专利名称：一种四氯化硅氢化装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅制作工艺技术领域，更具体地说，涉及一种四氯化硅氢化
>
权利要求1.一种四氯化硅氢化装置，其特征在于，包括 氢化炉，所述氢化炉包括炉体及发热体，所述发热体用于对炉体内气体进行加热； 反应料液蒸发器，所述反应料液蒸发器用于将四氯化硅气化并将气化后的四氯化硅与氢气按照设定比例混合均匀后通过输气管道通入所述氢化炉； 尾气换热管，所述尾气换热管用于将所述氢化炉中反应后的尾气进行冷却降温； 其中，所述尾气换热管的长度不小于4m。
2.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述尾气换热管的长度为4m-8m。
3.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述尾气换热管为螺旋形管道或折线形管道。
4.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述氢化炉还包括 设置在所述炉体内部的外保温罩； 设置在外保温罩内部的石墨内胆； 其中，所述发热体设置在所述石墨内胆的内部。
5.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述发热体的加热功率为300kW-500kW。
6.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述尾气换热管为耐腐蚀的316L不锈钢管。
7.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述发热体为石墨发热体。
8.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述尾气换热管包括内管以及设置在所述内管外的外管； 其中，所述内管的外壁与所述外管的内壁之间具有流动的冷却水，通过所述冷却水对所述尾气进行冷却降温。
专利摘要本实用新型公开了一种四氯化硅氢化装置，包括氢化炉，所述氢化炉包括炉体及发热体，所述发热体用于对炉体内气体进行加热；反应料液蒸发器，所述反应料液蒸发器用于将四氯化硅气化并将气化后的四氯化硅与氢气按照设定比例混合均匀后通过输气管道通入所述氢化炉；尾气换热管，所述尾气换热管用于将所述氢化炉中反应后的尾气进行冷却降温；其中，所述尾气换热管的长度不小于4m。所述四氯化硅氢化装置可通过设定所述尾气换热管的长度控制尾气的温度，使流经所述尾气换热管的尾气的温度迅速降低至设定的温度范围，从而提高四氯化硅的转化率；同时，避免了由于尾气温度过高导致输气管道热膨胀而发生的尾气泄漏事故的发生，安全性好。
文档编号C01B33/107GK202808380SQ201220338470
公开日2013年3月20日 申请日期2012年7月11日 优先权日2012年7月11日
发明者冯泽民, 潘和平, 谭忠芳, 田先瑞, 陈文吉 申请人:新疆大全新能源有限公司