用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器的制作方法

文档序号:3441945阅读:149来源:国知局
专利名称:用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器的制作方法
技术领域
本实用新型属于化工行业的多晶硅生产配套设备,具体涉及一种用于多晶硅尾气 淋洗塔的叶片式湍流发生器。
背景技术
多晶硅工业生产过程中会产生大量氯硅烷尾气,其成分和结构复杂,主要是三氯 氢硅、四氯化硅等易水解的物质,其水解产物为HC1、Si02、H2等,同时还放出大量的热。然 而在实际生产中,往往采用简单的喷头喷淋方式来水解三氯氢硅等气体,由于喷头喷淋方 式会使得喷淋不均勻而容易造成管道堵塞,同时也由于水与废气接触时间短,使得水解不 完全,造成环境污染,甚至可能产生爆炸等严重后果。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种用于多晶硅尾气淋洗塔的叶片式湍流发生器,其能 产生湍流,使得喷淋均勻且与废气接触时间加长,还克服了堵管等情况的发生。本实用新型的技术方案是一种用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器, 包括壳体、内芯和叶片,所述的内芯设置在壳体轴心部,所述叶片宽端连接在壳体内周面 上,窄端连接在内芯外周面上,且均勻排列于壳体内周面和内芯外周面,所述的叶片与水平 面夹角呈30度。最优的,叶片数目为38片。最优的,叶片宽端焊接在壳体内周面上,叶片窄端焊接在内芯外周面上。本实用新型的有益效果是本实用新型产生湍流,使得喷淋液喷淋均勻,同时加长 了水与废气接触的时间,使得三氯氢硅等气体水解更充分,大大提高了工作效率,克服了堵 管情况的发生,降低爆管等危险事故的发生。

图1是本实用新型的仰视图。图2是本实用新型的主视剖面结构示意图。图3是本实用新型的内部结构示意图。图4本实用新型的叶片结构示意图。图中1、壳体,2、内芯,3、叶片。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案做进一步说明如图1-4所示一种用 于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器,包括壳体1、内芯2和叶片3,所述的内芯2设 置在壳体1轴心部,所述叶片3宽端连接在壳体1内周面上,窄端连接在内芯2外周面上, 且均勻排列于壳体1内周面和内芯2外周面,所述的叶片3与水平面夹角呈30度,且叶片3数目为38片,叶片3宽端焊接在壳体1内周面上,叶片3窄端焊接在内芯2外周面上。 当喷淋液体通过发生器的中心孔向叶片四周扩散后,经叶片分散后形成液体湍流 场,有害气体通过发生器的底部向上,与液体湍流场充分接触达到分解淋洗最佳效果。
权利要求一种用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器,包括壳体(1)、内芯(2)和叶片(3),其特征在于所述的内芯(2)设置在壳体(1)轴心部,所述叶片(3)宽端连接在壳体(1)内周面上,窄端连接在内芯(2)外周面上,且均匀排列于壳体(1)内周面和内芯(2)外周面,所述的叶片(3)与水平面夹角呈30度。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器,其特征在 于所述叶片(3)数目为38片。
3.根据权利要求1所述的用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器,其特征在 于所述叶片(3)宽端焊接在壳体(1)内周面上,叶片(3)窄端焊接在内芯(2)外周面上。
专利摘要本实用新型公开了一种用于多晶硅尾气淋洗塔中的叶片式湍流发生器,包括壳体、内芯和叶片,所述的内芯设置在壳体轴心部,所述叶片宽端连接在壳体内周面上,窄端连接在内芯外周面上,且均匀排列于壳体内周面和内芯外周面,所述的叶片与水平面夹角呈30度。本实用新型其能产生湍流,使得喷淋均匀且与废气接触时间加长,故而水解彻底,还克服了堵管等情况的发生。
文档编号C01B33/03GK201596460SQ20102011067
公开日2010年10月6日 申请日期2010年2月9日 优先权日2010年2月9日
发明者余文, 冉茂群, 江元升, 罗明树, 蒋玉梅, 赵振元 申请人:信息产业电子第十一设计研究院有限公司
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