一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法与流程

本发明涉及多晶合成炉温场测量的技术领域，具体为一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法。

背景技术：

现有技术中，对水平砷化镓多晶合成炉的温场测量(见图1)是通过炉体1的一侧端口，使用长短不一的测温传感器2，平行于温场的长度方向放置，实现测量炉内温场温度的目的，这样的测量方法操作难度大，由于长距离测温传感器受高温容易变形，导致测温不准，而且使用测量的材料浪费大等缺限。故急需一种既简单又实用的测量装置和方法。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明提供了一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。

一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。

其进一步特征在于：

所有的测量孔排布于所述炉体的同一侧壁上，确保测量的方便和安装的方便；

预先对组装的炉体的温区进行测量和计算、确定好对应的温场的测量位置，之后在确定好位置的所述炉体的其中一侧壁上开设对应的测量孔，插上对应的测温传感器后，在测温传感器和测量孔的连接处做好保护措施；

所述测量孔的孔径根据待安装的测温传感器的测温端的孔径设置，测量孔的孔径方便插装测问传感器的测温端即可；

优选地，所述测量孔的孔径为5mm～8mm。

一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量装置，其特征在于：其包括炉体，所述炉体的侧壁沿着其长度方向排布有若干测量孔，每个所述测量孔连通至所述炉体的内腔，对应的测温传感器插装于对应的测量孔，所述测温传感器的测温端内伸于所述内腔内布置，所述测温传感器的数据传输端位于所述炉体的外侧布置。

其进一步特征在于：所述炉体的侧壁内表面设置有对应的石英管，所述石英管沿着炉体的长度方向排布设置，所述测量孔位于所述石英管的上侧表面布置，所述测量孔沿着所述石英管的上表面的轨迹线排列布置，确保测温传感器不会和石英管干涉设置；

所有的测温传感器为相同的测温传感器。

采用上述技术方案后，由于通过在炉体的侧壁上根据温区排布对应的测量孔，然后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置，其使得传感器的长度可以缩减到原来的十分之一，大大节省了测温材料，且由于是通过插装方式进行安装测温传感器，所有的测温传感器可以是相同规格，使得安装方便快捷，且测温点的位置稳固可靠，不用再频繁拆插测温装置，既节省了操作时间，又降低了操作难度；综上，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。

附图说明

图1为现有的测量方法结构示意图；

图2为本发明的测量装置的结构示意图；

图中序号所对应的名称如下：

炉体1、侧壁2、石英管3、测量孔4、测温传感器5。

具体实施方式

一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法、见图2：其在炉体1的侧壁2上沿着其石英管3的排布方向顺次布置若干个测量孔4，每个测量孔4分别连通炉体1的内腔，之后将测温传感器5的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体1的对应内腔的位置。

所有的测量孔4排布于炉体1的同一侧壁2上，确保测量的方便和安装的方便；

预先对组装的炉体的温区进行测量和计算、确定好对应的温场的测量位置，之后在确定好位置的炉体1的其中一侧壁2上开设对应的测量孔4，插上对应的测温传感器5后，在测温传感器5和测量孔4的连接处做好保护措施；

测量孔4的孔径根据待安装的测温传感器5的测温端的孔径设置，测量孔4的孔径方便插装测问传感器的测温端即可；

具体实施时，测量孔4的孔径为5mm～8mm。

一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量装置，见图2：其包括炉体1，炉体1的侧壁2沿着其长度方向排布有若干测量孔4，每个测量孔4连通至炉体1的内腔，对应的测温传感器5插装于对应的测量孔4，测温传感器5的测温端内伸于内腔内布置，测温传感器5的数据传输端位于炉体1的外侧布置。

炉体1的侧壁2内表面设置有对应的石英管3，石英管3用于加热炉体的内腔，石英管3沿着炉体1的长度方向排布设置，测量孔4位于石英管3的上侧表面布置，测量孔4沿着石英管3的上表面的轨迹线排列布置，确保测温传感器5不会和石英管3干涉设置；

所有的测温传感器5是相同的测温传感器。

其工作原理如下：由于通过在炉体的侧壁上根据温区排布对应的测量孔，然后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置，其使得传感器的长度可以缩减到原来的十分之一，大大节省了测温材料，且由于是通过插装方式进行安装测温传感器，所有的测温传感器可以是相同规格，使得安装方便快捷，且测温点的位置稳固可靠，不用再频繁拆插测温装置，既节省了操作时间，又降低了操作难度；综上，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。

2.如权利要求1所述的一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：所有的测量孔排布于所述炉体的同一侧壁上。

3.如权利要求1所述的一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：预先对组装的炉体的温区进行测量和计算、确定好对应的温场的测量位置，之后在确定好位置的所述炉体的其中一侧壁上开设对应的测量孔，插上对应的测温传感器后，在测温传感器和测量孔的连接处做好保护措施。

4.如权利要求1所述的一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：所述测量孔的孔径根据待安装的测温传感器的测温端的孔径设置，测量孔的孔径方便插装测问传感器的测温端。

5.如权利要求4所述的一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：所述测量孔的孔径为5mm～8mm。

6.一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量装置，其特征在于：其包括炉体，所述炉体的侧壁沿着其长度方向排布有若干测量孔，每个所述测量孔连通至所述炉体的内腔，对应的测温传感器插装于对应的测量孔，所述测温传感器的测温端内伸于所述内腔内布置，所述测温传感器的数据传输端位于所述炉体的外侧布置。

7.如权利要求6所述的一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量装置，其特征在于：所述炉体的侧壁内表面设置有对应的石英管，所述石英管沿着炉体的长度方向排布设置，所述测量孔位于所述石英管的上侧表面布置，所述测量孔沿着所述石英管的上表面的轨迹线排列布置。

8.如权利要求6所述的一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量装置，其特征在于：所有的测温传感器为相同的测温传感器。

技术总结
本发明提供了一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。

技术研发人员：易德福
受保护的技术使用者：江西德义半导体科技有限公司
技术研发日：2020.06.11
技术公布日：2020.08.11