掩膜板的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种掩膜板，该掩膜板包括图形部分和边框部分，还包括：切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断；未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。通过本实用新型，达到了有效地缓解手动折断掩膜板而产生的边缘褶皱或翘起的发生的效果。
【专利说明】
掩膜板
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示技术领域，尤其是涉及一种掩膜板。
【背景技术】
[0002]精细金属掩膜(FMM Mask)模式是通过蒸镀方式将0LED(0rganic Light-EmittingD1de，有机发光二极管)材料按照预定程序蒸镀到LTPS( Low Temperature Poly-si I icon，低温多晶硅)背板上，利用FMM上的图形，蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。
[0003]在使用FMM Mask的过程中，需要将先对FMM Mask进行张网和拉伸，再将其焊接到金属框架上，因此FMM Mask在制作时需要预留出多余部分供拉伸时使用，焊接完成后再将多余部分去除。目前的FMM Mask生产工艺中，是在多余部分的边缘预先刻蚀出切割线(Cutting Line)，焊接完成后由人工沿着切割线将多余部分折断，其中，切割线是采用半刻蚀工艺形成的，因此其并没有刻透FMM Mask，这样设计的目的是保持FMM Mask的足够硬度以避免轻易折断，相对不刻蚀的方法又适当减小了FMM Mask的硬度以方便折断。
[0004]对于FMM Mask上的切割线(Cutting Line)设计方式，目前主要采用在FMM Mask上设计非贯穿的Cutting Line设计，S卩在Cutting Line的两个边缘分别预留一未刻蚀区域(宽度为ΙΟΟμπι左右)，以此方式达到增加Cutting Line位置区域的强度，但是未刻蚀区域的存在会增加手动折断多余部分时的难度，即使折断也很容易在Cutting Line边缘产生裙皱或翘起，褶皱或翘起的区域会影响FMM Mask和待蒸镀基板的接触，最终容易使显示基板产生较大的阴影(Shadow)，降低产品良率。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的主要目的在于提供一种可以防止在折断精细金属掩膜的切割线的过程中容易在切割线边缘产生褶皱或翘起的技术方案。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种掩膜板，包括图形部分和边框部分，还包括:切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断;未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。
[0007]优选地，还包括:开口结构，位于所述切割线结构在延伸方向上的至少一个端部区域，所述开口结构在所述切割线结构延伸方向上的宽度小于所述预设长度值，所述切割线结构在延伸方向上的延长线贯穿所述开口结构。
[0008]优选地，所述开口结构包括:分别位于所述切割线结构在延伸方向上的两个端部区域的第一开口和第二开口。
[0009]优选地，所述第一开口在所述切割线结构延伸方向上的第一宽度与所述第二开口在所述切割线结构延伸方向上的第二宽度的范围为0.5mm?1mm。
[0010]优选地，所述第一宽度与所述第二宽度相等。
[0011 ]优选地，所述第一开口和所述第二开口的形状均为矩形。
[0012]优选地，所述第一开口垂直于所述切割线结构延伸方向的第一侧边的中点和所述第二开口垂直于所述切割线结构延伸方向的第二侧边的中点之间的连线与所述切割线结构的延伸线重合。
[0013]优选地，所述第一开口靠近所述图形部分且平行于所述切割线结构延伸方向的第三侧边和所述第二开口靠近所述图形部分且平行于所述切割线结构延伸方向的第四侧边的连线与所述切割线结构的延伸方向重合。
[0014]优选地，当所述未刻蚀部分位于所述切割线结构在延伸方向上的中间区域时，所述未刻蚀部分包括第一未刻蚀子部分和第二未刻蚀子部分，所述第一未刻蚀子部分和所述第二未刻蚀子部分将所述切割线结构分割为三部分。
[0015]优选地，所述第一未刻蚀子部分与所述第二未刻蚀子部分相对于所述切割线结构延伸方向对称，且相对于所述切割线结构的中垂线对称。
