一种取段结晶工艺的制作方法

文档序号:26584191发布日期:2021-09-10 18:26阅读:59来源:国知局

1.本发明属于硅单晶制备技术领域,尤其是涉及一种取段结晶工艺。


背景技术:

2.现有的技术只能实现一部分自动化功能,只能自动将单晶提升至副室中,并不能自动下降坩埚,不能自动设定晶转、埚转,不能预制结晶功率,这些都需要手动操作,如果操作人员技能不熟练,没有及时降晶转,单晶炉会以断苞时的大晶转提升单晶,取段过程中会增加绞钢缆掉单晶风险;如果操作人员没有及时下降坩埚,可能会出现喷硅,造成生产异常;如果操作人员没有及时给定结晶功率,会导致温度偏高,无法满足复投条件,出现工时浪费的情况。


技术实现要素:

3.鉴于上述问题,本发明要解决的问题是提供一种取段结晶工艺,应用于直拉单晶取段复投阶段结晶时,自动化进行坩埚的位置、坩埚的转速、单晶的转速和结晶功率的调节,自动化程度高,降低操作人员的劳动强度,提高生产效率。
4.为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种取段结晶工艺,包括以下步骤,
5.下降坩埚;
6.降低单晶转速与坩埚转速;
7.预制结晶功率,控制坩埚内硅溶液的温度,便于复投原料熔化结晶。
8.进一步的,下降坩埚步骤中坩埚的下降距离为30-50mm。
9.进一步的,降低单晶转速与坩埚转速步骤中单晶的转速为2-5rap/min。
10.进一步的,降低单晶转速与坩埚转速步骤中单晶的转速为3-8rap/min
11.进一步的,预制结晶功率包括分别预制主加热器功率和底部加热器功率。
12.进一步的,主加热器功率为50-60kw。
13.进一步的,底部加热器功率为0-10kw。
14.进一步的,在坩埚的自动下降之前,还进行单晶的提升。
15.由于采用上述技术方案,在直拉单晶过程中的取段复投时,控制坩埚的位置、单晶的转速、坩埚的转速和结晶功率,实现取段复投结晶过程中自动化程度高,降低人员劳动强度,提高生产效率,避免出现由于液口距过近,导致喷硅异常,降低绞钢缆和掉单晶的风险,及时结晶,保证满足复投条件,保证了拉晶过程工艺标准的统一。
附图说明
16.图1是本发明的一实施例的流程图。
具体实施方式
17.下面结合附图和具体实施例对本实施例进行说明。
18.图1示出了本发明一实施例的工艺流程图,本实施例涉及一种取段结晶工艺,用于在直拉单晶过程中取段复投时使用,在取段复投时,进行自动控制坩埚的位置、单晶的转速和结晶功率,控制坩埚内的硅溶液的温度,控制取段结晶,避免出现由于液口距过近,导致喷硅异常,降低绞钢缆和掉单晶的风险,及时结晶,保证满足复投条件。
19.一种取段结晶工艺,应用于直拉单晶取段复投时,包括以下步骤:
20.下降坩埚,调节坩埚的位置,控制坩埚进行下降,避免出现由于液口距过近,导致喷硅异常;
21.降低单晶转速与坩埚转速,调节单晶的转速和坩埚的转速,降低单晶的转速和坩埚的转速,便于对坩埚内硅溶液加热,降低绞钢缆和掉单晶的风险;
22.预制结晶功率,调节加热器的功率,对坩埚内硅溶液进行加热,便于复投原料熔化结晶,及时结晶,保证满足复投条件,进而控制坩埚内硅溶液的温度,便于复投原料的熔化,进行再次拉晶。
23.在下降坩埚步骤之前,还进行单晶的提升。也就是,在取段复投时,首先提升单晶,将单晶提升至单晶炉副室内,便于进行取段复投。
24.上述的下降坩埚步骤中,坩埚的自动下降中坩埚的下降距离为30-50mm,根据实际需求进行选择,这里不做具体要求。
25.上述的降低单晶转速和坩埚转速的步骤中,单晶的转速为2-5rap/min,坩埚的转速为3-8rap/min,根据实际需求进行选择,这里不做具体要求。
26.上述的预制结晶功率包括分别预制主加热器功率和底部加热器功率,其中,主加热器功率为50-60kw,底部加热器功率为0-10kw,根据实际需求进行选择,这里不做具体要求。
27.实施例一
28.在取段复投时,将单晶提升至单晶炉的单晶副室内,下降坩埚,降低坩埚的位置,将坩埚下降30mm,同时,调节坩埚的转速和单晶的转速,降低坩埚转速和单晶转速,单晶的转速下降至2rap/min,坩埚的转速下降至3rap/min,预制结晶功率,将主加热器功率设定为50kw,将底部加热器功率设定为0kw,进行取段复投、结晶。
29.实施例二
30.在取段复投时,将单晶提升至单晶炉的单晶副室内,下降坩埚,降低坩埚的位置,将坩埚下降50mm,同时,调节坩埚的转速和单晶的转速,降低坩埚转速和单晶转速,单晶的转速下降至5rap/min,坩埚的转速下降至8rap/min,预制结晶功率,将主加热器功率设定为60kw,将底部加热器功率设定为10kw,进行取段复投、结晶。
31.实施例三
32.在取段复投时,将单晶提升至单晶炉的单晶副室内,下降坩埚,降低坩埚的位置,将坩埚下降40mm,同时,调节坩埚的转速和单晶的转速,降低坩埚转速和单晶转速,单晶的转速下降至4rap/min,坩埚的转速下降至6rap/min,预制结晶功率,将主加热器功率设定为55kw,将底部加热器功率设定为5kw,进行取段复投、结晶。
33.由于采用上述技术方案,在直拉单晶过程中的取段复投时,控制坩埚的位置、单晶
的转速、坩埚的转速和结晶功率,实现取段复投结晶过程中自动化程度高,降低人员劳动强度,提高生产效率,避免出现由于液口距过近,导致喷硅异常,降低绞钢缆和掉单晶的风险,及时结晶,保证满足复投条件,保证了拉晶过程工艺标准的统一。
34.以上对本发明的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。


