一种具有调节内部高度的单晶炉主室的制作方法

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种具有调节内部高度的单晶炉主室。

背景技术：

单晶炉主室是直拉硅单晶的一种加工装置，主要采用直拉式生产硅单晶，例如对比文件申请号为cn201520569202.8、公开号为cn204825115u的一种成品率高的单晶炉，其中就详细介绍了单晶炉的结构。

但是现有的单晶炉，在生产的过程中，其炉内空间固定式的，在生产硅单晶时，不方便根据硅单晶生产，对炉内空间的调节，不利于大投量硅单晶生产的调节。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种具有调节内部高度的单晶炉主室，以解决上述背景技术中提出的现有的单晶炉，在生产的过程中，其炉内空间固定式的，在生产硅单晶时，不方便根据硅单晶生产，对炉内空间的调节，不利于大投量硅单晶生产调节的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有调节内部高度的单晶炉主室，包括单晶炉主体、第一炉盖、第二炉盖和安装架，所述单晶炉主体上设置有上炉体，且上炉体的顶部通过锁扣与第一炉盖相连接，并且第一炉盖的中部开设有放料口，同时放料口的上固定有第二炉盖，所述上炉体的两侧焊接有支撑架，且支撑架的下方与液压缸螺栓连接，并且液压缸螺栓固定在安装架上，同时上炉体的下方设置有下炉体，所述上炉体侧壁的下端面开设有收纳槽，且收纳槽与中间环相连接，并且中间环与下炉体焊接连接，同时下炉体的下端位于安装架上，所述上炉体和下炉体的内部均设置有内腔。

优选的，所述上炉体的安装结构为上下升降式结构，且上炉体与下炉体对应安装。

优选的，所述支撑架的个数一共设置有2个，且2个支撑架之间的高度相同。

优选的，所述收纳槽的槽宽与中间环的厚度相同，且收纳槽和中间环的形状结构均为圆环状结构。

优选的，所述中间环的圆心与下炉体的圆心相重合，且中间环的高度小于收纳槽的长度。

优选的，所述中间环的侧壁位于下炉体侧壁的中间部位，且中间环侧壁的厚度小于下炉体侧壁的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该具有调节内部高度的单晶炉主室，在直拉式单晶炉底加装主室增高环，增高单晶炉热场高度，将石英坩埚高度增加，增大投料量；

1、将单晶炉主体设为上炉体和下炉体两个部分，可对单晶炉主体内部内腔的容积进行调节，进而可增加硅单晶生产的投放量；

2、在上炉体的侧壁内设置有收纳槽，起到与下炉体处中间环进行配合连接的作用，有利于上炉体的稳定升降，并通过中间环的设置，可对上炉体、下炉体和中间环围成的内腔进行密封。

附图说明

图1为本实用新型单晶炉主体结构示意图；

图2为本实用新型单晶炉主体内部结构示意图；

图3为本实用新型下炉体和中间环俯视结构示意图；

图4为本实用新型上炉体提升状态结构示意图。

图中：1、单晶炉主体；2、上炉体；3、下炉体；4、第一炉盖；5、第二炉盖；6、支撑架；7、液压缸；8、安装架；9、锁扣；10、收纳槽；11、中间环；12、内腔；13、放料口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种具有调节内部高度的单晶炉主室，包括单晶炉主体1、上炉体2、下炉体3、第一炉盖4、第二炉盖5、支撑架6、液压缸7、安装架8、锁扣9、收纳槽10、中间环11、内腔12和放料口13，单晶炉主体1上设置有上炉体2，且上炉体2的顶部通过锁扣9与第一炉盖4相连接，并且第一炉盖4的中部开设有放料口13，同时放料口13的上固定有第二炉盖5，上炉体2的两侧焊接有支撑架6，且支撑架6的下方与液压缸7螺栓连接，并且液压缸7螺栓固定在安装架8上，同时上炉体2的下方设置有下炉体3，上炉体2侧壁的下端面开设有收纳槽10，且收纳槽10与中间环11相连接，并且中间环11与下炉体3焊接连接，同时下炉体3的下端位于安装架8上，上炉体2和下炉体3的内部均设置有内腔12。

上炉体2的安装结构为上下升降式结构，且上炉体2与下炉体3对应安装，这样设置起到对上炉体2进行上下升降的作用，进而实现对内腔12容积的控制。

支撑架6的个数一共设置有2个，且2个支撑架6之间的高度相同，这样设置起到使上炉体2通过支撑架6与液压缸7连接的作用，可方便对上炉体2高度的调节。

收纳槽10的槽宽与中间环11的厚度相同，且收纳槽10和中间环11的形状结构均为圆环状结构，这样设置可实现中间环11在收纳槽10内部的调节，进而是实现对中间环11的收纳。

