一种氢氟酸生产系统的制作方法

本实用新型涉及化工设备领域，尤其涉及一种氢氟酸生产系统。

背景技术：

氢氟酸的用途十分广泛，氢氟酸作为氟化学工业的重要原料可以生产氟致冷剂，含氟聚合物、含氟医药，用它生产的氟化铝和冰晶石是炼铝工业必不可少的助剂，它还是炼油厂的烷基化触媒，钢铁厂的不锈钢清洗剂。另外氢氟酸生的氟化盐被广泛的运用于食品包含、特种金属冶炼、皮革和纺织品处理、标本保存以及核工业等行业。电子工业用氢氟酸为高纯氢氟酸，作为强性清洗、腐蚀剂、可与硝酸、双氧水、冰醋酸等配置使用，主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一。

但是考虑到氢氟酸的生产要求较高，容易对环境以及人员安全造成威胁，且现有技术中的加热设备无法对氟化氢进行较快的加热以及过滤，从而导致与水混合后的氢氟酸产品纯度较低，所以为了避免上述情况的发生，需要提供一种能够集加热、过滤、合成为一体的氢氟酸生产系统。

技术实现要素：

实用新型目的：为了克服背景技术中存在的缺陷，所以为此提供一种氢氟酸生产系统。

技术方案：一种氢氟酸生产系统，包括连接氟化氢供站和蒸汽加热器的蒸发锅、过滤塔、气液分离器、中间存储器、以及连接有冷却水注入系统的合成锅，所述蒸发锅的出料口与过滤塔的进料口相连接，所述过滤塔内包括有数根毛细管，所述数根毛细管上均设有一层过滤薄膜，所述过滤塔的出料口与气液分离器的进料口相连接，所述气液分离器的出料口与中间储存器的进料口相连接，所述中间存储器的出料口与合成锅的进料口相连接。

优选的，所述数根毛细管上方连接同一注水口，底部连接同一出水口。

优选的，所述过滤薄膜采用聚四氟乙烯材质制成。

优选的，所述合成锅的数量至少为两个。

优选的，所述合成锅外部连接有尾气吸收系统。

本实用新型实现以下有益效果：

1.本实用新型通过在毛细管上设置有过滤薄膜，可实现对氟化氢进行冷却过滤。

2.本实用新型设置气液分离器能够有效的将氟化氢与其它液态杂质进行分离得到较为纯净的氟化氢，进而在与纯水混合时能够得到较为纯净的氢氟酸。

3.本实用新型同时设置至少两个合成锅，当其中一个合成锅进行卸料时，另一个合成锅可继续进行氢氟酸的合成，保证了氢氟酸生产的连续性。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本实用新型提供的整体结构示意图。

图2为本实用新型提供的毛细管与进水口与出水口连接结构示意图。

图3为本实用新型提供的过滤薄膜与毛细管位置结构示意图。

图中：1.氟化氢供料站、2.蒸汽加热器、3.蒸发锅、4.过滤塔、5.气液分离器、6.中间存储器、7.合成锅、8.冷却水注入系统、9.毛细管、10.进水口、11.出水口、12.过滤薄膜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一

参考图1-3，一种氢氟酸生产系统，包括连接氟化氢供站1和蒸汽加热器2的蒸发锅3、过滤塔4、气液分离器5、中间存储器6、以及连接有冷却水注入系统8的合成锅7，蒸发锅的出料口与过滤塔的进料口相连接，过滤塔内包括有数根毛细管，数根毛细管上均设有一层过滤薄膜12，过滤塔的出料口与气液分离器的进料口相连接，气液分离器的出料口与中间储存器的进料口相连接，中间存储器的出料口与合成锅的进料口相连接。

具体的，氟化氢供料站用于向蒸发锅内输送氟化氢物料，蒸发锅内部需设有蒸汽盘管(已知技术)，蒸汽加热器产生的蒸汽进入蒸汽盘管内，继而对蒸发锅内的氟化氢进行加热，使其加速运动，加热后的氟化氢快速的进入过滤塔内，过滤塔内的毛细管在注入有冷却水的情况下对其进行冷却，因本实用新型中毛细管上设有过滤薄膜，故毛细管在对氟化氢进行冷却的同时还能对其内部含有的固态杂质进行过滤，当过滤塔对氟化氢冷却过滤后，氟化氢进入至气液分离器内，气液分离器将氟化氢与其它液态杂质进行分离，得到较为纯净的氟化氢，然后输送至中间存储器内进行存储，在进行氢氟酸合成时，与合成锅连接的冷却水注入系统先向合成锅内注入冷却水(纯水)，中间存储器向合成锅内输送氟化氢，然后氟化氢与氟化氢反应即可得到纯度较高的氢氟酸。

实施例二

继续参考图1-3，本实用新型的实施例二是基于实施例一进行实施的；

数根毛细管上方连接同一注水口10，底部连接同一出水口11，在有冷却水注入时，注水口统一进行接收，然后输送至各个毛细管内，当冷却水对氟化氢冷却过滤后则通过出水口统一流出。

过滤薄膜采用聚四氟乙烯材质制成，聚四氟乙烯材质能够较佳的实现防腐的作用，继而可实现对氟化氢内的固态杂质进行过滤。

合成锅的数量至少为两个，当合成锅的数量具体设为两个时，当其中一个合成锅对合成好的氢氟酸进行卸料时，另一个合成锅还能继续进行氢氟酸合成工作，当合成锅的数量具体设有三个时，当另外两个合成锅中的一个发生损坏，则可以进行备用。

合成锅外部连接有尾气吸收系统，考虑到氟化氢与水反应会发生大量的尾气，所以采用尾气吸收系统对其进行吸收处理。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种氢氟酸生产系统，其特征在于，包括连接氟化氢供站和蒸汽加热器的蒸发锅、过滤塔、气液分离器、中间存储器、以及连接有冷却水注入系统的合成锅，所述蒸发锅的出料口与过滤塔的进料口相连接，所述过滤塔内包括有数根毛细管，所述数根毛细管上均设有一层过滤薄膜，所述过滤塔的出料口与气液分离器的进料口相连接，所述气液分离器的出料口与中间储存器的进料口相连接，所述中间存储器的出料口与合成锅的进料口相连接。

2.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产系统，其特征在于，所述数根毛细管上方连接同一注水口，底部连接同一出水口。

3.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产系统，其特征在于，所述过滤薄膜采用聚四氟乙烯材质制成。

4.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产系统，其特征在于，所述合成锅的数量至少为两个。

5.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产系统，其特征在于，所述合成锅外部连接有尾气吸收系统。

技术总结
本实用新型公开了一种氢氟酸生产系统，包括连接氟化氢供站和蒸汽加热器的蒸发锅、过滤塔、气液分离器、中间存储器、以及连接有冷却水注入系统的合成锅，蒸发锅的出料口与过滤塔的进料口相连接，过滤塔内包括有数根毛细管，数根毛细管上均设有一层过滤薄膜，过滤塔的出料口与气液分离器的进料口相连接，气液分离器的出料口与中间储存器的进料口相连接，中间存储器的出料口与合成锅的进料口相连接。本实用新型能够对制备氢氟酸的原料氟化氢进行多次过滤，可保证合成后氢氟酸的纯度。

技术研发人员：童晨
受保护的技术使用者：昆山晶科微电子材料有限公司
技术研发日：2019.08.05
技术公布日：2020.04.24