技术特征:
1.一种取段结晶工艺,其特征在于:包括以下步骤,下降坩埚;降低单晶转速与坩埚转速;预制结晶功率,控制坩埚内硅溶液的温度,便于复投原料熔化结晶。2.根据权利要求1所述的取段结晶工艺,其特征在于:所述下降坩埚步骤中坩埚的下降距离为30-50mm。3.根据权利要求1或2所述的取段结晶工艺,其特征在于:所述降低单晶转速与坩埚转速步骤中单晶的转速为2-5rap/min。4.根据权利要求3所述的取段结晶工艺,其特征在于:所述降低单晶转速与坩埚转速步骤中单晶的转速为3-8rap/min。5.根据权利要求1或2或4所述的取段结晶工艺,其特征在于:所述预制结晶功率包括分别预制主加热器功率和底部加热器功率。6.根据权利要求5所述的取段结晶工艺,其特征在于:所述主加热器功率为50-60kw。7.根据权利要求6所述的取段结晶工艺,其特征在于:所述底部加热器功率为0-10kw。8.根据权利要求1所述的取段结晶工艺,其特征在于:在坩埚的自动下降之前,还进行单晶的提升。

技术总结
本发明提供一种取段结晶工艺,包括以下步骤,下降坩埚;降低单晶转速与坩埚转速;预制结晶功率,控制坩埚内硅溶液的温度,便于复投原料熔化结晶。本发明的有益效果是控制坩埚的位置、单晶的转速、坩埚的转速和结晶功率,实现取段复投结晶过程中自动化程度高,降低人员劳动强度,提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。


技术研发人员:赵国伟 徐强 高润飞 王林 谷守伟 王建平 周泽 杨志 吴树飞 刘振宇 刘学 刘有益 皇甫亚楠 杨瑞峰 郭志荣
受保护的技术使用者:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
技术研发日:2020.02.25
技术公布日:2021/9/9
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