一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮的制作方法

一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮
技术领域
1.本实用新型涉及清洗装置技术领域，尤其涉及一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮。


背景技术：

2.在目前的vgf砷化镓单晶生长中，需要将多晶料放置于pbn坩埚中进行生长，pbn坩埚是一种新型陶瓷材料，硬度大且脆，一般pbn坩埚的厚度在1mm左右，重量在100克左右且价格昂贵，在单晶生长的成本中占有比较重的比例，并且，pbn坩埚处理的好坏将直接影响单晶生长质量。为了控制成本及提升质量，需要不断优化pbn坩埚处理工艺，例如优化pbn坩埚清洗工艺，现有pbn坩埚清洗工艺多为自动清洗，自动清洗的原理是利用机械臂挂钩挂起花篮，然后按照设定好的程序依次升/降到槽内，它的优势是过程可以从上料台到下料台实现全自动清洗，节省人工和提升清洗效率及质量。
3.自动清洗的重要一环是承载物的设计，因为pbn坩埚质量轻，承载物降入槽内时，pbn坩埚浮在液体表面会有以下情况：1.pbn坩埚不能完全浸泡到液体导致不能完成清洗；2.pbn坩埚的籽晶腔会随着水流移动撞击到承载物而损坏；3.承载物太轻不能沉入设定的位置而导致自动清洗无法进行。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，解决pbn坩埚在清洗过程中不能完全浸泡在清洗液体内、pbn坩埚的籽晶腔会随着水流移动撞击到花篮而损坏以及花篮太轻不能沉入设定的位置而导致自动清洗无法进行的问题。
5.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，包括底板和用于固定pbn坩埚的固定件，所述底板上陈列分布有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有若干个矩形通槽，功能板中部固定连接有定位板，定位板上开设有长通槽和若干个半圆槽，长通槽和半圆槽相通；固定件包括承重柱和固定柱，承重柱的两端均固定连接固定柱，长通槽的宽度与半圆槽的直径均小于承重柱的直径且等于固定柱的直径，固定件可在长通槽内自由滑动，固定柱可卡设在半圆槽内；圆形通孔和矩形通槽方便清洗液进入和排出，使用时，pbn坩埚卡设在两个固定件中间，使pbn坩埚不会漂浮和移动，还额外增加花篮整体的重量，防止花篮因质量轻而漂浮无法定位。
6.进一步，所述承重柱的两端均开设有螺纹孔，固定柱为外六角螺丝，外六角螺栓螺纹连接在螺纹孔内，使得承重柱和固定柱可拆卸，方便清洗和更换。
7.进一步，所述固定柱的一端固定连接有把手，把手的尺寸比承重柱的尺寸大，且把手上设有防滑纹，使用时手动的转动把手，使固定柱与承重柱螺纹连接紧固。
8.进一步，所述承重柱上套设有橡胶套，承重柱的数量为3
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4个，当花篮内放置的pbn坩埚较少时，可放置4个承重柱，使得整体的重量加大，能够保证花篮沉底，便于自动清洗。
9.进一步，所述箱板上设置有提手，所述提手的形状为正三棱柱，可以方便机械臂挂
11为外六角螺丝，承重柱10的两端均开设有螺纹孔101，外六角螺栓螺纹连接在螺纹孔内，承重柱10的直径为35毫米，长度为278毫米，承重柱10的重量为0.8千克，固定柱11的直径为10毫米，长度为30毫米，固定柱11既可在长通槽7内自由滑动，固定柱11也可卡设在半圆槽8内；固定柱11的一端焊接有把手13，把手13的尺寸比承重柱10的尺寸大，且把手 13上设有防滑纹，使用时手动的转动把手13，使固定柱11与承重柱10螺纹连接。
28.如图6
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图7所示，半圆槽8包括第一半圆槽801、第二半圆槽802、第三半圆槽803、第四半圆槽804、第五半圆槽805和第六半圆槽806，当清洗的pbn坩埚14数量为1
‑
3个时，两个固定件9分别卡设在第三半圆槽803和第四半圆槽804内，pbn坩埚14卡设在两个固定件9 中间，另外在分别放置一个固定件9在第一半圆槽801和第六半圆槽806内；当清洗的pbn 坩埚14数量为4
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6个时，两个固定件9分别卡设在第二半圆槽802和第五半圆槽805内，另外在放置一个pbn坩埚14在第一半圆槽801内；当清洗的pbn坩埚14数量为7
‑
9个时，两个固定件9分别卡设在第一半圆槽801和第六半圆槽806内，pbn坩埚14卡设在两个固定件9 中间。
29.本实用新型的使用方法如下：
30.使用时，将需要清洗的pbn坩埚14放置在花篮内，滑动定位板6上的固定件9，将固定件9滑动到相应的半圆槽8内，使pbn坩埚14卡设在两个固定件9中间，机械臂挂钩贴合提手12将整个花篮提起，将花篮放置到清洗液中，带pbn坩埚14自动清洗完毕后，机械臂将花篮从清洗液中取出，将固定件9往上提移出半圆槽8，滑动到长通槽7的边缘，取出pbn坩埚 14。
31.当清洗的pbn坩埚14数量为1
‑
3个时，两个固定件9分别卡设在第三半圆槽803和第四半圆槽804内，pbn坩埚14卡设在两个固定件9中间，另外在分别放置一个固定件9在第一半圆槽801和第六半圆槽806内；
32.当清洗的pbn坩埚14数量为4
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6个时，两个固定件9分别卡设在第二半圆槽802和第五半圆槽805内，另外在放置一个固定件19在第一半圆槽801内；
33.当清洗的pbn坩埚14数量为7
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9个时，两个固定件9分别卡设在第一半圆槽801和第六半圆槽806内，pbn坩埚14卡设在两个固定件9中间。
34.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。


