真空镀膜靶材离子流导向装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种真空镀膜靶材离子流导向装置，包括加热底板和导向顶板，加热底板内具有加热电阻，加热底板的中心具有十字隔离板，十字隔离板的顶部具有盖板，加热底板上具有绕其轴线均布的多个分隔板，分隔板的一端朝向十字隔离板方向延伸，另一端朝向加热底板的边缘处延伸，导向顶板位于盖板的上方，导向顶板的下表面与分隔板的上表面固定，分隔板、加热底板和导向顶板将加热底板和导向顶板之间的区域分割成多个气流通道。本实用新型的有益效果是能对靶材离子流的流向进行再分配，使其尽可能均匀的散播于镀膜腔中，特别适用于大型板材的镀膜。
【专利说明】
真空镀膜靶材离子流导向装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜靶材离子流导向装置。
【背景技术】
[0002]在现有的技术中对应大型板材的真空镀膜时，及时镀膜仓中设置多个靶材蒸发点，依然不能使离子流在镀膜仓内均匀分布，镀膜的效果不佳。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种真空镀膜靶材离子流导向装置，克服了现有技术中的不足。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:真空镀膜靶材离子流导向装置，包括加热底板和导向顶板，所述加热底板内具有加热电阻，所述加热底板的中心具有十字隔离板，所述十字隔离板的顶部具有盖板，所述加热底板上具有绕其轴线均布的多个分隔板，所述分隔板的一端朝向所述十字隔离板方向延伸，另一端朝向所述加热底板的边缘处延伸，所述导向顶板位于所述盖板的上方，所述导向顶板的下表面与所述分隔板的上表面固定，所述分隔板、所述加热底板和所述导向顶板将所述加热底板和所述导向顶板之间的区域分割成多个气流通道。
[0005]进一步，所述导向顶板的下表面为下凹的弧面。
[0006]本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案，能对靶材离子流的流向进行再分配，使其尽可能均匀的散播于镀膜腔中，特别适用于大型板材的镀膜。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的整体结构不意图；
[0008]图2是去除导向顶板后的内部结构示意图；
[0009 ]图中:1-加热底板;2-导向顶板;3-分隔板;4-盖板;5-十字隔离板。
【具体实施方式】
[0010]如图1、2所示，本实用新型提供一种真空镀膜靶材离子流导向装置，包括加热底板I和导向顶板2，加热底板I内具有加热电阻(图中未示)，加热底板I的中心具有十字隔离板5，十字隔离板5的顶部具有盖板4，加热底板I上具有绕其轴线均布的多个分隔板3，分隔板3的一端朝向十字隔离板5方向延伸，另一端朝向加热底板I的边缘处延伸，导向顶板2位于盖板4的上方，导向顶板2的下表面与分隔板3的上表面固定，分隔板3、加热底板I和导向顶板2将加热底板I和导向顶板2之间的区域分割成多个气流通道。
[0011]使用时，可将四个靶材分别放置于十字隔离板5内，各靶材之间相互独立，由十字分隔板5分隔开，加热后形成的离子蒸汽流言气流通道分别流出，从导向顶板2的边缘处均勾分布于镀膜仓中。
[0012]导向顶板2的下表面为下凹的弧面，有利于离子流上行。
[0013]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.真空镀膜靶材离子流导向装置，其特征在于:包括加热底板和导向顶板，所述加热底板内具有加热电阻，所述加热底板的中心具有十字隔离板，所述十字隔离板的顶部具有盖板，所述加热底板上具有绕其轴线均布的多个分隔板，所述分隔板的一端朝向所述十字隔离板方向延伸，另一端朝向所述加热底板的边缘处延伸，所述导向顶板位于所述盖板的上方，所述导向顶板的下表面与所述分隔板的上表面固定，所述分隔板、所述加热底板和所述导向顶板将所述加热底板和所述导向顶板之间的区域分割成多个气流通道。2.根据权利要求1所述的真空镀膜靶材离子流导向装置，其特征在于:所述导向顶板的下表面为下凹的弧面。
【文档编号】C23C14/24GK205473953SQ201620075742
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】同建辉, 李卫东, 孙婧
【申请人】天津众伟科技有限公司