专利名称：用于将四氯化硅转化成三氯硅烷的流动管反应器的制作方法
用于将四氯化硅转化成三氯硅烷的流动管反应器本发明涉及一种在加氢脱氯反应器中，将四氯化硅与氢气反应来产生三氯硅烷的方法，该加氢脱氯反应器是压力驱动的，并且包含一种或多种由陶瓷材料组成的反应器管。本发明进一步涉及这样的加氢脱氯反应器的用途，其用作由冶金硅来生产三氯硅烷的设备中的整体部件。在硅化学中的许多工业生产方法中，SiCl4和HSiCl3是一起形成的。所以必需将这两种产物相互转化，并因此来满足各自的对于其中一种产物的需求。此外，高纯度HSiCl3是生产太阳能硅的一种重要的原料。在四氯化硅(STC)生成三氯硅烷(TCS)的加氢脱氯反应中，根据工业标准使用热控方法，在其中将STC与氢气一起导入用石墨衬里的反应器中，即所谓的“西门子炉(Siemensofen) ”。该反应器中存在的石墨棒将作为电阻加热运行，这样将获得1100°C和更高的温度。依靠所述高温和按比例的氢气的含量，使平衡位置朝着产物TCS移动。反应后 将产物混合物从反应器中导出，并且以复杂的方法分离。通过反应器的流动是连续的，并且反应器的内表面必须由石墨作为耐腐蚀材料来组成。为了稳定，使用金属外壳。必须冷却反应器的外壁，以尽可能抑制在高温情况下出现的在热反应器壁上的分解反应，其会导致硅沉积。除了因为必需的和不经济的非常高的温度导致的不利的分解之外，定期清洁所述反应器也是不利的。由于受限的反应器尺寸，必须使用一系列的独立的反应器，这在经济上同样是不利的。现有的工艺不允许压力驱动来实现更高的空间_/时间产率，以由此例如来减少反应器的数目。另一缺点是纯粹热驱动反应的进行，而没有催化剂，其使得所述方法整体上非常低效。本发明的目的就是提供一种将四氯化硅与氢气反应来产生三氯硅烷的方法，其工作效率更高，并且以可比较的的反应器尺寸能够获得更高的转化，即，提高TCS的空间-/时间产率。此外,根据本发明的方法应当使对TCS的高的选择性成为可能。该问题已经通过这样的发现而解决，S卩，可以将STC和氢气的混合物导过压力驱动的管式反应器，其优选可以一方面装备催化壁涂层和另一方面配备固定床催化剂。用于改进反应动力学和提高选择性的催化剂和压力驱动反应的组合导致经济和生态上非常有效的过程控制。通过合适地设定反应参数如压力、驻留时间、氢气与STC的比率，可以实现这样的方法，在其中获得了具有高选择性的TCS的高空间-/时间产率。合适的催化剂与压力的结合使用是所述方法的特点，因为这样已经可以在明显低于1000°C，优选在950°C以下的相对低的温度制得足够高的TCS的量，而不必容忍由于热分解导致的明显的损失。在这种情况下已经发现，可以将某种陶瓷材料用于反应器的反应管，因为它们是足够惰性的，并且确保了甚至在高温例如1000°c时反应器的耐压性，而所述陶瓷材料没有经历例如损坏结构并因此对机械耐久性产生不利影响的相转换。这里必需使用气密管。气密性和惰性可以通过耐高温陶瓷来获得，其在下面将详细说明。
反应器管材料可以配以催化活性内涂层。作为另外的手段，该反应器管可以填充有惰性松散材料，来优化流动动力学。这里，所述松散材料可以由与反应器材料相同的材料组成。作为松散材料可以使用填充物，如环、球、小棒或者其他合适的填充物。在一个特殊的实施方式中，所述填充物可以另外涂有催化活性涂层。在这种情况中，可以任选放弃催化活性内涂层。反应器管的尺寸和整个反应器的设计由可使用的管的几何形状来决定，以及由预先确定的反应方法所必需的热的引入来决定。可以使用具有适当边缘的单个反应管或者许多反应器管的组合。在后者的情况中，将许多反应器管布置在加热室中是可行的，在其中例如通过天然气燃烧器来引入热量。为了避免反应器管中局部的温度峰，该燃烧器不应当直接朝向所述管。它们可以例如从上面间接地布置在反应器室中，并且分布在反应器室上，如图I所示例那样。