技术特征：
1.一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，包括底板，其特征在于：还包括用于固定pbn坩埚的固定件，所述底板上阵列分布有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有若干个矩形通槽，功能板中部固定连接有定位板，定位板上开设有长通槽和若干个半圆槽，长通槽和半圆槽相通；固定件包括承重柱和固定柱，承重柱的两端均固定连接固定柱，长通槽的宽度与半圆槽的直径均小于承重柱的直径且等于固定柱的直径，承重柱与固定柱连接成一体后可在长通槽内自由滑动，固定柱可卡设在半圆槽内。2.根据权利要求1所述的一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述承重柱的两端均开设有螺纹孔，固定柱为外六角螺丝，外六角螺栓螺纹连接在螺纹孔内。3.根据权利要求2所述的一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述固定柱的一端固定连接有把手，把手的尺寸比承重柱的尺寸大，把手上设有防滑纹。4.根据权利要求3所述的一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述承重柱上套设有橡胶套，承重柱的数量为3
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4个。5.根据权利要求4所述的一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述箱板上设置有提手，所述提手的形状为正三棱柱，固定柱为外六角固定柱。6.根据权利要求5所述的一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述底板、箱板和功能板分别为pvc塑料底板、pvc塑料箱板、pvc塑料功能板。7.根据权利要求6所述的一种用于pbn坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述承重柱和固定柱分别为pvc塑料承重柱、pvc塑料固定柱。

技术总结
本实用新型涉及清洗装置技术领域，公开了一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮，包括底板和用于固定PBN坩埚的固定件，所述底板上均匀开设有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有若干个矩形通槽，功能板中部固定连接有定位板，定位板上开设有长通槽和若干个半圆槽，长通槽和半圆槽相通；固定件包括承重柱和固定柱，承重柱的两端均固定连接固定柱。解决了PBN坩埚在清洗过程中不能完全浸泡在清洗液体内、PBN坩埚的籽晶腔会随着水流移动撞击到花篮而损坏以及花篮太轻不能沉入设定的位置而导致自动清洗无法进行的问题。进行的问题。进行的问题。


技术研发人员：肖雨
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2020.11.04
技术公布日：2021/12/10