真空镀膜设备用磁导向装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜设备用磁导向装置。
【背景技术】
[0002]目前在真空镀膜设备上使用的导向结构分别为机械导向和磁导向。机械导向由于结构复杂，对加工精度、安装精度要求极高等弊端逐渐被磁导向所替代。
[0003]磁导向通常为相斥结构，所以决定了其结构占用空间和面积大，由于占用空间大导致腔体内部空间随之增大，因而使得设备成本增加，另外，相斥结构使用并不是非常稳定，且造价昂贵，安装困难。此外，磁导向在真空镀膜设备上的使用还存在一个缺点，在使用加热的真空镀膜生产线设备上，由于温度提高，导致基片架会出现膨胀，基片架与导向接触的导向结构容易出现异常状态，相斥的结构虽然不接触但是也容易出现顶部卡住的情况。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提出一种支撑和导向稳定的真空镀膜设备用磁导向装置。
[0005]为达此目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0006]一种真空镀膜设备用磁导向装置，包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在所述内磁导向组件下部的基片架以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中，所述内磁导向组件包括内磁钢压板和通过所述内磁钢压板固定的内磁钢；所述基片架在朝所述内磁导向组件的一端设有支撑磁钢；所述内磁钢的N极与所述支撑磁钢的S极相对或所述内磁钢的S极与所述支撑磁钢的N极相对，所述内磁导向组件通过异极相吸为所述基片架提供支撑和导向。
[0007]进一步的，所述内磁导向组件还包括与所述内磁钢连接的用于为所述内磁钢降温的冷却通道。
[0008]进一步的，所述内磁导向组件还包括与所述冷却通道连接的水平设置的内连接板和与所述内连接板连接的冷却板，其中，所述冷却板与所述内磁钢压板通过螺钉连接，所述内磁钢设于所述内磁钢压板与所述冷却板形成的腔体内。
[0009]进一步的，所述外磁导向组件包括连接板、与所述连接板连接的磁钢安装板、设于所述磁钢安装板端部的外磁钢以及用于固定所述外磁钢的外磁钢压板。
[0010]进一步的，所述外磁导向组件通过支撑架与真空镀膜箱连接，所述连接板与所述支撑架连接。
[0011 ] 进一步的，所述外磁钢与所述内磁钢磁极的朝向相同。
[0012]进一步的，所述基片架上设有基片。
[0013]本实用新型提供的内磁导向组件根据异极相吸为基片架提供支撑和导向，支撑和导向稳定；设有的内磁导向组件和外磁导向组件均可独立的安装到真空镀膜箱，安装方便；内磁导向组件和外磁导向组件可单独调整结构；便于维修。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型【具体实施方式】提供的真空镀膜设备用磁导向装置的结构示意图；
[0015]图2是本实用新型【具体实施方式】提供的内磁导向组件的结构示意图；
[0016]图3是本实用新型【具体实施方式】提供的外磁导向组件的结构示意图。
[0017]图中标记为:
[0018]1、支撑架；2、基片架；3、支撑磁钢；11、冷却通道；12、内连接板；13、冷却板；14、内磁钢压板；15、内磁钢；21、连接板；22、磁钢安装板；23、外磁钢；24 ;外磁钢压板。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本实用新型的技术方案。
[0020]图1是本实用新型【具体实施方式】提供的真空镀膜设备用磁导向装置的结构示意图。该真空镀膜设备用磁导向装置包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在内磁导向组件下部的基片架2以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中，内磁导向组件包括内磁钢压板14和通过内磁钢压板14固定的内磁钢15 ;基片架2在朝内磁导向组件的一端设有支撑磁钢3 ；内磁钢15的N极与支撑磁钢3的S极相对或内磁钢15的S极与支撑磁钢3的N极相对，内磁导向组件通过异极相吸为基片架2提供支撑和导向。
[0021]内磁导向组件还包括与内磁钢15连接的用于为内磁钢15降温的冷却通道11，与冷却通道11连接的水平设置的内连接板12和与内连接板12连接的冷却板13，其中，冷却板13与内磁钢压板14通过螺钉连接，内磁钢15设于内磁钢压板14与冷却板13形成的腔体内，内磁导向组件如图2所示。安装时，先将内磁导向组件整体安装好，再固定到真空镀膜箱中，如需调整结构时，可将内磁导向组件取出进行调整，调整方便、安装工序简单。