为了提高能效，该反应器体系可以连 接到热回收系统上。下面将更详细地描述根据本发明的上述目标的解决方案，包括不同的或者优选的实施方式。本发明的主题就是一种在加氢脱氯反应器中将四氯化硅与氢气反应来生成三氯硅烷的方法，其特征在于，该加氢脱氯反应器是压力驱动的，并且包含一个或多个由陶瓷材料组成的反应器管。本发明的方法尤其是这样一种方法，其中在所述反应中，将含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在加氢脱氯反应器中通过供热进行反应，形成含三氯硅烷和含HCl的产物气体，其特征在于，将所述含四氯化硅的反应物气体和/或该含氢气的反应物气体作为受压的气流导入压力驱动的加氢脱氯反应器中，并且将所述产物气体作为受压的气流导出该加氢脱氯反应器。在产物流中也可以任选包含副产物如二氯硅烷、一氯硅烷和/或硅烷。在产物流中通常也包含尚未转化的反应物，即，四氯化硅和水。在加氢脱氯反应器中的平衡反应典型地在700°C -1000 °C，优选在850°C _950°C和在1-10 bar之间，优选在3-8 bar之间，特别优选在4_6 bar之间的范围的压力下进行。在所有描述的根据本发明的方法的变体中，含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体也可以作为合并的气流导入到压力驱动的加氢脱氯反应器中。用于一个或多个反应器管的陶瓷材料优选选自Al203、AlN、Si3N4、SiCN或SiC，特别优选选自Si-渗透的SiC，等压压制的SiC，热等压压制的SiC或无压力烧结的SiC(SSiC)。特别是优选具有含SiC反应器管的反应器，因为它们具有特别良好的热导性，这使得用于反应的均匀的热分布和良好的热输入成为可能。如果一个或多个反应器管是由无压力烧结的SiC(SSiC)组成，则它是特别优选的。根据本发明预定，将含四氯化硅的反应物气体和/或含氢气的反应物气体优选以下面的压力和温度导入到加氢脱氯反应器中压力在1-10 bar，优选3-8 bar，特别优选
4-6 bar的范围，和温度在150°C -900°C的范围，优选在300°C -800°C的范围，特别优选在5000C _700°C的范围。在加氢脱氯反应器中用于反应的热供应可以经加热室来进行，在所述加热室中布置有一个或多个反应器管。例如该加热室可以是通过电阻加热来进行加热。该加热室也可以是用助燃气体和助燃空气来驱动的燃烧室。根据本发明特别优选的是，在加氢脱氯反应器中的反应通过一个或多个反应器管的催化性内涂层催化。加氢脱氯反应器中的反应可以另外通过布置在反应器中或者布置在一个或多个反应器管中的固定床上的催化性涂层来催化。在使用催化活性固定床时，可以任选放弃催化活性内涂层。但是，优选的是被涂覆的反应器内壁，因为与纯载体催化剂体系(例如通过固定床)相比，这样增加了催化可用的表面积。一个或多个催化活性涂层，即，用于反应器内壁和/或任选使用的固定床，优选由这样的组合物组成，其包含选自下面的至少一种活性成分金属Ti、Zr、Hf、Ni、Pd、Pt、Mo、W、Nb、Ta、Ba、Sr、Ca、Mg、Ru、Rh、Ir及其组合，及其硅化物化合物，特别是Pt、Pt/Pd，Pt/Rh和 Pt/Ir。所述反应器内壁和/或任选的固定床可以如下述般配备以催化活性涂层 通过准备悬浮液(下文也称作涂料或者膏)，所述悬浮液包含a)选自下面的至少一种活性成分金属 Ti、Zr、Hf、Ni、Pd、Pt、Mo、W、Nb、Ta、Ba、Sr、Ca、Mg、Ru、Rh、Ir 及其组合或其硅化物化合物，b)至少一种悬浮液介质，和任选的c)至少一种辅助成分，特别是用于稳定所述悬浮液，用于提高所述悬浮液的存储稳定性，用于改善悬浮液在待涂覆表面的附着和/或用于改善悬浮液在待涂覆表面上的施加；通过将所述悬浮液施加到一个或多个反应器管的内壁上，和任选的，将所述悬浮液施加到任选配备的固定床的填充物表面上；通过干燥所施加的悬浮液；和通过在500°C _1500°C范围的温度下和在惰性气体或者氢气下热处理所施加并干燥的悬浮液。