本发明涉及半导体气敏传感器的制备技术,具体是指一种非连续双面异质结夹层结构二氧化锡-氧化镍-二氧化锡的制备方法及其产品和应用。
背景技术:
目前nio基传感器材料存在的主要问题是灵敏度低、响应和恢复慢、选择性差。前两个问题部分是因为p型半导体依赖空穴耗尽层的气敏特性所致,后者则是所有金属氧化物的共性问题。通过不同金属氧化物半导体材料复合构建异质结,扩大空间电荷耗尽层/空穴积聚层来提高灵敏度和选择性在多个体系里已被证明是有效的方法。
若能在制备过程中将多孔空心结构和异质结相结合将有助于大幅度提高nio的气敏特性,包括灵敏性、响应速度和选择性。现有纳米金属氧化物异质结设计主要是核壳结构、混合颗粒以及多层膜三种。其中以前者调控能力最强,也最为主流,通常在核壳界面上形成二极(p-n、n-n、p-p等)多孔中空结构,壳层内外表面用异质相进行修饰,可以是金属氧化物,也可以是金属等,从而可形成n-p-n、m(etal)-p-m(etal)等类型的非连续双面异质结夹层结构,在此基础上也可扩展到更多层。与传统结构相比,在内外界面上可形成双异质结,从而倍增了空穴积聚层。此外由于nio纳米颗粒表面层与体内电阻的并联特性,内部中空结构可大幅削减体电阻的影响,从而改善电流响应特性。
技术实现要素:
为克服现有技术的不足,本发明目的在于:提供一种非连续双面异质结夹层结构二氧化锡-氧化镍-二氧化锡的制备方法。
本发明再一目的在于:提供上述方法制备的产品。
本发明目的通过下述方案实现:本发明又一目的在于:提供上述立产品的应用。
一种非连续双面异质结夹层结构二氧化锡-氧化镍-二氧化锡的制备方法,包括如下步骤:
(1)将镍的前驱体溶于去离子水中形成ni2+溶液,搅拌均匀后,在室温下加入六甲基四胺继续搅拌;
(2)在步骤(1)连续通入氮气后加温到90oc进行反应;
(3)将步骤(2)制得的ni(oh)2沉淀用去离子水离心洗涤3次在烘箱干燥24h后,浸入sncl4溶液中,放入马弗炉500~800oc烧3h,得到非连续双面异质结夹层结构。
在上述方案基础上,溶于水的镍前驱体为氯化镍或硫酸镍的一种,ni2+的浓度为0.5~1.2mol/l,在室温下搅拌速度为200~300rpm,时间30min。
步骤(2)所述的氮气流速为5~15ml/min,反应时间为1~3h。
步骤(3)所述的sncl4的浓度为0.5~2.0mol/l。
本发明提供一种非连续双面异质结夹层结构二氧化锡-氧化镍-二氧化锡,按上述任一所述方法。
本发明提供一种非连续双面异质结夹层结构二氧化锡-氧化镍-二氧化锡在甲醛气体检测的应用。
本发明是在对气体吸附原理充分认识的基础上,提出了双面异质结夹层的结构,通过水热法获得均匀结构,该方法操作简单,设备要求不高,可控性强,为气敏材料设计提供一种新思路。
附图说明
图1为采用本发明实施例1合成非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2的扫描电镜照片。
图2为采用本发明实施例1合成非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2对甲醛气体的响应曲线。
具体实施方式
实施例1:
(1)将0.5mol/l氯化镍溶于50ml去离子水中形成ni2+溶液,200rpm搅拌30min后,在室温下加入六甲基四胺在相同搅拌速度下继续搅拌1h,通入氮气流速为5ml/min,随后升温至90oc进行反应1h,制得的ni(oh)2沉淀用去离子水离心洗涤3次在烘箱干燥24h后,浸入0.5mol/l的sncl4溶液中放置24小时后干燥,在马弗炉500oc烧结3h,得到非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2,形貌见图1本实施例合成非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2的扫描电镜照片,对甲醛气体响应见图2本实施例1合成非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2对甲醛气体的响应曲线。从图中可以看出,双面异质结夹层结构对甲醛响应的灵敏度更高,响应和恢复时间短。
实施例2:
(1)将1.2mol/l氯化镍溶于50ml去离子水中形成ni2+溶液,300rpm搅拌30min后,在室温下加入六甲基四胺在相同搅拌速度下继续搅拌1h,通入氮气流速为15ml/min,随后升温至90oc进行反应1h,制得的ni(oh)2沉淀用去离子水离心洗涤3次在烘箱干燥24h后,浸入2mol/l的sncl4溶液中放置24小时后干燥,在马弗炉800oc烧结3h,得到非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2。
实施例3:
(1)将0.9mol/l氯化镍溶于50ml去离子水中形成ni2+溶液,250rpm搅拌30min后,在室温下加入六甲基四胺在相同搅拌速度下继续搅拌1h,通入氮气流速为10ml/min,随后升温至90oc进行反应1h,制得的ni(oh)2沉淀用去离子水离心洗涤3次在烘箱干燥24h后,浸入1.2mol/l的sncl4溶液中放置24小时后干燥,在马弗炉750oc烧结3h,得到非连续双面异质结夹层结构的sno2-nio-sno2。