[0016]与现有技术相比，本实用新型所述的掩膜板，可以有效地缓解手动折断掩膜板而产生的边缘褶皱或翘起的发生，使掩膜板和玻璃基板接触良好，从而避免蒸镀完成的显示面板出现阴影，进而提高显示面板的产品良率。
【附图说明】
[0017]图1是根据现有技术的掩膜板的结构示意图；
[0018]图2是根据本实用新型实施例的一种掩膜板的结构示意图；
[0019]图3是根据本实用新型实施例的另一种掩膜板的结构示意图；
[0020]图4是根据本实用新型实施例的又一种掩膜板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0021]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0022]目前，为了增加掩膜板的强度以防止掩膜板折断，很多厂商采用未贯穿的切割线设计，掩膜板的两侧边缘预留一定宽度(例如，ΙΟΟμπι)的未刻蚀区，但是在手动切除掩膜板多余部分的时候，由于两侧未刻蚀区的存在，中间部分先折断，两侧部分后折断，在中间部分折断和两侧部分未折断的过程中，由于手动施力的原因，很容易使两侧未刻蚀区域产生褶皱或翘起，影响掩膜板和基板的接触状态。为便于理解，请参考图1 (图1是根据现有技术的掩膜板的结构示意图)，如图1所示，两侧的虚线框区域即为在手动弯折掩膜板过程中容易发生褶皱或翘起的区域。
[0023]可以看出现有技术中，在切割线区域设置未刻蚀区域的方式不仅增加手动折断多切割线的难度，而且容易在切割线的边缘产生褶皱或翘起，因此本实用新型提出一种改进结构的掩膜板。
[0024]本实用新型实施例提供的掩膜板，包括图形部分和边框部分，其还包括:切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断;未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。
[0025]在本实用新型实施例中，未刻蚀部分的宽度可以与现有设计方式下的未刻蚀区域的宽度相当，例如，10um左右，但是未刻蚀部分的位置却发生了改变，如图1所示，现有技术中未刻蚀区域位于掩膜板的边缘位置，掩膜板的边缘即为未刻蚀区域的外侧边缘，也就是说，未刻蚀区域的外侧边缘与掩膜板的边缘之间的距离是O。然而，本实用新型实施例中，未刻蚀部分的外侧边缘与掩膜板的边缘之间是存在一定距离的，该距离的大小可以根据工艺需求进行设定，即大于预设长度值即可。
[0026]在本实用新型实施例中，未刻蚀部分的位置可以有两种情况:
[0027](I)未刻蚀部分仍然位于所述切割线结构的端部，假设未刻蚀部分有I个，其可以位于所述切割线结构的任意一个端部区域，假设未刻蚀部分有2个，则该2个未刻蚀部分可以分别位于所述切割线结构的两个端部区域，但是需要注意的是，不管是设置了 I个未刻蚀部分还是2个未刻蚀部分，其虽然位于所述切割线结构的端部区域，但其外侧边缘与掩膜板的边缘是具有一定距离的。
[0028](2)未刻蚀部分位于所述切割线结构的中间区域，举例而言，如果未刻蚀部分有I个，其会将所述切割线结构分割为两段，如果未刻蚀部分有2个，其会将所述切割线结构分割为三段。
[0029]可以看出，相对于现有技术，未刻蚀部分的设置位置由掩膜板的边缘移动到边缘靠里的位置，这样一来，在保证掩膜板的硬度的同时，可以避免折断掩膜板边缘时容易产生的褶皱。
[0030]相比于现有技术，本实用新型实施例中，还可以在掩膜板板上增加设置一个开口结构，该开口结构可以位于所述切割线结构在延伸方向上的至少一个端部区域，所述开口结构在所述切割线结构延伸方向上的宽度小于所述预设长度值，所述切割线结构在延伸方向上的延长线贯穿所述开口结构。
[0031]也就是说，所述切割线结构的中线的延长线是从开口结构通过的，只有这样设计，在手动折断掩膜板的过程中才可以避免在掩膜板的边缘产生褶皱或翘起。否则，所述开口结构的设置位置如果偏离所述切割线结构的中线的延长线，则设置开口结构的意义就不丧失了。
[0032]而且，由于所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值，而所述开口结构在所述切割线结构延伸方向上的宽度小于所述预设长度值，这样一来，所述未刻蚀部分的外侧边缘到所述开口结构的内侧边缘之间也是具有一定距离的，当然，这也可以视为对所述未刻蚀部分适当加宽了一点，结构本质上没有任何影响。
