一种安瓿瓶装炉装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种安瓿瓶装炉装置。


背景技术：

2.现有的磷化铟多晶生产一般采用水平布里奇曼法，该方法是在1200℃的高温下合成磷化铟多晶原料，磷化铟多晶生长炉是用来合成磷化铟多晶的主要设备。磷化铟多晶生长炉内设有水平放置的圆柱形炉膛管，炉膛管为石英套件。在装炉时，需要两人把装有物料的安瓿瓶水平装入炉膛管内，但由于安瓿瓶尾部重量远大于头部，在装炉的过程当中，安瓿瓶不可避免的发生抖动，抖动时可能会碰撞到炉膛管，安瓿瓶与炉膛管的碰撞极易造成炉膛管破裂。并且，安瓿瓶内的物料并非固定的，其有着严格的摆放位置，若由于人为因素，在安瓿瓶的搬运过程中极有可能较大改变原先物料的摆放位置，因此现有的装炉方式还存在准确度低、不安全，且浪费人力的问题。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种安瓿瓶装炉装置，能够平稳的将装有物料的安瓿瓶放置于磷化铟多晶生长炉的炉膛管内，避免安瓿瓶与炉膛管的碰撞和安瓿瓶内物料的位置改变问题。
4.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：
5.一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：包括上、下平行设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第二支撑板的下侧面上设置有移动机构；所述第一支撑板的四角上设置有第一通孔，每个所述第一通孔内均活动的穿设有螺纹杆，所述螺纹杆的端部与第二支撑板固定连接，所述第一支撑板上侧的螺纹杆上均螺纹连接有第一螺母，所述第一支撑板下侧的螺纹杆上均螺纹连接有第二螺母；所述第一支撑板远离第二支撑板的一侧面上固定连接有条形块，所述条形块远离第一支撑板的一侧设置有半圆柱槽。
6.进一步，所述移动机构包括四个支脚，所述支脚固定连接在第二支撑板远离螺纹杆的一侧，每个所述支脚远离第二支撑板的一端上均设置有滚轮。
7.进一步，每个所述滚轮上均设置有刹车固定器。当需要移动时，推动本装炉装置，滚轮转动，将装炉装置移动到指定位置，然后利用刹车固定器将滚轮固定。
8.进一步，所述第一支撑板上安装有气泡水平仪。在调节第一支撑板的水平度时，可以根据气泡水平仪，清楚的看出第一支撑板的水平度，更加的方便。
9.进一步，所述螺纹杆远离第二支撑板的一端上固定连接有推杆。在移动时，操作人员可以用手握住推杆进行推动，用来控制装炉装置的方向。
10.进一步，所述第一支撑板的中部开设有矩形槽，所述条形块远离半圆柱槽的一侧设置有固定块，所述固定块卡设在矩形槽内。如此，可以实现条形块的可拆卸连接，当需要放置不同大小的安瓿瓶时，可以更换具有不同大小半圆柱槽的条形块，实用性更强。
11.进一步，所述第一通孔为条形槽，所述第一通孔的两侧均为半圆形，所述条形槽的
宽度等于螺杆的最大直径。如此，可以方便第一支撑板在螺杆上的上下移动。
12.本实用新型的有益效果：
13.本实用新型使用时，将安瓿瓶放置于条形块的半圆柱槽内，然后将物料装置于安瓿瓶内，将本装炉装置移动到多晶生长炉的炉膛管处，通过旋转第二螺母，并观察气泡水平仪，调整第一支撑板的高度和水平度，使得位于半圆柱槽内的安瓿瓶完全对准多晶生长炉的炉膛管，实现半圆柱槽与炉膛管的无缝对接，然后旋转第一螺母，将第一支撑板固定，最后操作者用手轻轻推安瓿瓶的尾部，即可完成装炉操作，避免了安瓿瓶的抖动，从而避免了安瓿瓶碰撞炉膛管的风险，也可以避免安瓿瓶内物料的位置改变，达到了精准安全的装炉效果。
附图说明
14.图1是本实用新型一种安瓿瓶装炉装置的立体结构示意图；
15.图2是本实用新型一种安瓿瓶装炉装置的正视结构示意图；
16.图3为图1中第一支撑板的结构示意图；
17.图4为图1中条形块的结构示意图。
18.其中，第一支撑板1、第二支撑板2、支脚3、滚轮4、第一通孔5、螺纹杆6、第一螺母7、第二螺母8、条形块9、半圆柱槽10、矩形槽11、固定块12、气泡水平仪13、推杆14。
具体实施方式
19.以下将结合附图对本实用新型进行详细说明：
20.如图1～图3所示
21.一种安瓿瓶装炉装置，包括上、下平行设置的第一支撑板1和第二支撑板2，第二支撑板2的下侧面上设置有移动机构，本实施例的移动机构包括四个支脚3，四个支脚3分别焊接在第二支撑板2的下侧面的四个角上，每个支脚3的下端上均安装有滚轮4，当装炉装置推到指定位置后，为固定滚轮4避免再移动，每个滚轮4上均设置有刹车固定器，滚轮4和刹车固定器均为现有常规技术，此处不在赘述。
22.第一支撑板1的四角上开设有第一通孔5，每个第一通孔5内均活动的穿设有螺纹杆6，螺纹杆6的下端部与第二支撑板2的上侧面焊接在一起，第一支撑板1上侧的螺纹杆6上均螺纹连接有第一螺母7，第一支撑板1下侧的螺纹杆6上均螺纹连接有第二螺母8；第一支撑板1的上侧面上可拆卸的固定连接有条形块9，条形块9的上侧面上一体成型的设置有用于放置安瓿瓶的半圆柱槽10，其中第一支撑板1的中部开设有矩形槽11，条形块9的下侧面上焊接有固定块12，固定块12卡设在矩形槽11内，从而实现条形块9的拆卸连接。本实施例的第一通孔5为条形槽，第一通孔5的两侧均为半圆形，条形槽的宽度等于螺杆的最大直径。
23.第一支撑板1上设置有十字形槽，十字形槽内固定安装有气泡水平仪13；螺纹杆6的上端一体成型有推杆14。
24.本实用新型的使用方法如下：
25.在使用时，将安瓿瓶放置于条形块9的半圆柱槽10内，然后将物料装置于安瓿瓶内，操作者用手握住推杆14进行推动本装炉装置，将通过滚轮4的滚动，移动到多晶生长炉的炉膛管处，安瓿瓶的头部朝向炉膛管，通过旋转第二螺母8，并观察气泡水平仪13，调整第
一支撑板1的高度和水平度，使得位于半圆柱槽10内的安瓿瓶完全对准多晶生长炉的炉膛管，实现半圆柱槽10与炉膛管的无缝对接，再利用刹车固定器将滚轮4固定，避免装炉装置再移动。
26.然后旋转第一螺母7，第一螺母7向下运动，与第二螺母8配合，将第一支撑板1固定稳定，最后操作者用手轻轻推安瓿瓶的尾部，将安瓿瓶平推到多晶生长炉的炉膛管内，即可完成装炉操作，避免了安瓿瓶的抖动，从而避免了安瓿瓶碰撞炉膛管的风险，也可以避免安瓿瓶内物料的位置改变，达到了精准安全的装炉效果。
27.当需要放置不同大小的安瓿瓶时，可以将条形块9从第一支撑板1上的矩形槽11上取出，更换合适大小半圆柱槽10的条形块9即可，非常方便。
28.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。


