一种晶圆棒中空石英焊接治具的制作方法

1.本实用新型主要涉及半导体晶元焊接治具技术领域，尤其涉及一种晶圆棒中空石英焊接治具。


背景技术：

2.随着科学技术的飞速发展，石英在半导体设备中起到桥梁作用，但是石英的生产、焊接技术主要有国外控制。目前现有技术在焊接石英时，都是由人工拿着焊接，质量的好坏，都取决于操作人员的技术，且焊接时会遇到以下几个问题：1、焊接温度高达1750度容易伤到人。 2、焊接精度低。3、容易破损等一系列问题。


技术实现要素：

3.针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种晶圆棒中空石英焊接治具，用于对中空石英进行固定，方便其余石墨进行焊接。
4.本实用新型提供一种晶圆棒中空石英焊接治具，包括固定底座9，石英固定组件和石英管2；
5.所述固定底座9呈直角设置，承载石英管2及石英固定组件；
6.所述石英固定组件包括设置在所述固定底座9顶部的石英定位块1，设置在所述固定底座9垂直面的压板3及石英支撑杆6；所述石英定位块1和压板3配合将所述石英管2固定在所述固定底座9的垂直面上；所述固定底座9的水平面上还固定设置有石墨4；所述石墨4固定设置在所述石英管2的正下方；所述石英支撑杆6固定设置在所述石墨4上表面，支撑所述石英管2的端部，配合石英定位块1 和压板3固定石英管2。
7.优选的，还包括固定板8；所述固定板8固定设置在所述固定底座9的垂直面上。
8.优选的，所述固定板8的顶部还设置有凹槽；所述石英定位块1 设置在所述凹槽内。
9.优选的，还包括有压板座7；所述压板座7设置在所述固定板8 的远离凹槽的端部；所述压板3固定在所述压板座7上；所述压板座 7还设置有圆弧凹面，与压板3配合固定石英管2。
10.优选的，所述石英支撑杆6设置有三个；三个所述石英支撑杆6 以所述石英管2为圆心呈圆周均布。
11.优选的，还包括有定位块5；所述定位块5设置在石墨4的上表面，与所述石英支撑杆6配合。
12.优选的，所述压板3通过螺栓固定在所述压板座7上。
13.本实用新型的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度。同时也防止因温度高伤到人。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图中，
16.1、石英定位块；2、石英管；3、压板；4、石墨；5、定位块；6、石英支撑杆；7、压板座；8、固定板；9、固定底座。
具体实施方式
17.下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。
18.本实用新型提供一种晶圆棒中空石英焊接治具，包括固定底座9，石英固定组件和石英管2；
19.所述固定底座9呈直角设置，承载石英管2及石英固定组件；
20.所述石英固定组件包括设置在所述固定底座9顶部的石英定位块1，设置在所述固定底座9垂直面的压板3及石英支撑杆6；所述石英定位块1和压板3配合将所述石英管2固定在所述固定底座9的垂直面上；所述固定底座9的水平面上还固定设置有石墨4；所述石墨4固定设置在所述石英管2的正下方；所述石英支撑杆6固定设置在所述石墨4上表面，支撑所述石英管2的端部，配合石英定位块1 和压板3固定石英管2。
21.本实施例中优选的，还包括固定板8；所述固定板8固定设置在所述固定底座9的垂直面上。
22.设置上述结构，用于固定石英管2。
23.本实施例中优选的，所述固定板8的顶部还设置有凹槽；所述石英定位块1设置在所述凹槽内。
24.本实施例中优选的，还包括有压板座7；所述压板座7设置在所述固定板8的远离凹槽的端部；所述压板3固定在所述压板座7上；所述压板座7还设置有圆弧凹面，与压板3配合固定石英管2。
25.设置上述结构，压板3和压板座7组件配合石英定位块1将石英管2固定在固定板8上；压板3和压板座7组件与石英定位块1分设在固定板8的两端，使石英管2固定更加稳定。
26.本实施例中优选的，所述石英支撑杆6设置有三个；三个所述石英支撑杆6以所述石英管2为圆心呈圆周均布。
27.设置上述结构，使石英管2均匀受力，提高其固定的稳定性。
28.本实施例中优选的，还包括有定位块5；所述定位块5设置在石墨4的上表面，与所述石英支撑杆6配合。
29.设置上述结构，用于固定石英支撑杆6。
30.本实施例中优选的，所述压板3通过螺栓固定在所述压板座7上。
31.当需要对石英管2进行焊接时，先打开压板3和石英定位块1，将石英管2安置在压板座7的弧形凹面内，锁紧压板3和石英定位块 1，再安装石英支撑杆6，锁紧定位块5，开始焊接。
32.需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型
和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
33.以上所述的本实用新型实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆棒中空石英焊接治具，包括固定底座(9)，石英固定组件和石英管(2)；其特征在于，所述固定底座(9)呈直角设置，承载石英管(2)及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座(9)顶部的石英定位块(1)，设置在所述固定底座(9)垂直面的压板(3)及石英支撑杆(6)；所述石英定位块(1)和压板(3)配合将所述石英管(2)固定在所述固定底座(9)的垂直面上；所述固定底座(9)的水平面上还固定设置有石墨(4)；所述石墨(4)固定设置在所述石英管(2)的正下方；所述石英支撑杆(6)固定设置在所述石墨(4)上表面，支撑所述石英管(2)的端部，配合石英定位块(1)和压板(3)固定石英管(2)。2.根据权利要求1所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：还包括固定板(8)；所述固定板(8)固定设置在所述固定底座(9)的垂直面上。3.根据权利要求2所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：所述固定板(8)的顶部还设置有凹槽；所述石英定位块(1)设置在所述凹槽内。4.根据权利要求3所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：还包括有压板座(7)；所述压板座(7)设置在所述固定板(8)的远离凹槽的端部；所述压板(3)固定在所述压板座(7)上；所述压板座(7)还设置有圆弧凹面，与压板(3)配合固定石英管(2)。5.根据权利要求4所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：所述石英支撑杆(6)设置有三个；三个所述石英支撑杆(6)以所述石英管(2)为圆心呈圆周均布。6.根据权利要求5所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：还包括有定位块(5)；所述定位块(5)设置在石墨(4)的上表面，与所述石英支撑杆(6)配合。7.根据权利要求6所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：所述压板(3)通过螺栓固定在所述压板座(7)上。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆棒中空石英焊接治具，用于对中空石英进行固定，方便其余石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的石英定位块，设置在所述固定底座垂直面的压板及石英支撑杆；所述定位块和压板配合将所述石英管固定在所述固定底座的垂直面上；所述固定底座的水平面上还固定设置有石墨；所述石墨固定设置在所述石英管的正下方；本实用新型的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度。同时也防止因温度高伤到人。同时也防止因温度高伤到人。同时也防止因温度高伤到人。


技术研发人员：程宪良 钟明军
受保护的技术使用者：无锡诺莱德智能科技有限公司
技术研发日：2021.06.28
技术公布日：2022/3/11