然后可以将经热处理的填充物装入到一个或多个反应器管中。但是，所述热处理以及任选的之前的干燥也可以在已经装入填充物的情况下进行。作为按照根据本发明的悬浮液的成分b)的悬浮液介质，即涂料或者膏，特别是具有粘合特性的这些悬浮液介质(也简称为粘合剂)，可以有利地使用如在染料-和涂料工业中所使用的热塑性聚丙烯酸酯树脂。属于此的例如有聚丙烯酸甲酯、聚丙烯酸乙酯、聚甲基丙烯酸丙酯或者聚丙烯酸丁酯。它们是市售的体系，例如在商标名Degalan 下获自EvonikIndustries 的这些。任选地，作为另外的成分，S卩，在成分c)意义内，可以有利地使用一种或多种助剂或者辅助成分。例如，作为辅助成分c)可以任选使用溶剂或者稀释剂。优选合适的是有机溶剂，特别是芳族溶剂或者稀释剂例如甲苯、二甲苯以及酮、醛、酯、醇或者至少两种前述溶剂或稀释剂的混合物。悬浮液的稳定可以(如果需要的话)有利地通过无机或者有机流变添加剂来获得。作为成分c)优选的无机流变添加剂包括例如硅藻土，膨润土，蒙脱石和绿坡缕石，合成的层状硅酸盐，热解二氧化硅或者沉淀二氧化硅。有机流变添加剂或者辅助成分C)优选包括蓖麻油及其衍生物，如聚酰胺改性的蓖麻油，聚烯烃或者聚烯烃改性的聚酰胺，以及聚酰胺及其衍生物，例如其在商标名Luvotix 下市售的，以及无机和有机流变添加剂的混合体系O为了实现有利的粘附性，作为辅助成分c)也可以使用选自硅烷或者硅氧烷的合适的附着力增强剂。为此例如可列举(而非穷举)的是二甲基_、二乙基_、二丙基_、二丁基_、二苯基聚硅氧烷或者其混合体系，例如苯乙基-或者苯丁基硅氧烷或者其他混合体系，及其混合物。根据本发明的涂料或者膏可以以相对简单和经济的方式来获得，例如在本领域技术人员已知的合适的常规设备中，通过原料(参见成分a)，b)和任选的c))的混合，搅拌或者捏合来获得。此外，参照根据本发明的实施例。本发明的另一个主题是加氢脱氯反应器作为由冶金硅来制备三氯硅烷的设备中的整体部件的用途，其特征在于，该加氢脱氯反应器是压力驱动的，并且包含由陶瓷材料组成的一个或多个反应器管。这里，根据本发明可使用的加氢脱氯反应器具有如前所述的反应器的性质。可以优选在加氢脱氯反应器使用的用于制备三氯硅烷的设备包括
a)用于使四氯化硅与氢气反应形成三氯硅烷的子设备，其包括
-布置在加热室或者燃烧室中的加氢脱氯反应器，其中所述布置优选包括在燃烧室中的一个或多个反应器管；
-至少一个用于含四氯化硅的气体的导管和至少一种用于含氢气的气体的导管， 其导入到加氢脱氯反应器中或者导入到一个或多个反应器管的布置中，其中任选提供用于含四氯化硅的气体和含氢气的气体的合并导管来代替单独的导管；
-用于将含三氯硅烷和含HCl的产物气体从加氢脱氯反应器中导出的导管；
-热交换器，优选是一种管束热交换器，通过所述热交换器如此弓I导产物气体导管以及至少一个四氯化硅导管和/或至少一个氢气导管，使得热可以从产物气体导管转移到至少一个四氯化硅导管和/或至少一个氢气导管中，其中所述热交换器任选包括陶瓷材料的热交换器元件；
-任选的子设备或者包括多个子设备的布置，其用于分别分离一种或多种产物，所述产物包括四氯化硅、三氯硅烷、氢气和HCl ；
-任选的将所分离的四氯化硅导入到四氯化硅导管中的导管，优选在热交换器的
上游；
-任选的把所分离的三氯硅烷供给到最终产物排放中的导管；
-任选的将所分离的氢气导入到氢气导管中的导管，优选在热交换器上游；和-任选的把所分离的HCl供给到用于硅的氢氯化的设备的导管；和
b)用于使冶金硅与HCl反应形成四氯化硅的子设备，其包含
