一种掩膜板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种掩膜板。
【背景技术】
[0002]OLED，即有机发光二极管，在OLED器件制作过程中，需要使用金属掩膜板来达到对玻璃基板上发光像素部分区域蒸镀有机材料的目的。随着OLED技术的发展，OLED产品尺寸及玻璃基板尺寸都在不断增加，这就要求蒸镀金属掩膜板的尺寸要不断增大，为了保证精细金属掩膜板的制作精度，蒸镀所使用的掩膜板大多采用条状子掩膜板形式。
[0003]具体地，如图1所示，掩膜板包括多个条状子掩膜板101、支撑子掩膜板102、侧边子掩膜板103、外框105，具体地，条状子掩膜板101并列排列在支撑子掩膜板102上，且条状子掩膜板101的两侧设置侧边子掩膜板103，支撑子掩膜板102及侧边子掩膜板103来遮挡不需要蒸镀有机材料的区域，然后通过张网将支撑子掩膜板102焊接在外框105上，从而制成精细金属掩膜板。并且，在条状子掩膜板101上形成有多个开口 104，对应显示区，该开口呈矩形状，且开口的长边104a垂直于条状子掩膜板的排列方向，短边104b平行于条状子掩膜板的排列方向。对于条状子掩膜板101的制作来说，如图2所示，开口图案的长边104a到条状子掩膜板104的边缘距离(定义为D值)存在一个极限值，假设这个极限值为DO (其中，该D值与掩膜板的制作能力有关)，在张网工艺中，如图3所示，两个相邻条状子掩膜板104之间会有一定的缝隙E值限制，假设这个最小值为EO (E值与张网机台能力有关)，因此，(2D+E)即为相邻两条状子掩膜板的显示区之间的距离，如图4所示，当显示面板106需要达到窄边框需求时，面板106的左右边框距(a值)就要减小；由此引起的问题:
[0004](I) D值不变，减小E值，如果E < E0，就会存在张网时条状子掩膜板边缘断裂的风险;
[0005]⑵E值不变，减小D值，如果D < D0，就会存在掩膜板制作不良的风险；
[0006](3) D值和E值都减小，其极限值分别是DO和E0，如果窄边框设计左右Border值之和2a < 2D0+E0，那么现有技术下的条状子掩膜板设计就无法满足要求。
【实用新型内容】
[0007]有鉴于此，本实用新型提供了一种掩膜板，包含:一镂空的外框、支撑子掩膜板、多个条状子掩膜板；其中，所述支撑子掩膜板固定在所述外框上，所述多个条状子掩膜板沿其短轴方向并列排布在所述支撑子掩膜板上，其中，所述各条状子掩膜板沿其长轴方向设置有多个开口，所述开口的长轴与所述条状子掩膜板的排列方向平行。
[0008]在本实用新型中，所述外框、支撑子掩膜板和条状子掩膜板均呈矩形，其中，所述条状子掩膜板的开口呈矩形，且所述条状子掩膜板开口的长边平行于所述条状子掩膜板的排列方向、短边垂直于所述条状子掩膜板的排列方向。
[0009]在本实用新型中，所述掩膜板还包含侧边子掩膜板，所述侧边子掩膜板固定在所述支撑子掩膜板且位于所述条状子掩膜板的两侧。
[0010]在本实用新型中，所述外框、支撑子掩膜板、条状子掩膜板和侧边子掩膜板的材料均为金属。
[0011 ] 在本实用新型中，所述支撑子掩膜板焊接在所述外框上。
[0012]综上，采用本实用新型的掩膜板结构，可实现制作窄边框显示面板的设计和制作需求。
【附图说明】
[0013]图1为现有技术的掩膜板结构示意图；
[0014]图2、图3为图1中条状子掩膜板的结构示意图；
[0015]图4为显示面板的平面图；
[0016]图5为本实用新型实施例的掩膜板结构示意图；
[0017]图6为图5中条状子掩膜板的结构示意图；
[0018]图7为显示面板的平面图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。
[0020]图式中相同的号码代表相同或相似的组件。另一方面，众所周知的组件与步骤并未描述于实施例中，以避免对本实用新型造成不必要的限制。
