一种多边形铸锭及制造多边形铸锭的多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:11172490阅读:693来源:国知局
一种多边形铸锭及制造多边形铸锭的多晶硅铸锭炉的制造方法与工艺

本发明涉及多晶硅片、铸造单晶硅片制造领域,具体涉及一种多边形铸锭及制造多边形铸锭的多晶硅铸锭炉。



背景技术:

现有的用于制造晶硅铸锭的坩埚及热场为四方形,只能铸造出形状为四方体的硅锭,不能充分发挥圆柱形炉体的空间,影响了铸锭炉的生产效率。



技术实现要素:

针对上述现有技术的不足,本发明提供一种多边形铸锭及制造多边形铸锭的多晶硅铸锭炉,能够铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭。

为实现上述目的,本发明采用如下技术方案:

一种多边形铸锭,所述多边形铸锭的侧面数大于4。

一种用于制造上述的多边形铸锭的多晶硅铸锭炉,包括圆柱形炉体,圆柱形炉体内设有隔热笼,隔热笼内设有坩埚,坩埚的外侧包覆有坩埚侧护板和坩埚底护板,坩埚侧护板外设置有用于对坩埚加热形成热场的侧加热器,坩埚底护板底部设置有冷凝块;所述坩埚的侧壁数为n;与坩埚的n个侧壁相对应的,坩埚侧护板的个数为n,坩埚底护板为边数为n的多边形,隔热笼的侧面数为n,侧加热器的侧面数为n,冷凝块为边数为n的多边形;所述n为正整数,且大于4;所述坩埚的侧壁与多边形铸锭的侧面相对应,两者数量相同。

本发明具有如下有益效果:本发明中的坩埚及热场,可铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭,相对四个侧面柱状的硅锭,更多侧面面的柱状硅锭,单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量,降低生产成本。

附图说明

图1本发明的结构示意图;

图中标号:1、晶硅铸锭;2、圆柱形炉体;3、隔热笼;4、侧加热器;5、坩埚侧护板;6、坩埚;7、坩埚的底护板;8、冷凝块。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的描述。

如图1所示,本发明提供的多晶硅铸锭炉包括圆柱形炉体2,圆柱形炉体2内设有隔热笼3,隔热笼3内设有坩埚6,坩埚6的外侧包覆有坩埚侧护板5和坩埚底护板7,坩埚侧护板5外设置有用于对坩埚6加热形成热场的侧加热器4,坩埚底护板7底部设置有冷凝块8。坩埚6的矩形侧壁数为n,n>4;坩埚的侧护板5有n个面,分别对应坩埚6的n个侧壁;坩埚的底护板7为边数为n的多边形。隔热笼3的侧面有n个面,分别对应坩埚6的n个侧壁。侧加热器4的侧面有n个面,分别对应坩埚6的n个侧壁。冷凝块8为边数为n的多边形。利用上述多晶硅铸锭炉能够制造出侧面数为n的多边形铸锭,n>4,多边形铸锭的侧面与坩埚的侧壁相对应。

实施例1:

1.根据设计得到侧面数为5的隔热笼、坩埚侧护板数量为5、边数为5的冷凝块、5侧加热器侧面为5的热场。

2.将硅料放入侧边为5的多边形坩埚中,然后放于设计好的热场中进行铸锭;

3.最终通过工艺融化长晶过程将得到侧边为5的多边型硅锭。

在不改变原有的铸锭炉体的情况下,可铸出的多边形晶硅锭体积增大,从而达到单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量,降低生产成本。

以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。



技术特征:

技术总结
本发明提出了一种侧面数大于4的多边形铸锭及制造多边形硅锭的铸造炉,所述铸锭炉包括圆柱形炉体、隔热笼、侧加热器、坩埚、坩埚侧护板、坩埚底护板、冷凝块;坩埚的矩形侧壁数为n;坩埚的侧护板有n个面,分别对应坩埚的n个侧壁;坩埚的底护板为边数为n的多边形。隔热笼的侧面有n个面,分别对应坩埚的n个侧壁。侧加热器的侧面有n个面,分别对应坩埚的n个侧壁。冷凝块为边数为n的多边形。n>4。本发明中的坩埚及热场,可铸造出侧面大于四面的多面柱状硅锭,相对四个侧面柱状的硅锭,更多侧面面的柱状硅锭,单炉装料量更多、产量更高、生产率更高。提高现有圆柱形炉体的利用率和产量,降低生产成本。

技术研发人员:陈旭光;张涛
受保护的技术使用者:镇江仁德新能源科技有限公司
技术研发日:2017.07.05
技术公布日:2017.10.03
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