-氢氯化设备，其前置于用于四氯化硅与氢气反应的子设备，其中任选至少一部分所使用的HCl经由HCl流导入到氢氯化设备中；
-冷凝器，其用于分离至少一部分的副产物氢气，该氢气副产物来自于氢氯化设备中的反应，其中将所述氢气经由氢气导管导入到加氢脱氯反应器或者一个或多个反应器管布置中；
-蒸馏设备，用于从剩余的产物混合物中分离至少四氯化硅和三氯硅烷，该产物混合物来自于氢氯化设备中的反应，其中所述的四氯化硅经由四氯化硅导管导入到加氢脱氯反应器或者一个或多个反应器管布置中；和
-任选的同流换热器，其用于用流出燃烧室的废气来预热计划用于燃烧室的助燃
空气；和
-任选的设备，用于由从同流换热器中流出的废气制备蒸气。图I示例性地图示了一种加氢脱氯反应器，根据本发明，其能够在用于使四氯化硅与氢气反应产生三氯硅烷的方法中或者作为由冶金硅来制备三氯硅烷的设备中的整体部件使用。图2示例性地图示了一种可用于在根据本发明的加氢脱氯反应器中由冶金硅制备三氯硅烷的设备。 在图I中显示的加氢脱氯反应器包括多个布置在燃烧室15中的反应器管3a、3b、3c，一个合并的反应物流1、2，所述反应物流被导入多个反应器管3a、3b、3c中，和用于将产物流从多个反应器管3a、3b、3c导出的导管4。所示的反应器还包括燃烧室15和用于助燃气体18的导管和用于助燃空气19的导管，所述助燃气体和助燃空气被导入到燃烧室15的四个燃烧器中。最后还显示了从燃烧室15中导出的用于废气20的导管。在图2中所示的设备包括布置在燃烧室15中的加氢脱氯反应器3，其根据本发明可以包含一个或多个反应器管3a、3b、3c (未不出)。所不的设备包括用于含四氯化娃的气体的导管I和用于含氢气的气体的导管2，二者都导入到加氢脱氯反应器3中，一个用于含三氯硅烷的和含HCl的产物气体的从加氢脱氯反应器3中导出的导管4，和热交换器5，产物气体导管4与四氯化硅导管I和氢气导管2贯穿热交换器5，这样热可以从产物气体导管 4转移到四氯化硅导管I和氢气导管2中。该设备进一步包括子设备7用于分离四氯化硅
8、三氯硅烷9、氢气10和HCl 11。这里，将所分离的四氯化硅通过导管8导入到四氯化硅导管I中，将所分离的三氯硅烷通过导管9供给到终端产物排放，将所分离的氢气通过导管10导入氢气导管2中和将所分离的HCl通过导管11导入到用于硅的氢氯化的设备12中。该设备进一步包括冷凝器13，用于分离来源于氢氯化设备12中反应的副产物氢气，其中将该氢气通过氢气导管2，经由热交换器5导入加氢脱氯反应器3中。还显示了蒸馏系统14，用于由产物混合物分离四氯化硅I和三氯硅烷(TCS)，以及低沸物(LS)和高沸物(HS)，其是经由冷凝器13从氢氯化设备12中出来的。该设备最后还包括同流换热器16，其用由燃烧室15流出的废气20预热计划用于燃烧室15的助燃空气19，以及设备17，用于借助于从同流换热器16中流出的废气20产生蒸气。
实施例在根据本发明的反应器中的反应作为反应管使用SSiC管，长度IlOOmm和内径5mm ο将该反应器管置于可电加热的管式炉中。首先，将该含有各管的管式炉加热到900°C，在该过程中将绝对压力3 bar的氮气通过所述反应管。2小时后，用氢气置换氮气。在氢气流中继续I小时后，同样在3bar绝对压力下，将36. 3ml/h的四氯化硅泵入该反应管中。将氢气流调整到4. 2:1的摩尔过量。通过在线气相色谱法来分析反应器排出物，并且由此计算四氯化硅转化率和对三氯硅烷的摩尔选择性。作为副产物成分仅发现二氯硅烷。所形成的氯化氢没有算出且没有评价。结果显示在表I中。表I :STC与氢气催化反应的结果
I金属成分|stc转化率[%] Itcs选择性[%] Idcs选择性[%]
实施例 IssiC 管 |25. 8|96. 57|θ. 43
STC =四氯化硅
TCS =三氯硅烷
DCS = 二氯硅烷。
附图
标记列表
(1)含四氯化硅的反应物流