[0022]图3是本实施方式提供的外磁导向组件的结构示意图，外磁导向组件包括连接板21、与连接板21连接的磁钢安装板22、设于磁钢安装板22端部的外磁钢23以及用于固定外磁钢23的外磁钢压板24。其中，外磁导向组件通过支撑架I与真空镀膜箱连接，连接板21与支撑架I连接。安装时，先将外磁导向组件整体安装好，再固定到真空镀膜箱的外侧，如需调整结构时，可将外磁导向组件取出进行调整，调整方便、安装工序简单。
[0023]外磁钢23与内磁钢15磁极的朝向相同，本实施方式中优选为条形磁钢且竖直设置，内磁钢15和外磁钢23的S极均朝下方设置，内磁钢15的S极与基片架2端部设有的N极相对，根据异极相吸的原理，内磁导向组件对基片架2起到定位支撑作用且比同极相斥的定位更加稳定且底部传动受力减小。内磁钢15和外磁钢23并不局限于S极朝下方设置，还可以是N极朝下方设置，只要内磁钢15的N极与基片架2端部设有的S极相对即可。
[0024]基片架2上设有基片，工作时，基片架2通过传动组件在内磁导向组件和外磁导向组件之间循环运动，由于工艺的要求，运动速度需时快时慢，因而磁导向组件的安装位置必须在一直线上，以保证基片在运动过程中平稳运行。
[0025]以上结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的【具体实施方式】，本领域的技术人员在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所护的范围情况下，还可得到很多形式，这些均在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在所述内磁导向组件下部的基片架(2)以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中， 所述内磁导向组件包括内磁钢压板(14)和通过所述内磁钢压板(14)固定的内磁钢(15);所述基片架(2)在朝所述内磁导向组件的一端设有支撑磁钢(3); 所述内磁钢(15)的N极与所述支撑磁钢(3)的S极相对或所述内磁钢(15)的S极与所述支撑磁钢(3)的N极相对，所述内磁导向组件通过异极相吸为所述基片架(2)提供支撑和导向。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，所述内磁导向组件还包括与所述内磁钢(15)连接的用于为所述内磁钢(15)降温的冷却通道(11)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，所述内磁导向组件还包括与所述冷却通道(11)连接的水平设置的内连接板(12)和与所述内连接板(12)连接的冷却板(13)，其中，所述冷却板(13)与所述内磁钢压板(14)通过螺钉连接，所述内磁钢(15)设于所述内磁钢压板(14)与所述冷却板(13)形成的腔体内。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，所述外磁导向组件包括连接板(21)、与所述连接板(21)连接的磁钢安装板(22)、设于所述磁钢安装板(22)端部的外磁钢(23)以及用于固定所述外磁钢(23)的外磁钢压板(24)。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，所述外磁导向组件通过支撑架(I)与真空镀膜箱连接，所述连接板(21)与所述支撑架(I)连接。
6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，所述外磁钢(23)与所述内磁钢(15)磁极的朝向相同。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种真空镀膜设备用磁导向装置，其特征在于，所述基片架(2)上设有基片。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜设备用磁导向装置，属于机械制造设备技术领域，为解决现有磁导向装置导向不稳定等问题而设计。一种真空镀膜设备用磁导向装置包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在内磁导向组件下部的基片架以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中，内磁导向组件包括内磁钢压板和通过内磁钢压板固定的内磁钢；基片架在朝磁导向组件的一端设有支撑磁钢；内磁钢的N极与支撑磁钢的S极相对或内磁钢的S极与支撑磁钢的N极相对，内磁导向组件通过异极相吸为所述基片架提供支撑和导向。该真空镀膜设备用磁导向装置支撑和导向稳定、安装方便、制造成本低。
【IPC分类】C23C14-50
【公开号】CN204550702
【申请号】CN201520038422
【发明人】李东岳, 张学星, 王兴立, 王建军, 张彦清, 袁志尧
【申请人】承德新新机电设备制造有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年1月20日