一种单晶炉底部加热器的制作方法

1.本实用新型属于单晶炉领域，具体是一种单晶炉底部加热器。


背景技术：

2.硅单晶炉热场系统对单晶成品率、拉速及单晶棒质量都有很大的影响，而对硅单晶生产企业来说，提高硅材料利用率，降低单位能耗，提高生产效率，降低生产成本一直是企业追求的目标；因此，热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。
3.众所周知，硅棒越大，产品品质就越好，单位成本也随之降低；但是，增加硅棒尺寸，热场系统的尺寸也相应增加；为此，目前运行的大尺寸的单晶炉都在尝试采用双加热结构；
4.目前，底部加热器形状固定，均采用实心化的设计，造成整体用材较多的现象；同时整个加热器的成本较高，无法确保加热器各个位置的温度分布均匀。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种单晶炉底部加热器。
6.为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种单晶炉底部加热器，包括：
8.发热体，其包含两组对称的蛇形体，且两组蛇形体之间通过设置紧固件连接，所述蛇形体的内部开设有截面呈圆弧状的内槽；和
9.两组电极接头，其设置于发热体的两端，并与外界电源电性连接。
10.优选的，两组所述蛇形体中槽体两端均设为弯部，且弯部的边缘为与中心圆同心的圆弧，且中心圆为紧固件内壁。
11.优选的，两组所述蛇形体最下方弯部的边缘圆心在中心圆垂直对称轴偏移20
°
的直线上，所述蛇形体最上方的弯部的弧心在中心圆水平对称轴偏移17
°
的直线上。
12.优选的，两组所述蛇形体的弯部边缘同心。
13.优选的，所述电极接头的中部开孔，且电极接头和紧固件均由石墨材料或碳/碳复合材料制成。
14.优选的，两组所述蛇形体的两端均不会发生接触。
15.与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶炉底部加热器，具有如下有益效果：
16.本实用新型整体结构设计简单，加工方便，成本低；
17.同时整体结构设计对称分布的蛇形体可是整体加热器具有强度高、发热均匀以及高温电阻性能稳定的特点。
附图说明
18.图1是本实用新型的整体结构正视图;
19.图2是本实用新型的整体结构示意图。
20.附图标记：1、电极接头；2、蛇形体；3、内槽；4、紧固件。
具体实施方式
21.以下结合附图1，进一步说明本实用新型一种单晶炉底部加热器的具体实施方式。本实用新型一种单晶炉底部加热器不限于以下实施例的描述。
22.本实施例给出一种单晶炉底部加热器的具体结构，如图1
‑
2所示，一种单晶炉底部加热器，包括：
23.发热体，其包含两组对称的蛇形体2，且两组蛇形体2之间通过设置紧固件4连接，蛇形体2的内部开设有截面呈圆弧状的内槽3；和
24.两组电极接头1，其设置于发热体的两端，并与外界电源电性连接。
25.本实用新型整体结构设计简单，加工方便，成本低；
26.同时整体结构设计对称分布的蛇形体2可是整体加热器具有强度高、发热均匀以及高温电阻性能稳定的特点。
27.如图1所示，两组蛇形体2中槽体3两端均设为弯部，且弯部的边缘为与中心圆同心的圆弧，且中心圆为紧固件4内壁。
28.如图1和2所示，两组蛇形体2最下方弯部的边缘圆心在中心圆垂直对称轴偏移20
°
的直线上，蛇形体2最上方的弯部的弧心在中心圆水平对称轴偏移17
°
的直线上。
29.如图1和2所示，两组蛇形体2的弯部边缘同心。
30.如图1所示，电极接头1的中部开孔，且电极接头1和紧固件4均由石墨材料或碳/碳复合材料制成。
31.另外的，为使整体加热器加工方便，降低成本，本实用新型中的发热体和电极接头1采用分体结构，其中的发热体、电极接头1以及紧固件4均由碳/碳复合材料制成，
32.该处的碳复合材料具体为：
33.以碳纤维(织物)或碳化硅陶瓷纤维(织物)为增强体，以碳为基体的复合材料的总称。
34.如图1和2所示，两组蛇形体2的两端均不会发生接触。
35.以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种单晶炉底部加热器，其特征在于，包括：发热体，其包含两组对称的蛇形体（2），且两组蛇形体（2）之间通过设置紧固件（4）连接，所述蛇形体（2）的内部开设有截面呈圆弧状的内槽（3）；和两组电极接头（1），其设置于发热体的两端，并与外界电源电性连接。2.如权利要求1所述的一种单晶炉底部加热器，其特征在于：两组所述蛇形体（2）中槽体（3）两端均设为弯部，且弯部的边缘为与中心圆同心的圆弧，且中心圆为紧固件（4）内壁。3.如权利要求2所述的一种单晶炉底部加热器，其特征在于：两组所述蛇形体（2）最下方弯部的边缘圆心在中心圆垂直对称轴偏移20
°
的直线上，所述蛇形体（2）最上方的弯部的弧心在中心圆水平对称轴偏移17
°
的直线上。4.如权利要求1所述的一种单晶炉底部加热器，其特征在于：两组所述蛇形体（2）的弯部边缘同心。5.如权利要求1所述的一种单晶炉底部加热器，其特征在于：所述电极接头（1）的中部开孔，且电极接头（1）和紧固件（4）均由石墨材料或碳/碳复合材料制成。6.如权利要求1所述的一种单晶炉底部加热器，其特征在于：两组所述蛇形体（2）的两端均不会发生接触。

技术总结
一种单晶炉底部加热器，包括：发热体，其包含两组对称的蛇形体，且两组蛇形体之间通过设置紧固件连接，所述蛇形体的内部开设有截面呈圆弧状的内槽；和两组电极接头，其设置于发热体的两端，并与外界电源电性连接；其技术要点为，本实用新型整体结构设计简单，加工方便，成本低；同时整体结构设计对称分布的蛇形体可是整体加热器具有强度高、发热均匀以及高温电阻性能稳定的特点。性能稳定的特点。性能稳定的特点。


技术研发人员：裴洋
受保护的技术使用者：西安美兰德新材料有限责任公司
技术研发日：2021.01.20
技术公布日：2021/10/8