技术总结
一种掺杂剂掺杂装置,掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接,籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接,所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元,本实用新型中,第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中,整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定,掺杂时,不用再将籽晶取下,避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上,提高了工作效率和安全性,并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损;第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接,第五吊钩吊装于第二支撑杆上,掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换,而增加成本,拉晶炉内环境要求严格,整个掺杂工装采用钼材料制成,能防止污染,整个掺杂工装轻巧,使用方便。
技术研发人员:芮阳
受保护的技术使用者:宁夏银和半导体科技有限公司
技术研发日:2018.10.10
技术公布日:2019.05.10