一种制备六氟化钼的反应器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种制备六氟化钼的反应器，包括筒体，在筒体的外壁周围设有加热装置，在筒体顶部一端设置有氟气入口，在筒体顶部另一端设置有产品出口，在筒体的顶部中间设置有反应器测压口。在筒体内部的封闭一端设置有反应器测温装置，在筒体内部的中间部位设置有料盘。在筒体的下部一端设置有收集口，收集口与收集器顶盖相连，在收集器的外壁周围设置有冷媒夹套，在收集器上部有收集器测压装置和收集器测温装置。本实用新型结构简单、操作方便，安全性好。
【专利说明】一种制备六氟化钼的反应器
【技术领域】
[0001]本实用新型属于一种反应器，具体涉及一种制备六氟化钥的反应器。
【背景技术】
[0002]六氟化钥(MoF6)主要用于钥的同位素分离，在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钥或钥膜，以制作低电阻、高熔点的互连线。六氟化钥的制备方法有如下几种:(i)在白金管中放钥粉末，然后在60°C温度下通干燥氟气，生成六氟化钥。(ii )在钥上面通三氟化溴并加热到350°C，生成六氟化钥。(iii)在空气的存在下，往MoC15中通氟气，生成六氟化钥。目前，上述设备六氟化钥的反应器结构复杂、易腐蚀，安全性差，对环境污染大。
【发明内容】
[0003]本实用新型是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种结构简单、操作方便，安全性好的制备六氟化钥的反应器。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种制备六氟化钥的反应器，包括筒体，筒体一端封闭、另一端开口，在开口设置有加料口盲板，在筒体的外壁周围设有加热装置，在筒体的顶部一端设置有氟气入口，在筒体的顶部另一端设置有产品出口，在筒体的顶部中间设置有反应器测压口。
[0005]在筒体内部的封闭一端设置有反应器测温装置，在筒体内部的中间部位设置有料盘。在筒体的下部一端设置有收集口，收集口与收集器顶盖相连，在收集器的外壁周围设置有冷媒夹套，在收集器上部有收集器测压装置和收集器测温装置。
[0006]所述的反应器测温装置的一端伸入到筒体中部。
[0007]所述的收集器测温装置通过顶盖深入到收集器的内部。
[0008]所述的反应器测温装置采用热电偶，加热装置采用加热瓦，收集器测温装置采用钼电阻。
[0009]本实用新型结构简单、操作方便，安全性好。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的制备六氟化钥的反应器剖面示意图。
[0011]其中:
[0012]1反应器测温装置 2筒体
[0013]3氟气入口4加热装置
[0014]5反应器测压口6产品出口
[0015]7加料口盲板8料盘
[0016]9收集口10收集器测温装置
[0017]11收集器测压口12顶盖
[0018]13收集器14冷媒夹套[0019]15冷媒入口16冷媒出口。
【具体实施方式】
[0020]下面，参照附图和实施例对本实用新型的制备六氟化钥的反应器进行详细说明:
[0021]如图1所示，一种制备六氟化钥的反应器，包括筒体2，筒体2 —端封闭、另一端开口，开口一端可用做加料口，在开口端设置有加料口盲板7。在筒体2的外壁周围设有加热装置4，在筒体2的顶部一端设置有氟气入口 3，在筒体2的顶部另一端设置有产品出口 6，在筒体2的顶部中间设置有反应器测压口 5。
[0022]在筒体2内部的封闭一端设置有反应器测温装置1，反应器测温装置I 一端伸入到筒体2中部。在筒体2内部的中间部位设置有料盘8，料盘8下部带有支架、放在筒体2内部的下部，料盘8可以自由推进或者拉出。
[0023]在筒体2的下部一端设置有收集口 9，收集口 9与收集器顶盖12相连，在收集器13的外壁周围设置有冷媒夹套14，冷媒夹套14的下部设置冷媒入口 15，冷媒夹套14的上部设置冷媒入口 16，在收集器13上部有收集器测温装置10和收集器测压装置11，收集器测温装置10通过顶盖12深入到收集器13的内部。
[0024]其中，反应器测温装置I采用热电偶，加热装置4采用加热瓦，收集器测温装置10采用钼电阻。筒体2和收集器13均采用耐六氟化钥腐蚀的不锈钢材质。
[0025]本实用新型结构 简单、操作方便，安全性好。
【权利要求】
1.一种制备六氟化钥的反应器，包括筒体(2),筒体(2) —端封闭、另一端开口，在开口端设置有加料口盲板(7)，其特征在于:在筒体(2)的外壁周围设有加热装置(4)，在筒体(2)的顶部一端设置有氟气入口(3)，在筒体(2)的顶部另一端设置有产品出口(6)，在筒体(2)的顶部中间设置有反应器测压口(5)，在筒体(2)内部的封闭一端设置有反应器测温装置(1)，在筒体(2)内部的中间部位设置有料盘(8)，在筒体(2)的下部一端设置有收集口(9)，收集口(9)与收集器顶盖(12)相连，在收集器(13)的外壁周围设置有冷媒夹套(14)，在收集器(13)上部有收集器测压装置(11)和收集器测温装置(10)。
2.根据权利要求1所述的制备六氟化钥的反应器，其特征在于:所述的反应器测温装置(I)的一端伸入到筒体(2)中部。
3.根据权利要求1所述的制备六氟化钥的反应器，其特征在于:所述的收集器测温装置(10)通过顶盖(12)深入到收集器(13)的内部。
4.根据权利要求1所述的制备六氟化钥的反应器，其特征在于:所述的反应器测温装置(I)采用热电偶，加热装置(4)采用加热瓦，收集器测温装置(10)采用钼电阻。
【文档编号】C01G39/04GK203440106SQ201320545819
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年9月4日 优先权日:2013年9月4日
【发明者】仝庆, 崔学文, 贺邓, 张淑娟 申请人:核工业理化工程研究院华核新技术开发公司