一种真空镀膜机的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种真空镀膜机，包括：镀膜罐体，所述镀膜罐体的侧壁上开设有多个加气口，多个所述加气口在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；多个加气装置，多个所述加气装置安装在所述镀膜罐体的侧壁上，且所述加气装置与所述加气口一一对应连通。本实用新型通过沿镀膜罐体的高度方向上开设多个加气口，且布置多个与之一一对应连通的加气装置，有效完善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量和外观颜色的均匀度。
【专利说明】
一种真空镀膜机
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜机的加气系统，尤其涉及一种具有该加气系统的真空镀膜机。
【背景技术】
[0002]利用真空蒸发技术在工件表面镀制一层具有特殊性能膜层的技术，已经成熟运用于工业生产及装饰材料上。目前，较大型的立式真空镀膜机，普遍采用在镀膜罐体外表面布置一个进气加气装置，内置一组纵向放置的进气管，进气管上有多个进气小孔，镀膜罐体越高，相应内置进气管就越长，使得进气管上每个进气小孔排出的工艺反应气体越不均匀，从而影响镀膜质量及镀层颜色的均匀度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种真空镀膜机。
[0004]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种真空镀膜机，包括:
[0005]镀膜罐体，所述镀膜罐体的侧壁上开设有多个加气口，多个所述加气口在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布；
[0006]多个加气装置，多个所述加气装置安装在所述镀膜罐体的侧壁上，且所述加气装置与所述加气口——对应连通。
[0007]本实用新型的有益效果是:本实用新型通过沿镀膜罐体的高度方向上开设多个加气口，且布置多个与之一一对应连通的加气装置，有效完善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量和外观颜色的均匀度。
[0008]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0009]进一步，多个所述加气装置的中心的连线在同一条直线上，且所述连线与所述镀膜罐体的底部所在平面垂直。
[0010]采用上述进一步方案的有益效果是:通过将加气装置的中心设置在一条直线上，可方便镀膜。
[0011]进一步，多个所述加气装置在所述镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向交错布置。
[0012]进一步，所述加气装置包括:
[0013]气体输入装置，所述气体输入装置上设有与所述加气口一一对应的气体输入管，所述气体输入管通过所述加气口插入所述镀膜罐体的内部且与所述镀膜罐体固定相连；
[0014]多个加气管，每一个所述加气口所在平面上设有至少一个加气管，所述加气管竖直布置，所述加气管上开设有多个加气孔;所述加气管的中部与对应位置的气体输入管相连通。
[0015]采用上述进一步方案的有益效果是:通过设置加气管，且将加气管沿所述镀膜罐体的高度方向布置，这样可缩短每个所述加气装置的加气管的长度，使得从每根加气管上的小孔进入镀膜罐体内的工艺反应气体更趋于均匀，特别是当使用比重大的工艺反应气体时，整个镀膜罐体内更容易形成稳定的气流，提供了镀膜质量及镀层的均匀度。
[0016]进一步，多个所述加气孔沿所述镀膜罐体的高度方向布置。
[0017]采用上述进一步方案的有益效果是:通过将加气孔沿所述镀膜罐体的高度方向布置，进一步增强了镀膜的均匀性。
[0018]进一步，多个所述加气孔的中心的连线在同一条直线上。
[0019]进一步，多个所述加气孔在所述加气管上沿所述镀膜罐体的高度方向交错布置。
[0020]进一步，所述镀膜罐体的侧壁上开设有2个-10个加气口。
[0021]进一步，每个所述气体输入管上均安装有一个流量计。
[0022]采用上述进一步方案的有益效果是:通过在每个气体输入管上安装一个流量计，每个加气装置的进气量由流量计根据工艺要求控制。
[0023]进一步，所述镀膜罐体呈圆柱形结构或横截面为多边形的柱状结构，其上均匀布置有多个蒸发源。
【附图说明】
[0024]图1为本实施例的主视结构示意图；
[0025]图2为本实施例的俯视结构不意图。
[0026]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0027]1、镀膜罐体；11、加气口； 2、加气装置;21、气体输入装置;22、加气管;221、加气孔；
3、蒸发源。
【具体实施方式】
[0028]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0029 ]如图1和图2所示，本实施例的一种真空镀膜机，包括:
[0030]镀膜罐体I，所述镀膜罐体I可以根据需要采用任意形状的柱状结构，本实施例优选采用圆柱形结构或横截面为多边形的柱状结构，多边形优选采用四边形;所述镀膜罐体I上均匀布置有多个蒸发源3;所述镀膜罐体I的侧壁上开设有多个加气口 11，多个所述加气口 11在所述镀膜罐体I的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布;优选的，所述镀膜罐体I的侧壁上开设有2个-1O个加气口 11，最优选择为在镀膜罐体I的侧壁上开设5个加气口 11，加气口的个数可以根据镀膜罐体I的大小和高度来具体设定，可以为4个、5个、6个、7个、8个、9个等任意个数；