[0033]作为一个优选示例，所述开口结构可以包括:分别位于所述切割线结构在延伸方向上的两个端部区域的第一开口和第二开口。也就是说，所述开口结构是由两个开口组合而成的，由于开口结构会适当减小掩膜板的应力，导致其强度降低，因此，为了从整体上保证掩膜板的强度基板不发生变化，这种情况下，可以优选所述未刻蚀部分的个数为2个，当然，如果不考虑掩膜板的强度会适当降低，所述未刻蚀部分的个数也可以是I个。当设计个数为2个时，两所述未刻蚀部分既可以分别位于所述切割线结构的两端区域，也可以位于所述切割线结构的中间区域，但此种情况下，2个所述未刻蚀部分需要保持一定间隔而不能紧邻设置，否则相当于只有I个未刻蚀部分，而未起到2个未刻蚀部分可以在掩膜板的不同区域起到支撑作用。
[0034]当然，相对于只有I个未刻蚀部分的情况，设置2个未刻蚀部分时必然会增加掩膜板的应力而提高掩膜板的硬度。
[0035]作为一个较佳的设计方式，所述第一开口在所述切割线结构延伸方向上的第一宽度与所述第二开口在所述切割线结构延伸方向上的第二宽度的范围为0.5_?1_。
[0036]当然，0.5mm?Imm这宽度范围只是一个避免裙皱或翘起发生效果较好的范围，在实际设计中，并不限于该宽度范围，而且，所述第一宽度与所述第二宽度可以采用相同的宽度，这样手动折断操作过程中，掩膜板自身可以承受更加均衡的力，也可以采用不同的宽度值。
[0037]至于所述第一开口的高度(即垂直于所述切割线结构延伸方向的方向上的长度值)和所述第二开口的高度(即垂直于所述切割线结构延伸方向的方向上的长度值)则不做限定，其可以是相同的长度值，也可以是不同的长度值。
[0038]作为一个较佳的设计方式，所述第一开口和所述第二开口的形状均可以设计为矩形。在实际应用中，所述第一开口和所述第二开口的形状也可以选用其它形状，例如梯形等，但相比其他形状，采用矩形的开口拥有更整齐的侧边，这样一来，在掩膜板被折断后，折断的缺口边缘更加整齐。
[0039]更进一步地，作为本实用新型实施例的一个优选设计方式，所述第一开口和所述第二开口的形状均可以设计为正方形。
[0040]下面以所述未刻蚀部分的个数为2为例，根据所述未刻蚀部分位于所述线结构的端部区域或中间区域，分别情况对本实用新型实施例提供的掩膜板进行说明。
[0041 ] (I)当2个所述未刻蚀部分位于所述线结构的两个端部区域时，以所述切割线结构在延伸方向上的延长线贯穿所述开口结构的位置，所掩膜板的结构可以有以下两种:
[0042]结构一
[0043]图2是根据本实用新型实施例的一种掩膜板的结构示意图，如图2所示，所述第一开口 10垂直于所述切割线结构20延伸方向的第一侧边11的中点和所述第二开口 30垂直于所述切割线结构20延伸方向的第二侧边31的中点之间的连线与所述切割线结构20的延伸线重合。
[0044]同时，两个未刻蚀部分40分别位于所述切割线结构20与所述第一开口10、所述第二开口 30之间的区域(即所述切割线结构20的两个端部区域)。
[0045]结构二
[0046]图3是根据本实用新型实施例的另一种掩膜板的结构示意图，如图3所示，所述第一开口 10靠近所述图形部分(图3中未示出，位于图3中的切割线结构20以下的区域)且平行于所述切割线结构20延伸方向的第三侧边12和所述第二开口 30靠近所述图形部分(图3中未示出，位于图3中的切割线结构20以下的区域)且平行于所述切割线结构20延伸方向的第四侧边32的连线与所述切割线结构20的延伸方向重合。
[0047]同时，两个未刻蚀部分40分别位于所述切割线结构20与所述第一开口10、所述第二开口 30之间的区域(即所述切割线结构20的两个端部区域)。
[0048]采用上述两种方式，虽然切割线两侧有未刻蚀部分，但是在折断的过程中，中间的切割线部分还是会先折断，未刻蚀部分后切断，由于未刻蚀部分不在掩膜板的边缘而在内部，因此采用同样的折断强度，未刻蚀部分的位置对边缘产生的应力影响削弱，进而不容易对边缘产生严重的褶皱或翘起。
[0049](2)当2个所述未刻蚀部分位于所述线结构的中间区域时，所掩膜板可以采用以下的结构:
[0050]结构三
[0051]图4是根据本实用新型实施例的又一种掩膜板的结构示意图，如图4所示，所述未刻蚀部分包括第一未刻蚀子部分41和第二未刻蚀子部分42，所述第一未刻蚀子部分41和所述第二未刻蚀子部分42将所述切割线结构20分割为三部分。
[0052]而且，所述第一未刻蚀子部分41与所述第二未刻蚀子部分42相对于所述切割线结构20的延伸方向对称，且相对于所述切割线结构20的中垂线对称。
[0053]也就是说，具体到图4所示的掩膜板，两个未刻蚀子部分(41和42)与切割线结构20是一个左后对称的结构，同时，两个未刻蚀子部分(41和42)也可以相对于切割线结构20是对称的。
