一种适于石墨烯生长的成型平台的制作方法

文档序号:29841阅读:381来源:国知局
专利名称:一种适于石墨烯生长的成型平台的制作方法
【专利摘要】一种适于石墨烯生长的成型平台,成型平台包括偶数块上下平行设置的石英平板,相邻的石英平板之间设置有起到支撑作用的可调节石英支撑架,可调节石英支撑架包括具有内螺纹的容纳杆和具有外螺纹的插入杆,插入杆插装于容纳杆内利用螺纹啮合安装;石英平板中,最顶部的石英平板上方设置有顶座,最底部的石英平板下方设置有底座,且顶座和底座上均安装有球形的石英滚轮;石英平板中,中间两块石英平板宽度最大,上下两侧的石英平板的宽度向上下两端逐渐递减,且石英平板的端面均呈与石英舟内圈相适应的弧形。本实用新型充分利用石英舟内部的空间,保证成型平台在石英舟内的稳定性。
【专利说明】一种适于石墨烯生长的成型平台

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石墨烯生产设备【技术领域】,具体为一种适于石墨烯生长的成型平台O

【背景技术】
[0002]石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成的六角型晶格单原子层二维晶体。石墨烯有许多独特的性质,它是零带隙的半金属半导体材料,具有超高的费米速度(光速的1/300)、载流子迀移率和热导率,良好的透光特性和优异的力学性能(弹性模量和抗拉强度分别达到1.1TPa和125GPa),因此在透明电极、晶体管、传感器、能源存储、高强度复合材料等方面存在广泛的应用前景。
[0003]另一方面,石墨烯具有原子级的平整度、良好的生物兼容性、去局域化的π键以及良好的化学惰性,为研宄表面增强拉曼及其机理提供了一个全新的平台;同时,它丰富的表面有利于石墨烯一半导体复合结构的设计、集成和制备。
[0004]目前,石墨烯主要的制备方法有以下几种:机械剥离法、CVD生长法、化学法、SiC外延生长法等等。
[0005]在工业化批量生产石墨烯薄膜的过程中,通常采用金属作为基底,金属基底一般贴附于石英舟表面。在沉积石墨烯的过程中,金属基底一般直接置于石英舟内部。然而受设备加热空间的限制,通常制备的石墨烯薄膜数量有限;并且当石英舟管径较大时,退火后金属基底硬度急剧下降,使得金属基底褶皱变形。
[0006]现在也有采用石英作为基底的成型平台,但是,这种成型平台在石英舟内的放置不够牢固,同时,对空间没有充分利用。
实用新型内容
[0007]本实用新型所解决的技术问题在于提供一种适于石墨烯生长的成型平台,从而解决上述【背景技术】中的问题。
[0008]本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
[0009]一种适于石墨烯生长的成型平台,所述成型平台用于放置于管状的石英舟中进行生长石墨烯,所述成型平台包括偶数块上下平行设置的石英平板,相邻的石英平板之间设置有起到支撑作用的可调节石英支撑架,
[0010]所述可调节石英支撑架包括具有内螺纹的容纳杆和具有外螺纹的插入杆,所述插入杆插装于所述容纳杆内利用螺纹啮合安装,并实现调节高度的功能;
[0011]所述石英平板中,最顶部的石英平板上方设置有顶座,最底部的石英平板下方设置有底座,且所述顶座和所述底座上均安装有球形的石英滚轮;
[0012]所述石英平板中,中间两块石英平板宽度最大,上下两侧的石英平板的宽度向上下两端逐渐递减,且所述石英平板的端面均呈与石英舟内圈相适应的弧形。
[0013]作为一种优化的技术方案,中间两块石英平板的两端均安装有球形的石英滚轮。
[0014]由于采用了以上技术方案,本实用新型具有以下有益效果:
[0015]本实用新型利用可调节石英支撑架对石英平板之间的间距进行合理调整,充分利用石英舟内部的空间。
[0016]本实用新型设置有顶座和底座,其上均安装有球形的石英滚轮,同时,中间两块石英平板的两端均安装有球形的石英滚轮。基于这种结构,可以保证成型平台在石英舟内的稳定性。

【附图说明】

[0017]图1为本实用新型结构示意图。

【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。
[0019]参见图1,一种适于石墨烯生长的成型平台,所述成型平台用于放置于管状的石英舟中进行生长石墨烯,所述成型平台包括偶数块上下平行设置的石英平板1,相邻的石英平板I之间设置有起到支撑作用的可调节石英支撑架2,所述可调节石英支撑架2包括具有内螺纹的容纳杆21和具有外螺纹的插入杆22,所述插入杆22插装于所述容纳杆21内利用螺纹啮合安装,并实现调节高度的功能;所述石英平板I中,最顶部的石英平板I上方设置有顶座3,最底部的石英平板I下方设置有底座4,且所述顶座3和所述底座4上均安装有球形的石英滚轮5 ;所述石英平板I中,中间两块石英平板I宽度最大,上下两侧的石英平板I的宽度向上下两端逐渐递减,且所述石英平板I的端面均呈与石英舟内圈相适应的弧形。
[0020]本实施例中,中间两块石英平板I的两端均安装有球形的石英滚轮5。
[0021]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种适于石墨烯生长的成型平台,所述成型平台用于放置于管状的石英舟中进行生长石墨烯,其特征在于:所述成型平台包括偶数块上下平行设置的石英平板,相邻的石英平板之间设置有起到支撑作用的可调节石英支撑架,所述可调节石英支撑架包括具有内螺纹的容纳杆和具有外螺纹的插入杆,所述插入杆插装于所述容纳杆内利用螺纹啮合安装,并实现调节高度的功能;所述石英平板中,最顶部的石英平板上方设置有顶座,最底部的石英平板下方设置有底座,且所述顶座和所述底座上均安装有球形的石英滚轮;所述石英平板中,中间两块石英平板宽度最大,上下两侧的石英平板的宽度向上下两端逐渐递减,且所述石英平板的端面均呈与石英舟内圈相适应的弧形。2.根据权利要求1所述的一种适于石墨烯生长的成型平台,其特征在于:中间两块石英平板的两端均安装有球形的石英滚轮。
【文档编号】C01B31-04GK204281325SQ201420720760
【发明者】邓凌峰, 刘小花, 刘永正, 王钟民, 张远和, 文建民 [申请人]湖南东博墨烯科技有限公司
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