[0031]多个加气装置2，多个所述加气装置2安装在所述镀膜罐体I的侧壁上，且所述加气装置2与所述加气口 11——对应连通。
[0032]本实施例通过沿镀膜罐体的高度方向上布置多个加气装置，有效完善了镀膜过程中工艺反应气体在镀膜区的均匀分布，进而大大提高了镀件的整体膜层质量和外观颜色的均匀度。
[0033]本实施例的加气装置2的排布方式有两种实施方式:
[0034]实施方式一:多个所述加气装置2的中心的连线在同一条直线上，且所述连线与所述镀膜罐体I的底部所在平面垂直。
[0035]实施方式二:多个所述加气装置2在所述镀膜罐体I的侧壁上沿其高度方向交错布置。
[0036]如图1和图2所示，所述加气装置2包括:
[0037]气体输入装置21，所述气体输入装置21上设有与所述加气口11一一对应的气体输入管，所述气体输入管通过所述加气口 11插入所述镀膜罐体I的内部且与所述镀膜罐体I固定相连；
[0038]多个加气管22，每一个所述加气口11所在平面上设有至少一个加气管22，所述加气管22竖直布置，所述加气管22上开设有多个加气孔221;所述加气管22的中部与对应位置的气体输入管相连通。即镀膜罐体每一个加气口所在高度可能会安装一个或几个加气管，镀膜罐体每一个加气口上只有一个气体输入管，每一个气体输入管上只需要安装一个流量计即可控制每一个加气口的进气量。
[0039]本实施例的加气孔221在加气管22上的排布方式有两种，多个所述加气孔221可以沿所述镀膜罐体I的高度方向布置，多个所述加气孔221的中心的连线在同一条直线上。多个所述加气孔221在所述加气管22上也可以沿所述镀膜罐体I的高度方向交错布置。
[0040]本实施例的每个所述气体输入管上均安装有一个流量计。通过在每个气体输入管上安装一个流量计，每个加气装置的进气量由流量计根据工艺要求控制。
[0041]本实施例的真空镀膜机的工作过程为:通过设置在镀膜罐体外壁上的气体输入装置以及设置在镀膜罐体内的加气管，可将工艺反应气体通入镀膜罐体内，镀膜罐体内为蒸发源产生电离形成的镀膜区，位于镀膜罐体内的镀件表面形成所需要的膜层及颜色，镀膜完成后，最后通过抽气装置将镀膜罐体内的气体排到镀膜罐体外，每个进气口的进气量由流量计根据工艺要求控制调节。
[0042]本实施例的真空镀膜机中，添加工艺反应气体的加气装置在镀膜罐体内分为两组或多组，且两组或多组加气装置在镀膜罐体的侧壁上沿其高度方向布置，各个加气口上下可在同一条纵线上布置，也可在同一条纵线上相互错位布置，这样缩短了每组加气管的长度，使得从每根加气管上的小孔进入镀膜罐体内的工艺反应气体更趋于均匀，特别是当使用比重大的(如乙炔气、氮气等)工艺反应气体时，整个镀膜罐体内更容易形成稳定气流，提高了镀膜质量及镀层颜色的均匀度。
[0043]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括: 镀膜罐体(I)，所述镀膜罐体(I)的侧壁上开设有多个加气口( 11)，多个所述加气口(11)在所述镀膜罐体(I)的侧壁上沿其高度方向依次顺序排布； 多个加气装置(2)，多个所述加气装置(2)安装在所述镀膜罐体(I)的侧壁上，且所述加气装置(2)与所述加气口(11)——对应连通。2.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述加气装置(2)的中心的连线在同一条直线上，且所述连线与所述镀膜罐体(I)的底部所在平面垂直。3.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述加气装置(2)在所述镀膜罐体(I)的侧壁上沿其高度方向交错布置。4.根据权利要求1至3任一项所述一种真空镀膜机，其特征在于，所述加气装置(2)包括: 气体输入装置(21)，所述气体输入装置(21)上设有与所述加气口( 11) 一一对应的气体输入管，所述气体输入管通过所述加气口(II)插入所述镀膜罐体(I)的内部且与所述镀膜罐体(I)固定相连； 多个加气管(22)，每一个所述加气口(11)所在平面上设有至少一个加气管(22)，所述加气管(22)竖直布置，所述加气管(22)上开设有多个加气孔(221);所述加气管(22)的中部与对应位置的气体输入管相连通。5.根据权利要求4所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述加气孔(221)沿所述镀膜罐体(I)的高度方向布置。6.根据权利要求5所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述加气孔(221)的中心的连线在同一条直线上。7.根据权利要求5所述一种真空镀膜机，其特征在于，多个所述加气孔(221)在所述加气管(22)上沿所述镀膜罐体(I)的高度方向交错布置。8.根据权利要求1所述一种真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜罐体(I)的侧壁上开设有2个-10个加气口(11)。9.根据权利要求5至7任一项所述一种真空镀膜机，其特征在于，每个所述气体输入管上均安装有一个流量计。10.根据权利要求9所述一种真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜罐体(I)呈圆柱形结构或横截面为多边形的柱状结构，其上均匀布置有多个蒸发源(3)。
【文档编号】C23C14/24GK205576263SQ201620412602
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年5月9日
【发明人】王百江, 王伟
【申请人】遵化市宝瑞钛金设备有限公司