一种用于单晶硅片生产的烤箱的制作方法

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种用于单晶硅片生产的烤箱。

背景技术：

单晶硅片，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成；

传统的一种用于单晶硅片生产的烤箱存在以下不足；

目前，在对单晶硅片进行生产的过程中需要使用到烤箱，而现有的烤箱在使用时容易出现热量的流逝，容易增加生产成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅片生产的烤箱，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管，所述连接管顶端固定设置有风机，所述箱体顶端固定设置有滤框，所述滤框顶端与风机之间固定设置有管体，所述风机和加热机构均配设有开关。

优选的，所述固定杆顶端均固定设置有滑条，所述移动板底端前侧、后侧均开设有滑槽且滑条均与滑槽内部滑动连接。

优选的，所述箱体外部左侧开设有通槽且通槽内部固定设置有挡板。

优选的，所述箱体底端固定设置有排污头，所述风机左侧与箱体之间固定设置有固定架。

优选的，所述移动板顶端中部转槽，所述转槽内部固定设置有转块且转块顶端与放置板底端固定连接。

优选的，所述滤框内部顶端与底端均固定设置有滤板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间，再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热，且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部，再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可，这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本；

2、本实用新型同时通过上层与下层的滤板使箱体内部的热空气输送进管体内部前进行过滤，防止箱体内部热空气内部的杂质输送进管体内部，且在放置板顶端两侧的硅片进行换边加热时，且通过转槽和转块带动放置板进行转动调节从而把放置板进行换边加热从而防止加热均匀的情况出现。

附图说明

图1为本实用新型一种用于单晶硅片生产的烤箱整体结构示意图；

图2为本实用新型一种用于单晶硅片生产的烤箱中的图1中a处放大的结构图；

图3为本实用新型一种用于单晶硅片生产的烤箱中的图1中b处放大的结构图。

图中：1、箱体；2、加热机构；3、连接管；4、风机；5、管体；6、滤板；7、滤框；8、放置架；9、挡板；10、放置板；11、移动板；12、固定杆；13、排污头；14、转槽；15、转块；16、滑条。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体1，箱体1内部中下端前侧、后侧均固定安装有固定杆12，固定杆12顶端之间活动安装有移动板11，移动板11顶端固定安装有放置板10，放置板10顶端两侧均固定安装有若干放置架8，箱体1外部右侧中部固定安装有加热机构2，加热机构2在远离箱体1的一侧上端固定安装有连接管3，连接管3顶端固定安装有风机4，箱体1顶端固定安装有滤框7，滤框7顶端与风机4之间固定安装有管体5，风机4和加热机构2均配设有开关。

固定杆12顶端均固定安装有滑条16，移动板11底端前侧、后侧均开设有滑槽且滑条16均与滑槽内部滑动连接，这样便于通过滑槽和滑条16带动移动板11进行移动，便于进行放置和拿取硅片且移动时既灵活和稳定；箱体1外部左侧开设有通槽且通槽内部固定安装有挡板9，这样在对硅片进行放置和拿取时拉动挡板9往远离通槽的一侧移动，且使通槽呈通空结构进行拿取放置即可；箱体1底端固定安装有排污头13，风机4左侧与箱体1之间固定安装有固定架，这样便于通过固定架增加风机4安装时的稳固性；移动板11顶端中部转槽14，转槽14内部固定安装有转块15且转块15顶端与放置板10底端固定连接，这样在放置板10顶端两侧的硅片进行换边加热时，且通过转槽14和转块15带动放置板10进行转动调节从而把放置板10进行换边加热从而防止加热均匀的情况出现；滤框7内部顶端与底端均固定安装有滤板6，这样便于通过上层与下层的滤板6使箱体1内部的热空气输送进管体5内部前进行过滤，防止箱体1内部热空气内部的杂质输送进管体5内部。

工作原理：本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板10顶端两侧的放置架8之间，再同时启动加热机构2和风机4把加热机构2内部的热量输送进箱体1内部进行加热，且再通过滤框7、管体5把箱体1内部的气流输送进风机4内部，再通过风机4把连接管3、加热机构2回流到箱体1内部即可，这样便于减小箱体1内部的热量流失从而减小加热成本，同时通过上层与下层的滤板6使箱体1内部的热空气输送进管体5内部前进行过滤，防止箱体1内部热空气内部的杂质输送进管体5内部，且在放置板10顶端两侧的硅片进行换边加热时，且通过转槽14和转块15带动放置板10进行转动调节从而把放置板10进行换边加热从而防止加热均匀的情况出现。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆（12），所述固定杆（12）顶端之间活动设置有移动板（11），所述移动板（11）顶端固定设置有放置板（10），所述放置板（10）顶端两侧均固定设置有若干放置架（8），所述箱体（1）外部右侧中部固定设置有加热机构（2），所述加热机构（2）在远离箱体（1）的一侧上端固定设置有连接管（3），所述连接管（3）顶端固定设置有风机（4），所述箱体（1）顶端固定设置有滤框（7），所述滤框（7）顶端与风机（4）之间固定设置有管体（5），所述风机（4）和加热机构（2）均配设有开关。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述固定杆（12）顶端均固定设置有滑条（16），所述移动板（11）底端前侧、后侧均开设有滑槽且滑条（16）均与滑槽内部滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述箱体（1）外部左侧开设有通槽且通槽内部固定设置有挡板（9）。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述箱体（1）底端固定设置有排污头（13），所述风机（4）左侧与箱体（1）之间固定设置有固定架。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述移动板（11）顶端中部转槽（14），所述转槽（14）内部固定设置有转块（15）且转块（15）顶端与放置板（10）底端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述滤框（7）内部顶端与底端均固定设置有滤板（6）。

技术总结
本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管。本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间，再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热，且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部，再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可，这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本。

技术研发人员：王德喜
受保护的技术使用者：天津莱昌电子科技有限公司
技术研发日：2020.06.08
技术公布日：2021.01.05