中间环11的圆心与下炉体3的圆心相重合，且中间环11的高度小于收纳槽10的长度，这样设置起到使炉体2、下炉体3和中间环11三者的配合连接，实现单晶炉主体1内部容积的调节，增加投放量。

中间环11的侧壁位于下炉体3侧壁的中间部位，且中间环11侧壁的厚度小于下炉体3侧壁的厚度，这样设置起到使中间环11对上炉体2和下炉体3之间连接处进行密封的作用，避免上炉体2和下炉体3处的泄漏。

工作原理：在使用该具有调节内部高度的单晶炉主室时，如图1-3所示，当需要调节单晶炉主体1内部内腔12的容积时，启动液压缸7的上升开关，液压缸7向上顶起支撑架6，支撑架6带动上炉体2向上移动，在上炉体2向上移动的过程中，中间环11从上炉体2内部的收纳槽10内移出，待上炉体2向上移动到合适位置后，停止液压缸7的向上移动，即如图4状态所示，使用者可根据使用的需要，旋开打开第一炉盖4和第二炉盖5，方便对物料的控制，以上便完成该具有调节内部高度的单晶炉主室的一系列操作，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种具有调节内部高度的单晶炉主室，包括单晶炉主体(1)、第一炉盖(4)、第二炉盖(5)和安装架(8)，其特征在于：所述单晶炉主体(1)上设置有上炉体(2)，且上炉体(2)的顶部通过锁扣(9)与第一炉盖(4)相连接，并且第一炉盖(4)的中部开设有放料口(13)，同时放料口(13)的上固定有第二炉盖(5)，所述上炉体(2)的两侧焊接有支撑架(6)，且支撑架(6)的下方与液压缸(7)螺栓连接，并且液压缸(7)螺栓固定在安装架(8)上，同时上炉体(2)的下方设置有下炉体(3)，所述上炉体(2)侧壁的下端面开设有收纳槽(10)，且收纳槽(10)与中间环(11)相连接，并且中间环(11)与下炉体(3)焊接连接，同时下炉体(3)的下端位于安装架(8)上，所述上炉体(2)和下炉体(3)的内部均设置有内腔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种具有调节内部高度的单晶炉主室，其特征在于：所述上炉体(2)的安装结构为上下升降式结构，且上炉体(2)与下炉体(3)对应安装。

3.根据权利要求1所述的一种具有调节内部高度的单晶炉主室，其特征在于：所述支撑架(6)的个数一共设置有2个，且2个支撑架(6)之间的高度相同。

4.根据权利要求1所述的一种具有调节内部高度的单晶炉主室，其特征在于：所述收纳槽(10)的槽宽与中间环(11)的厚度相同，且收纳槽(10)和中间环(11)的形状结构均为圆环状结构。

5.根据权利要求1所述的一种具有调节内部高度的单晶炉主室，其特征在于：所述中间环(11)的圆心与下炉体(3)的圆心相重合，且中间环(11)的高度小于收纳槽(10)的长度。

6.根据权利要求1所述的一种具有调节内部高度的单晶炉主室，其特征在于：所述中间环(11)的侧壁位于下炉体(3)侧壁的中间部位，且中间环(11)侧壁的厚度小于下炉体(3)侧壁的厚度。

技术总结
本实用新型公开了一种具有调节内部高度的单晶炉主室，包括单晶炉主体、第一炉盖、第二炉盖和安装架，所述单晶炉主体上设置有上炉体，且上炉体的顶部通过锁扣与第一炉盖相连接，并且第一炉盖的中部开设有放料口，同时放料口的上固定有第二炉盖，所述上炉体的两侧焊接有支撑架，且支撑架的下方与液压缸螺栓连接，所述上炉体侧壁的下端面开设有收纳槽，且收纳槽与中间环相连接，并且中间环与下炉体焊接连接，同时下炉体的下端位于安装架上，所述上炉体和下炉体的内部均设置有内腔。该具有调节内部高度的单晶炉主室，在直拉式单晶炉底加装主室增高环，增高单晶炉热场高度，将石英坩埚高度增加，增大投料量。

技术研发人员：杨昊
受保护的技术使用者：弘元新材料(包头)有限公司
技术研发日：2019.11.27
技术公布日：2020.09.18