[0054]该结构三中，把两个未刻蚀子部分(41和42)放置在切割线结构的内部，这样在进行手动折断的时候，未刻蚀子部分41、42的两侧区域很容易先折断，由于未刻蚀子部分的位置不在边缘，采用同样强度进行折断操作时，折断过程中产生的应力影响延伸到边缘时已削弱很多，无法使边缘产生严重的褶皱或翘起。
[0055]需要说明的是，上述三种结构之间，开口结构的设置位置和未刻蚀部分的设置位置是可以相互结合的，例如，在开口结构的位置不变的情况下，将结构一和结构二中的未刻蚀部分挪至切割线结构的中间区域，在未刻蚀部分的位置不变的情况下，在结构三中增加设置结构一和结构二中的开口结构，这些都是非常可行的结构设计。
[0056]通过本实用新型实施例，在掩膜板上保留未刻蚀区域(具有增加强度的作用)的情况下，在切割线两侧区域增加设置开口和/或和把未刻蚀的区域转移到切割线内部的方式，可以缓解手动折断掩膜板(Mask)而产生的边缘褶皱，使掩膜板和玻璃基板接触良好，从而避免蒸镀完成的显示面板出现阴影，进而提高显示面板的产品良率。
[0057]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种掩膜板，包括图形部分和边框部分，其特征在于，还包括: 切割线结构，所述切割线结构作为所述图形部分和所述边框部分的分界线，沿着所述切割线结构的延伸方向，所述掩膜板能够被折断； 未刻蚀部分，位于所述切割线结构的至少一个端部区域或中间区域，所述未刻蚀部分到所述掩膜板边缘的距离大于预设长度值。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，还包括: 开口结构，位于所述切割线结构在延伸方向上的至少一个端部区域，所述开口结构在所述切割线结构延伸方向上的宽度小于所述预设长度值，所述切割线结构在延伸方向上的延长线贯穿所述开口结构。3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述开口结构包括: 分别位于所述切割线结构在延伸方向上的两个端部区域的第一开口和第二开口。4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第一开口在所述切割线结构延伸方向上的第一宽度与所述第二开口在所述切割线结构延伸方向上的第二宽度的范围为0.5mm?Imm05.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第一宽度与所述第二宽度相等。6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口的形状均为矩形。7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第一开口垂直于所述切割线结构延伸方向的第一侧边的中点和所述第二开口垂直于所述切割线结构延伸方向的第二侧边的中点之间的连线与所述切割线结构的延伸线重合。8.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第一开口靠近所述图形部分且平行于所述切割线结构延伸方向的第三侧边和所述第二开口靠近所述图形部分且平行于所述切割线结构延伸方向的第四侧边的连线与所述切割线结构的延伸方向重合。9.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，当所述未刻蚀部分位于所述切割线结构在延伸方向上的中间区域时，所述未刻蚀部分包括第一未刻蚀子部分和第二未刻蚀子部分，所述第一未刻蚀子部分和所述第二未刻蚀子部分将所述切割线结构分割为三部分。10.根据权利要求9所述的掩膜板，其特征在于，所述第一未刻蚀子部分与所述第二未刻蚀子部分相对于所述切割线结构延伸方向对称，且相对于所述切割线结构的中垂线对称。
【文档编号】C23C14/24GK205676528SQ201620603007
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月17日 公开号201620603007.7, CN 201620603007, CN 205676528 U, CN 205676528U, CN-U-205676528, CN201620603007, CN201620603007.7, CN205676528 U, CN205676528U
【发明人】林治明, 王震, 黄俊杰, 张健, 周猛
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司