一种靶材解绑装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于溅射靶材领域，具体涉及溅射靶材的解绑定及背板回收。
【背景技术】
[0002]溅射靶在集成电路、平面显示以及太阳能薄膜电池等高技术产业中，有着极其广泛的应用。随着溅射基片的尺寸不断增大和新技术新工艺的应用，溅射靶在纯度、微观组织以及靶材与背板连接的要求也越来越高。
[0003]在溅射过程中，靶材组件作为阴极，首先应具有优良的导电性，同时为了排放高能态离子高速轰击靶材表面产生的热量，靶材组件也要具有优良的导热性。因此，靶材与背板的连接既要有一定的结合强度，以避免溅射靶在工作中的脱落、开裂等问题，又要有高的热传导率和电传导率，此外靶材的晶粒经热机械处理后，细小均匀，不能在焊接过程中发生改变。针对靶材与背板组件的连接问题，主要有机械压合、热压或者热等静压扩散焊接的方法。公开号为US2009/0250337A1的美国专利申请公开了一种圆筒状靶材的绑定方法，其中披露了使用In，Sn, InSn, SnBi或低温(低于300°C )熔点之低温金属作为焊料将筒状靶材与筒状载管焊接，然而，利用该方法绑定的靶材在使用的过程中不能承受高温，且由于焊料太贵而导致绑定成本过高。同时由于靶材与背板组件之间的热膨胀系数不同，因此在焊接过程中容易使得靶材或背板组件发生弯曲，从而导致绑定后的靶材组件发生弯曲。
[0004]公开号为CN103264231A的中国专利公开了一种适于高温溅射靶材的焊接方法，通过在靶材和背板的焊接面以及铜网的两面涂布含有重量百分比为60-70%的银粉或重量百分比为70-80%的活性炭颗粒的环氧树脂胶，依次叠放各层后于常温常压下固化而完成靶材的绑定。该专利解决了靶材溅镀过程中不能承受高温这一技术问题，利用该专利所述方法制作的靶材可承受200-250°C的高温，从而使得靶材溅射功率可提高三分之一左右，且可明显提高溅射速率，较不易脱靶，实现了高效连续溅镀，显著提高了生产效率。但是，使用环氧树脂胶来固定靶材与背板组件时，由于环氧树脂胶粘结在背板组件上不易被清除，因此该绑定方法导致背板组件难以被回收。
[0005]目前，针对使用导电胶进行绑定的溅射靶一般使用机械拆解或者高温碳化的方式对残余靶材进行剥离，这种解绑定方式容易对背板造成损伤，且在操作及能量消耗方面都有较大的浪费。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型针对上述对使用导电胶进行绑定的靶材在解绑定时所遇到的问题，提出了一种解绑定方式及解绑定装置。
[0007]具体的，本实用新型使用溶胀剂对靶材组件进行浸泡，使导电胶逐渐溶解，从而使残余靶材与背板相互分离。这种解绑定方法不会对背板形成损伤，有利于背板的回收。同时导电胶残渣中的贵金属导电颗粒可以统一进行富集回收。
[0008]本实用新型的解绑定装置包括解绑容器、集渣斗、滤网、管道、溶胀剂储罐。其中解绑容器下部具有溶胀剂出口，并连接有集渣斗，集渣斗下部搁置有滤网用于富集靶材残渣。滤网下部出口连接有溶胀剂管道，通过溶胀剂管道连接至溶胀剂储罐的入口。溶胀剂储罐上部设置有出口，使溶胀剂经过管道进入到解绑容器，从而形成了溶胀剂在整个解绑定装置中能够循环使用。
[0009]进一步的，为了溶胀剂能够在管道中流动，在管道上加装有栗。
[0010]进一步的，在管道上设置有阀门来控制溶胀剂的流动。
[0011]进一步的，解绑容器上设置有解绑容器盖对解绑容器密封，以防止溶胀剂挥发。
[0012]将使用过的靶材放入解绑容器中，盖上容器盖密封，防止溶胀剂挥发。根据绑定胶的类型，选择在溶胀剂储罐中放入不同的溶胀剂，如正丁醇和二甲苯的混合溶胀剂，通过栗将溶胀剂由溶胀剂储罐栗入解绑容器中，达到指定容量后，通过阀门隔断容器和储罐。残余靶材在溶胀剂中浸泡2-3小时，靶材与背板实现分离。打开容器底部阀门，将残余靶材和背板取出，而夹带了导电胶残渣的溶胀剂进入集渣斗，固体的残渣被滤网过滤留在集渣斗中，溶胀剂通过管道被栗入溶胀剂储罐中循环使用。整个体系除进料和出料部分外，整个流程采取自动化控制。
