一种多晶硅的制备方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明公开一种多晶硅的制备方法，包括：将二氯二氢硅气体、三氯氢硅气体和氢气混合，得到混合料；将混合料送入还原炉，第三混合料进行气相化学沉淀反应，在硅芯表面生成多晶硅，得到硅棒；所述制备方法使生成的多晶硅生长于硅棒或硅芯上，提高收率，缩短硅棒的整个生长周期；同时，降低电耗，节约成本。

技术研发人员：冉祎;余涛;王琴;何鹏;李寿琴
受保护的技术使用者：四川永祥多晶硅有限公司
技术研发日：2018.09.14
技术公布日：2018.11.20