(2)含氢气的反应物流
(1,2)合并的反应物流
(3)加氢脱氯反应器 (3a、3b、3c)反应器管
(4)产物流
(5)热交换器 (6)冷却的产物流
(7)后置的子设备 (7a.7b.7c)多个子设备的布置
(8)在(7)或者(7a、7b、7c)中分离的四氯化硅流
(9)在(7)或者(7a、7b、7c)中分离的最终产物流
(10)在(7)或者(7a.7b.7c)中分离的氢气流
(11)在(7)或者(7a.7b.7c)中分离的HCl流
(12)前置的氢氯化方法或者设备
(13)冷凝器
(14)蒸馏设备
(15)加热室或者燃烧室
(16)同流换热器
(17)产生蒸气的设备
(18)助燃气体
(19)助燃空气
(20)废气
权利要求
1.用于在加氢脱氯反应器(3)中将四氯化硅与氢气反应生成三氯硅烷的方法，其特征在于，该加氢脱氯反应器(3)受压力驱动，并且包括一个或多个由陶瓷材料制成的反应器管(3a,3b,3c)。
2.根据权利要求I的方法，其中在所述反应中，将含四氯化硅的反应物气体(I)和含氢气的反应物气体(2)在加氢脱氯反应器中通过供热进行反应，形成含三氯硅烷和含HCl的产物气体，其特征在于，将所述含四氯化硅的反应物气体(I)和/或含氢气的反应物气体(2)作为受压的气流导入压力驱动的加氢脱氯反应器(3)中，将所述产物气体作为受压的气流(4)导出加氢脱氯反应器(3)。
3.根据权利要求2的方法，其特征在于，将含四氯化硅的反应物气体(I)和该含氢气的反应物气体(2)在合并的气流(1，2)中导入到压力驱动的加氢脱氯反应器(3)中。
4.根据前述任一权利要求的方法，其特征在于，所述陶瓷材料选自A1203、AIN、Si3N4,SiCN 或 SiC。
5.根据权利要求4的方法，其特征在于，所述陶瓷材料选自Si-渗透的SiC、等压压制的 SiC、热等压压制的SiC或无压力烧结的SiC(SSiC)。
6.根据前述任一权利要求的方法，其特征在于，所述一个或多个反应器管(3a、3b、3c)由无压力烧结的SiC(SSiC)组成。
7.根据前述任一权利要求的方法，其特征在于，将含四氯化硅的反应物气体(I)和/或含氢气的反应物气体(2)以下面的压力和温度导入到加氢脱氯反应器(3)中压力在1-10bar的范围，优选在3-8 bar的范围，特别优选在4_6 bar的范围，和温度在150 V -900 V的范围，优选在300°C _800°C的范围，特别优选在500°C _700°C的范围。
8.根据前述任一权利要求的方法，其特征在于，用于所述反应的热是在加氢脱氯反应器(3)中经由加热室(15)供给的，在该加热室中布置着一个或多个反应器管(3a，3b，3c)。
9.根据权利要求8的方法，其特征在于，加热室(15)是通过电阻加热来加热的，或者是用助燃气体(18)和助燃空气(19)来驱动的燃烧室(15)。
10.根据前述任一权利要求的方法，其特征在于，在加氢脱氯反应器(3)中的反应是通过催化所述反应的一个或多个反应器管(3a，3b，3c)的内涂层来催化的。
11.根据前述任一权利要求的方法，其特征在于，在加氢脱氯反应器(3)中的反应是通过催化所述反应的固定床的涂层来催化的，所述固定床布置在反应器(3)中或者在一个或多个反应器管(3a, 3b, 3c)中。
12.加氢脱氯反应器(3)作为用于由冶金硅来制备三氯硅烷的设备中的整体部件的用途，其特征在于，所述加氢脱氯反应器(3)受压力驱动，并且包含由陶瓷材料组成的一个或多个反应器管(3a, 3b, 3c)。
