专利名称：一种高纯度三氯氧磷鼓泡瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种使用剧毒危险品高纯度三氯氧磷时所用的鼓泡装置。
背景技术：
高纯度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前在高纯度三氯氧磷使用时主要是直接使用石英源瓶通入高纯氮气，利用高纯氮气作为载气将三氯氧磷带出，其缺点是不安全、不可靠、容易泄漏而污染环境、经常爆瓶造成财产损失和人员伤亡。
发明内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、抗压性好、不易破碎、无满瓶风险、使用时出料连续稳定的高纯度三氯氧磷鼓泡瓶。本实用新型的目的是这样实现的瓶体用特氟龙材质制成，瓶体顶部排列有插入瓶体底部的氮气入口管和鼓泡出口管。瓶体顶部有插入瓶体底部的温度测量管。瓶体顶部有液位观察口。由于本实用新型采用上述结构，该装置结构简单，使用安全可靠，无泄漏、鼓泡均勻，三氯氧磷的消耗量与加入量平衡，不需更换鼓泡瓶，可保证连续稳定的物料供给。瓶体采用高纯特氟龙材料制作，完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度，彻底杜绝了爆瓶的危险。
图1为本实用新型实施例1的结构图。图2为本实用新型实施例2的结构图。图3为本实用新型实施例3的结构图。图4为本实用新型实施例4的结构图。图中1瓶体、2氮气入口管、3鼓泡出口管、4温度测量管、5液位观察口。
具体实施方式
实施例1 瓶体1用特氟龙材质制成，瓶体1顶部排列有插入瓶体1底部的氮气入口管2和鼓泡出口管3。使用时在高纯三氯氧磷鼓泡装置内按磷扩散工艺需求装入一定量的高纯三氯氧磷，通过冷却装置将物料调节到20°C，开启现场的高纯氮气，氮气从氮气入口管2进入瓶体1，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散系统，控制进料量在0. 01-50ml/min, 可连续供料保证稳定运行。[0014]实施例2 瓶体1用特氟龙材质制成，瓶体1顶部排列有插入瓶体1底部的氮气入口管2、插入瓶体1底部的温度测量管4和鼓泡出口管3。使用时在高纯三氯氧磷鼓泡装置内按磷扩散工艺需求装入一定量的高纯三氯氧磷，通过冷却装置将物料调节到20°C，开启现场的高纯氮气，氮气从氮气入口管2进入瓶体1，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散系统， 控制进料量在0. 01--50ml/min，可连续供料保证稳定运行。插入瓶体1底部的温度测量管 4用来观察瓶体1内的内温度。实施例3 瓶体1用特氟龙材质制成，瓶体1顶部排列有插入瓶体1底部的氮气入口管2、液位观察口 5和鼓泡出口管3。使用时在高纯三氯氧磷鼓泡装置内按磷扩散工艺需求装入一定量的高纯三氯氧磷，通过冷却装置将物料调节到20°C，开启现场的高纯氮气， 氮气从氮气入口管2进入瓶体1，带起物料从鼓泡出口管3进入扩散系统，控制进料量在 0.01--50ml/min，可连续供料保证稳定运行。液位检测口 5用来观察瓶内物料的位置。实施例4 瓶体1用特氟龙材质制成，瓶体1顶部排列有插入瓶体1底部的氮气入口管2、液位检测口 5、插入瓶体1底部的温度测量管4和鼓泡出口管3。使用时在高纯三氯氧磷鼓泡装置内按磷扩散工艺需求装入一定量的高纯三氯氧磷，通过冷却装置将物料调节到20°C，开启现场的高纯氮气，氮气从氮气入口管2进入瓶体1，带起物料从鼓泡出口管 3进入扩散系统，控制进料量在0. 01--50ml/min，可连续供料保证稳定运行。温度测量口 4 和液位检测口 5，可观察瓶内的温度和物料的位置。
权利要求1.一种高纯度三氯氧磷鼓泡瓶，其特征是瓶体用特氟龙材质制成，瓶体顶部排列有插入瓶体底部的氮气入口管和鼓泡出口管。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷鼓泡瓶，其特征是瓶体顶部有插入瓶体底部的温度测量管。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷鼓泡瓶，其特征是瓶体顶部有液位观察口。
专利摘要一种高纯度三氯氧磷鼓泡瓶，瓶体用特氟龙材质制成，瓶体顶部排列有插入瓶体底部的氮气入口管和鼓泡出口管。由于本实用新型采用上述结构，该装置结构简单，使用安全可靠，无泄漏、鼓泡均匀，三氯氧磷的消耗量与加入量平衡，不需更换鼓泡瓶，可保证连续稳定的物料供给。瓶体采用高纯特氟龙材料制作，完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度，彻底杜绝了爆瓶的危险。
文档编号C01B25/10GK202080893SQ201120118479
公开日2011年12月21日 申请日期2011年4月15日 优先权日2011年4月15日
发明者向东, 姜盛君, 舒骁骥 申请人:向东