[0021]请参照图5，为本实用新型一实施例的掩膜板结构示意图。该掩膜板包括一呈镂空状的外框205、支撑子掩膜板202、多个条状子掩膜板201以及侧边子掩膜板203，其中外框205、支撑子掩膜板202和条状子掩膜板201均呈矩形，具体地，侧边子掩膜板203固定在支撑子掩膜板202且位于条状子掩膜板201的两侧，支撑子掩膜板202及侧边子掩膜板203来遮挡不需要蒸镀有机材料的区域，然后通过张网将支撑子掩膜板202焊接在外框205上，从而制成精细金属掩膜板，多个条状子掩膜板201沿其短轴方向并列排布在支撑子掩膜板202上，各条状子掩膜板201沿其长轴方向设置有多个开口 204，开口对应显示区，用于在蒸镀过程中在显示面板上形成显示材料，开口 204呈矩形，开口 204的长边204a平行于条状子掩膜板201的排列方向、短边204b垂直于条状子掩膜板201的排列方向，如此设置，能使条状子掩膜板201中开口 204短边204b到条状子掩膜板边缘的距离为F，两个相邻条状子掩膜板之间的距离为G。
[0022]进一步参考图5、图6和图7，通常来说，显示面板206的左右边框距a+a距离很小，所以很容易小于相邻两条条状子掩膜板的开口区边界间的距离；而显示面板206的上下边框距b+c距离较大(由于显示面板206台阶的缘故)，所以相邻两条条状子掩膜板的开口区边界间的距离增大，从而能降低掩膜板的制作精度；如果对面板206做窄边框设计，在保证掩膜板制作精度和张网能力满足要求的情况下，上下边框距可以减小很多。具体地，对于掩膜板的制作来说，条状子掩膜板的开口到条状子掩膜板边缘的距离F有一个极限值，假设这个极限值为H);对于张网机台来说，相邻的两条条状子掩膜板之间的缝隙G也有一极限值，假设这个极限值为GO ;当面板206产品需满足窄边框要求时，即显示面板206的边框距值(a、b、c)均减小，那么能做到的窄边框设计极限为b+c = 2RHG0，此时a值会很小。因此，采用本实施例的方案，条状子掩膜板中的开口区的图案到条状子掩膜板的边缘距离就只与的上下边框值有关，在面板206设计为窄边框的时候，可以将2F+G的值设计为大于2D+E，降低对D和E值的下限要求，从而降低掩膜板制作和张网的难度。
[0023]进一步地，外框、支撑子掩膜板、条状子掩膜板和侧边子掩膜板材料可以为金属材料。
[0024]综上所述，采用本实用新型实施例的掩膜板结构，在制作窄边框显示面板时，可降低对掩膜板的制作和张网难度。
[0025]本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
[0026]以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种掩膜板，其特征在于，包含:一镂空的外框、支撑子掩膜板、多个条状子掩膜板；其中，所述支撑子掩膜板固定在所述外框上，所述多个条状子掩膜板沿其短轴方向并列排布在所述支撑子掩膜板上， 其中，所述各条状子掩膜板沿其长轴方向设置有多个开口，所述开口的长轴与所述条状子掩膜板的排列方向平行。
2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于:所述外框、支撑子掩膜板和条状子掩膜板均呈矩形，其中，所述条状子掩膜板的开口呈矩形，且所述条状子掩膜板开口的长边平行于所述条状子掩膜板的排列方向、短边垂直于所述条状子掩膜板的排列方向。
3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于:所述掩膜板还包含侧边子掩膜板，所述侧边子掩膜板固定在所述支撑子掩膜板且位于所述条状子掩膜板的两侧。
4.如权利要求3所述的掩膜板，其特征在于:所述外框、支撑子掩膜板、条状子掩膜板和侧边子掩膜板的材料均为金属。
5.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于:所述支撑子掩膜板焊接在所述外框上。
【专利摘要】本实用新型提供了一种掩膜板，包含：一镂空的外框、支撑子掩膜板、多个条状子掩膜板；其中，所述支撑子掩膜板固定在所述外框上，所述多个条状子掩膜板沿其短轴方向并列排布在所述支撑子掩膜板上，其中，所述各条状子掩膜板沿其长轴方向设置有多个开口，所述开口的长轴与所述条状子掩膜板的排列方向平行。采用本实用新型的掩膜板结构，可实现制作窄边框显示面板的设计需求。
【IPC分类】H01L51-56, C23C14-24, C23C14-04
【公开号】CN204401095
【申请号】CN201420866128
【发明人】魏云燕, 熊志勇, 钱栋
【申请人】上海天马有机发光显示技术有限公司, 天马微电子股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年12月31日