块进行刀盘竖直方向的平行度调整。
[0027]所述刀盘端面与进给方向平行度要求为不大于2 μ mo
[0028]所述刀盘端面与被加工平面垂直度要求为不大于2 μ m。
[0029]所述调节块的固定调节螺钉要求使用力矩扳手锁紧，锁紧扭矩范围33?45N.m。
[0030]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.划片机主轴紧固装置，其特征在于，包括固定基座，固定基座上固定主轴座；固定基座与主轴座之间有调节块和调节螺钉；主轴与刀盘穿过主轴座；压板将主轴卡紧在主轴座上。
2.根据权利要求1所述的划片机主轴紧固装置，其特征在于，所述固定基座与主轴座之间通过调节块和调节螺钉固定，所述主轴与主轴座之间为间隙配合，压板与主轴座之间通过紧定螺钉夹紧主轴。
3.根据权利要求1所述的划片机主轴紧固装置，其特征在于，所述调节块的数量为三个。
【专利摘要】本实用新型涉及一种可调节划片机主轴紧固装置，包括固定基座、主轴座、调节块、压板、调节螺钉和主轴及刀盘；通过调节块外螺纹调节主轴座与固定基座的平面间隙对主轴前端刀盘的平面进行精度调整。本实用新型还提供上述切割机主轴卡紧固定装置的装调方法，包括如下步骤：1)将下端的调节块锁紧，先调节左右两个调整块，对主轴前端刀盘进行水平方向的平行度调整；2)通过下端调整块进行刀盘竖直方向的平行度调整。本实用新型提供的可调节划片机主轴紧固装置及装调方法，通过调节螺纹实现对主轴刀盘平面的调节，结构简单、操作方便、安装精度高，且装调后整体结构稳定，形变小，节约结构成本。
【IPC分类】B24B41-04, H01L21-67
【公开号】CN204308745
【申请号】CN201420485227
【发明人】顾迎峰, 王骏, 李丹
【申请人】江苏京创先进电子科技有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年8月26日