高真空多功能镀膜样品台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及高真空多功能镀膜样品台。
【背景技术】
[0002]目前，镀膜样品台存在以下问题；多为分体操作，成本过高;真空在线更换图形需独立系统;每块样片不可安装挡板;加热采用电阻丝加热。
【实用新型内容】
[0003]针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供的高真空多功能镀膜样品台，为集约型，质量轻，多个动作集合统一，可多次更换图形，方便简洁，可手动，可自动。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0005]高真空多功能镀膜样品台包括:升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。
[0006]其中，其驱动方式采用步进电机以及减速电机混合。
[0007]其中，所述旋转机构组件采用磁流体做旋转，直线轴承做辅助传动。
[0008]其中，所述升降机构组件以焊件波纹管为升降辅助，并以接触开关做限位辅助。
[0009]其中，所述滑动密封管焊件顶部设有手柄，所述手柄为手动切换模板图形。
[0010]本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的高真空多功能镀膜样品台，为集约型，简洁，质量轻，成本低廉，可真空在线更换图形，可手动、可电动，并配有样品小挡板，加热采用光电加热，整洁、干净，温度误差小，亦可做成水冷式。
[0011]为了能更进一步了解本实用新型的特征以及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。
【附图说明】
[0012]下面结合附图，通过对本实用新型的【具体实施方式】详细描述，将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0013]图1是本实用新型高真空多功能镀膜样品台的立体图。
[0014]图2是本实用新型高真空多功能镀膜样品台的剖视图。
[0015]图3是本实用新型高真空多功能镀膜样品台的俯视图。
【具体实施方式】
[0016]为更进一步阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果，以下结合本实用新型的优选实施例及其附图进行详细描述。
[0017]请参阅图1至图3，高真空多功能镀膜样品台包括:升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。
[0018]进一步，其驱动方式采用步进电机以及减速电机混合。
[0019]进一步，所述旋转机构组件采用磁流体做旋转，直线轴承做辅助传动。
[0020]进一步，所述升降机构组件以焊件波纹管为升降辅助，并以接触开关做限位辅助。
[0021]进一步，所述滑动密封管焊件顶部设有手柄，所述手柄为手动切换模板图形。
[0022]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.高真空多功能镀膜样品台，其特征在于，包括:升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。2.根据权利要求1所述的高真空多功能镀膜样品台，其特征在于，其驱动方式采用步进电机以及减速电机混合。3.根据权利要求1所述的高真空多功能镀膜样品台，其特征在于，所述旋转机构组件采用磁流体做旋转，直线轴承做辅助传动。4.根据权利要求1所述的高真空多功能镀膜样品台，其特征在于，所述升降机构组件以焊件波纹管为升降辅助，并以接触开关做限位辅助。5.根据权利要求1所述的高真空多功能镀膜样品台，其特征在于，所述滑动密封管焊件顶部设有手柄，所述手柄为手动切换模板图形。
【专利摘要】本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及高真空多功能镀膜样品台。该高真空多功能镀膜样品台包括：升降机构组件、旋转机构组件、滑动密封管焊件、挡板机构锁母、挂架机构组件、托架机构组件、挡板机构组件，所述滑动密封管焊件一侧设有升降机构组件，顶部设有旋转机构组件，底部设有挡板机构锁母，所述托架机构组件上方设有挡板机构锁母，下方设有挂架机构组件，所述托架机构组件上方设有托架机构组件，一侧设有挡板机构组件。本实用新型提供的高真空多功能镀膜样品台，为集约型，简洁，质量轻，成本低廉，可真空在线更换图形，可手动、可电动，并配有样品小挡板，加热采用光电加热，整洁、干净，温度误差小，亦可做成水冷式。
【IPC分类】C23C14/50, C23C16/458
【公开号】CN205223342
【申请号】CN201521034429
【发明人】李璐
【申请人】沈阳科诚真空技术有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月15日