【附图说明】
[0013]图I是本实用新型的解绑定装置结构示意图。
[0014]其中：1、溶胀剂 2、残余靶材 3、解绑容器 4、集渣斗 5、滤网 6、管道 7、溶胀剂储罐 8、解绑容器盖。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图对本实用新型实施方式做进一步阐述。
[0016]实施例I
[0017]本实用新型的解绑定装置包括解绑容器3、集渣斗4、滤网5、管道6、溶胀剂储罐7和解绑容器盖8。其中解绑容器3下部具有溶胀剂出口，并连接有集渣斗4，集渣斗4下部搁置有滤网5用于富集靶材残渣。滤网5下部出口连接有溶胀剂管道，通过溶胀剂管道6连接至溶胀剂储罐7的入口。溶胀剂储罐7上部设置有出口，使溶胀剂经过管道6进入到解绑容器3，从而形成了溶胀剂在整个解绑定装置中能够循环使用。在管道6上加装有栗来帮助溶胀剂I进行流动。还设置有阀门来控制溶胀剂I的流动。
[0018]将使用过的靶材2放入解绑容器3中，盖上解绑容器盖8密封，防止溶胀剂挥发。根据绑定胶的类型，选择在溶胀剂储罐中放入不同的溶胀剂1，如正丁醇和二甲苯的混合溶胀剂，通过栗将溶胀剂由溶胀剂储罐7栗入解绑容器3中，达到指定容量后，通过阀门隔断容器和储罐。残余靶材在溶胀剂中浸泡2-3小时，靶材与背板实现分离。打开容器底部阀门，将残余靶材和背板取出，而夹带了导电胶残渣的溶胀剂进入集渣斗，固体的导电胶残渣被滤网5过滤留在集渣斗4中，溶胀剂通过管道6被栗入溶胀剂储罐7中循环使用。整个体系除进料和出料部分外，整个流程采取自动化控制。
[0019]在本实施例中，胶残渣被富集于滤网5上方的集渣斗4中。因而导电胶残渣中的贵金属导电颗粒可以被富集，以便于回收。
[0020]以上实施例仅用于对本实用新型进行具体说明，其并不对本实用新型的保护范围起到任何限定作用，本实用新型的保护范围由权利要求确定。根据本领域的公知技术和本实用新型所公开的技术方案，可以推导或联想出许多变型方案，所有这些变型方案，也应认为是本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种靶材解绑装置，其包括解绑容器3、集渣斗4、滤网5、管道6和溶胀剂储罐7 ;所述解绑容器3用于存储溶胀剂I及靶材2 ;解绑容器3下部具有溶胀剂出口，并连接有集渣斗4，集渣斗4下部搁置有滤网5用于富集胶残渣Γ滤网5下部出口连接有管道6，通过管道6连接至溶胀剂储罐7的入口 ；溶胀剂储罐7上部设置有出口，使溶胀剂I经过管道6进入到解绑容器3 ;从而形成了溶胀剂在整个靶材解绑装置中能够循环使用。2.如权利要求1所述的靶材解绑装置，在所述管道6上加装有栗，用于推动溶胀剂的循环。3.如权利要求2所述的靶材解绑装置，在所述管道6上设置有阀门。4.如权利要求1所述的靶材解绑装置，所述解绑容器3上设置有解绑容器盖8对解绑容器3密封。
【专利摘要】本实用新型涉及一种靶材解绑装置，针对使用导电胶进行绑定的靶材，使用溶胀剂进行解绑。该靶材解绑装置包括解绑容器3、集渣斗4、滤网5、管道6和溶胀剂储罐7。通过该装置对导电胶绑定的靶材进行解绑，一方面可以无损的将废靶材与背板分离，从而提高背板的回收利用率。另一方面通过集渣斗对导电胶渣质进行富集，以便于能够有效的对贵金属导电颗粒进行回收。该靶材解绑装置同时实现了溶胀剂的自动循环使用进一步降低了靶材重复回收利用的成本。
【IPC分类】C23C14/34
【公开号】CN204939600
【申请号】CN201520446219
【发明人】王波, 祝令建, 彭侃
【申请人】汉能新材料科技有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年6月26日