技术特征：
1.一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：包括上、下平行设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第二支撑板的下侧面上设置有移动机构；所述第一支撑板的四角上设置有第一通孔，每个所述第一通孔内均活动的穿设有螺纹杆，所述螺纹杆的端部与第二支撑板固定连接，所述第一支撑板上侧的螺纹杆上均螺纹连接有第一螺母，所述第一支撑板下侧的螺纹杆上均螺纹连接有第二螺母；所述第一支撑板远离第二支撑板的一侧面上固定连接有条形块，所述条形块远离第一支撑板的一侧设置有半圆柱槽。2.根据权利要求1所述的一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：所述移动机构包括四个支脚，所述支脚固定连接在第二支撑板远离螺纹杆的一侧，每个所述支脚远离第二支撑板的一端上均设置有滚轮。3.根据权利要求2所述的一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：每个所述滚轮上均设置有刹车固定器。4.根据权利要求1所述的一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：所述第一支撑板上安装有气泡水平仪。5.根据权利要求1所述的一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：所述螺纹杆远离第二支撑板的一端上固定连接有推杆。6.根据权利要求1至5任一权利要求所述的一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：所述第一支撑板的中部开设有矩形槽，所述条形块远离半圆柱槽的一侧设置有固定块，所述固定块卡设在矩形槽内。7.根据权利要求6所述的一种安瓿瓶装炉装置，其特征在于：所述第一通孔为条形槽，所述第一通孔的两侧均为半圆形，所述条形槽的宽度等于螺杆的最大直径。

技术总结
本实用新型涉及半导体生产技术领域，公开了一种安瓿瓶装炉装置，包括上、下平行设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第二支撑板的下侧面上设置有移动机构；所述第一支撑板的四角上设置有第一通孔，每个所述第一通孔内均活动的穿设有螺纹杆，所述螺纹杆的端部与第二支撑板固定连接，所述第一支撑板上侧的螺纹杆上均螺纹连接有第一螺母，所述第一支撑板下侧的螺纹杆上均螺纹连接有第二螺母；所述第一支撑板远离第二支撑板的一侧面上固定连接有条形块，所述条形块远离第一支撑板的一侧设置有半圆柱槽。本实用新型能够平稳的将装有物料的安瓿瓶放置于磷化铟多晶生长炉的炉膛管内，避免安瓿瓶与炉膛管的碰撞和安瓿瓶内物料的位置改变问题。变问题。变问题。


技术研发人员：陈炜浓 曾志勇 李勇
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.05.24
技术公布日：2022/1/14