一种单晶炉提拉头动态动平衡机构的制作方法

本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，一种单晶炉提拉头动态动平衡机构。

背景技术：

直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备。随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大。以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高。对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。单晶生长设备主要是单晶炉，单晶炉包括单晶硅生长合成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升装置和电控自动系统。传统的单晶炉的籽晶提升装置是缆索管运动在设定位置时进行动平衡调整，当籽晶提升装置提升籽晶时，籽晶提升装置的质心位置发生偏移，使提拉稳定性差，造成产品品率降低。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉提拉头动态动平衡机构。

为解决上述技术问题，本发明采用的解决方案是：

提供一种单晶炉提拉头动态动平衡机构，包括提拉头机构和动态动平衡机构；动态动平衡机构安装在提拉头机构外壳体上，提拉头机构内装设有缆索管，用于储存提拉钼钢丝；

动态动平衡机构通过电控自动系统控制，包括电机及直线运动单元，电机安装在直线运动单元上，并通过联轴器带动直线运动单元上的滑块进行直线往复运动；直线运动单元上设有配重机构及位置传感器；

配重机构包括设计配重块，设计配重块固定在滑块上，设计配重块上通过粘性材料粘接有装配配重块。

作为一种改进，粘性材料为结构胶。

作为一种改进，设计配重块、滑块和装配配重块的总质量和缆索管机构成比例。

作为一种改进，设计配重块、滑块和装配配重块的直线运动方向和缆索管的运动方向相反且运动速度成比例。

作为一种改进，位置传感器有两个，分设于直线运动机构的侧部及底部。

与现有技术相比，本发明的技术效果是：

本发明在传统的单晶炉的籽晶提升装置上安装动态动平衡机构，对缆索管直线运动造成的籽晶提升装置的质心位置偏移进行实时调整，迫使籽晶提升装置质心回到设定位置，从而提高籽晶提升装置稳定性，提高单晶品质。

附图说明

图1为单晶炉提拉头动态动平衡机构装配的结构示意图。

图2为动态动平衡机构的结构示意图。

图3为动态动平衡机构细节的结构示意图。

附图标记：1-提拉头机构，2-动态动平衡机构，3-电机，4-联轴器，5-直线运动单元，6-配重机构，7-1号位置传感器，8-2号位置传感器，9-滑块，10-设计配重块，11-结构胶，12-装配配重块，13-外壳体，14-缆索管。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。

如图1所示，一种单晶炉提拉头动态动平衡机构，包括提拉头机构1和动态动平衡机构2；动态动平衡机构2安装在提拉头机构1外壳体13上，提拉头机构1内装设有缆索管14，用于储存提拉钼钢丝；

如图2-3所示，动态动平衡机构2通过电控自动系统控制，包括电机3和直线运动单元5，电机3安装在直线运动单元5上，并通过联轴器4带动直线运动单元5上的滑块9进行直线往复运动，直线运动单元5上设有配重机构6及位置传感器；位置传感器有两个，分别为1号位置传感器7和2号位置传感器8分设于直线运动单元5的侧部及底部。

配重机构6包括设有设计配重块10，设计配重块10固定在滑块9，设计配重块10上通过结构胶11粘接有装配配重块12。

设计配重块10、滑块9和装配配重块12的总质量和缆索管14机构成比例。

设计配重块10、滑块9和装配配重块12的直线运动方向和缆索管14的运动方向相反且运动速度成比例。

本发明的工作过程为：当提拉头机构1工作时，提拉头机构1中的缆索管14进行直线运动，通过电控自动系统启动动态动平衡机构2，经过电机3带动联轴器4旋转，带动滑块9和配重机构8向缆索管14直线运动的相反方向进行一定比例的直线运动，迫使提拉头机构1的质心位置保持设定位置。

最后需要注意的是，以上列举的仅是本发明的具体实施例。显然，本发明不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。

技术特征：

技术总结
本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，一种单晶炉提拉头动态动平衡机构。包括提拉头机构；动态动平衡机构安装在提拉头机构外壳体上，提拉头机构内装设有缆索管；动态动平衡机构通过电控自动系统控制，包括电机及直线运动单元，电机安装在直线运动单元上，并通过联轴器带动直线运动单元上的滑块进行直线往复运动；直线运动单元上设有配重机构及位置传感器；配重机构包括设计配重块，设计配重块固定在滑块上。本发明在传统的单晶炉的籽晶提升装置上安装动态动平衡机构，对缆索管直线运动造成的籽晶提升装置的质心位置偏移进行实时调整，迫使籽晶提升装置质心回到设定位置，从而提高籽晶提升装置稳定性，提高单晶品质。

技术研发人员：傅林坚;曹建伟;胡建荣;高宇;叶钢飞;倪军夫;王鹏飞;阮文星;李龙佑
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：2018.12.17
技术公布日：2019.03.08