13.根据权利要求12的用途，其特征在于，所述用于由冶金硅来制备三氯硅烷的设备包括 a)用于使四氯化硅与氢气反应形成三氯硅烷的子设备，其包括-布置在加热室(15)或者燃烧室(15)中的加氢脱氯反应器(3)，其中所述布置优选包括在燃烧室(15)中的一个或多个反应器管(3a，3b，3c)；-至少一个用于含四氯化硅的气体的导管(I)和至少一个用于含氢气的气体的导管(2)，其导入到加氢脱氯反应器(3)中或者导入到一个或多个反应器管(3a，3b，3c)的布置中，其中任选提供用于含四氯化硅的气体和含氢气的气体的合并导管(1，2)来代替单独的导管(I)和(2)；-用于将含三氯硅烷和含HCl的产物气体从加氢脱氯反应器(3)中导出的导管⑷，;-热交换器(5)，优选是一种管束热交换器，通过所述热交换器(5)如此引导产物气体导管(4)以及至少一个四氯化硅导管(I)和/或至少一个氢气导管(2)，使得热可以从产物气体导管(4)转移到至少一个四氯化硅导管(I)和/或至少一个氢气导管(2)中，其中所述热交换器(5)任选包括陶瓷材料的热交换器元件；-任选的子设备(7)或者包括多个子设备(7a，7b，7c)的布置，其用于分别分离一种或多种产物，所述产物包括四氯化硅、三氯硅烷、氢气和HCl ；-任选地将所分离的四氯化硅导入到四氯化硅导管(I)中的导管(8)，优选在热交换器(5)的上游；-任选地把所分离的三氯硅烷供给到最终产物排放中的导管(9)；-任选地将所分离的氢气导入到氢气导管(2)中的导管(10)，优选在热交换器(5)上游；和-任选地把所分离的HCl供给到用于硅的氢氯化的设备的导管(11);和 b)用于使冶金硅与HCl反应形成四氯化硅的子设备，其包含-氢氯化设备(12)，其前置于用于四氯化娃与氢气反应的子设备，其中任选至少一部分所使用的HCl经由HCl流(11)导入到氢氯化设备(12)中；-冷凝 器(13)，其用于分离至少一部分的副产物氢气，该副产物氢气来自于氢氯化设备(12)中的反应，其中将所述氢气经由氢气导管(2)导入到加氢脱氯反应器(3)或者一个或多个反应器管(3a，3b，3c)布置中；-蒸馏设备(14)，用于从剩余的产物混合物中分离至少四氯化硅和三氯硅烷，该产物混合物来自于氢氯化设备(12)中的反应，其中所述的四氯化硅经由四氯化硅导管(I)导入到加氢脱氯反应器(3)或者一个或多个反应器管(3a，3b，3c)布置中；和-任选的同流换热器(16)，其用于用流出燃烧室(15)的废气(20)来预热计划用于燃烧室(15)的助燃空气(19);和-任选的设备(17)，用于由从同流换热器(16)中流出的废气(20)制备蒸气。
14.根据权利要求12或者13的用途，其特征在于，所述陶瓷材料选自Si-渗透的SiC、等压压制的SiC、热等压压制的SiC和无压力烧结的SiC(SSiC)。
15.根据权利要求12-14任一的用途，其特征在于，该加氢脱氯反应器(3)、反应器管(3a，3b，3c)、加热室(15)或者该加氢脱氯反应器(3)的运行模式是按照权利要求1_11详细说明的。
16.选自Al2O3,AIN, Si3N4, SiCN和SiC的陶瓷材料作为反应器管(3a、3b、3c)的材料的用途，其中所述陶瓷材料优选选自Si-渗透的SiC、等压压制的SiC、热等压压制的SiC和无压力烧结的SiC(SSiC)。
17.根据权利要求16的用途，其特征在于，所述反应器管(3a，3b，3c)是加氢脱氯反应器(3)的反应器管，所述加氢脱氯反应器(3)用于使四氯化硅与氢气反应生成三氯硅烷。
全文摘要
本发明涉及一种在加氢脱氯反应器中使四氯化硅与氢气反应生成三氯硅烷的方法，其中该加氢脱氯反应器是压力驱动的，并且包含一个或多个由陶瓷材料制成的反应器管。本发明进一步涉及这样的加氢脱氯反应器的用途，其用作由冶金硅来生产三氯硅烷的设备中的整体部件。
文档编号C01B33/107GK102725229SQ201080061762
公开日2012年10月10日 申请日期2010年12月15日 优先权日2010年1月18日
发明者A.比克, G.拉托辛斯基, G.施托赫尼奥尔, I.波利, Y.厄纳尔 申请人:赢创德固赛有限公司