Pecvd镀膜用防绕镀台阶框的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池生产的配套工装，尤其是一种平板PECVD镀膜用的边框。
【背景技术】
[0002]目前太阳能电池锻膜设备中平板PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporD印osit1n等离子体增强化学气相沉积法)镀膜时，如图1所示，在电池背面镀膜过程中，由于等离子体3在硅片I下方，因此需要采用挂钩4将硅片I吊挂在等离子体源上方，而此种悬挂方式，硅片I与载板边框2之间存在缝隙，导致等离子通过缝隙绕镀到电池片上表面，引起硅片上表面边缘镀上一层薄薄的膜，从而导致生产过程中的一些不良问题。
【发明内容】
[0003]针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，能够有效阻止等离子体绕镀至硅片正面边缘，使得太阳能电池生产中硅片镀膜不存在饶镀现象，提高了产品的良率。本实用新型采用的技术方案是:
[0004]一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，包括用于承载硅片的载板边框，所述载板边框面向硅片的侧壁上设有台阶，硅片放置于载板边框的台阶上，台阶的内侧延伸部托住硅片，使得载板边框与硅片边缘间没有连通硅片上方和下方的缝隙。
[0005]进一步地，载板边框可采用碳纤维材料。
[0006]本实用新型的优点在于:
[0007]I)作为太阳能电池生产的配套工装之一，其结构设计简单实用，解决了生产中面临的技术问题。
[0008]2)使得PECVD镀膜的良品率大大提高。
[0009]3)相较于原先的挂钩，不容易对硅片背面造成损坏，更加安全可靠。
【附图说明】
[0010]图1为现有技术的框架示意图。
[0011]图2为本实用新型的台阶框俯视示意图。
[0012]图3为图2的A-A局部侧面示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0014]如图2和图3所示，本实用新型采用台阶框来取代挂钩，具体结构为:
[0015]一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，包括用于承载硅片I的载板边框2，载板边框2面向硅片I的侧壁上设有台阶201，硅片I放置于载板边框2的台阶201上，台阶201的内侧延伸部托住硅片1，使得载板边框2与硅片I边缘间没有连通硅片上方和下方的缝隙。因此在对硅片I背面进行PECVD镀膜时，能够阻止等离子体3绕镀至硅片I上方。硅片I的正面边缘就不会存在绕镀现象。
[0016]图2所示是该台阶框的整体俯视结构。载板边框2的材料为碳纤维。近似正方形的开口用于放置硅片I。
【主权项】
1.一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，包括用于承载硅片(I)的载板边框(2)，其特征在于: 所述载板边框(2)面向硅片(I)的侧壁上设有台阶(201)，硅片(I)放置于载板边框(2)的台阶(201)上，台阶(201)的内侧延伸部托住硅片(I)，使得载板边框(2)与硅片(I)边缘间没有连通硅片上方和下方的缝隙。
2.如权利要求1所述的PECVD镀膜用防绕镀台阶框，其特征在于: 载板边框(2)采用碳纤维材料。
【专利摘要】本实用新型提供一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，包括用于承载硅片的载板边框，所述载板边框面向硅片的侧壁上设有台阶，硅片放置于载板边框的台阶上，台阶的内侧延伸部托住硅片，使得载板边框与硅片边缘间没有连通硅片上方和下方的缝隙。进一步地，载板边框可采用碳纤维材料。本实用新型能够有效阻止等离子体绕镀至硅片正面边缘，使得太阳能电池生产中硅片镀膜不存在饶镀现象，提高了产品的良率。本实用新型的优点在于：1）作为太阳能电池生产的配套工装之一，其结构设计简单实用，解决了生产中面临的技术问题。2）使得PECVD镀膜的良品率大大提高。3）相较于原先的挂钩，不容易对硅片背面造成损坏，更加安全可靠。
【IPC分类】C23C16-458
【公开号】CN204417589
【申请号】CN201420788733
【发明人】鲁科, 乔琦, 陆红艳, 黄海涛, 陈如龙
【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2014年12月12日