臭氧产生装置的制作方法

本发明涉及一种臭氧产生装置。

背景技术：

1、产生臭氧气体的臭氧产生装置广泛应用于半导体的制造工艺等。在专利文献1的臭氧产生装置中，记载了通过反馈控制来控制臭氧产生装置的电源输出这一点。

2、专利文献1：日本专利公报第4085043号

技术实现思路

1、－发明要解决的技术问题－

2、在如专利文献1记载的反馈控制中，比较设定臭氧浓度和检测臭氧浓度，使臭氧产生装置的电源输出进行增减，以使检测臭氧浓度接近设定臭氧浓度。但是，在没有充分考虑流过臭氧产生部的气体流量的情况下，有时不能通过反馈控制将电源输出调节为最佳。

3、具体而言，在气体流量比较小的条件下，相对于电源输出的变化，臭氧浓度大幅变化。因此，在这样的条件下，臭氧浓度容易随着电源输出的调节而波动。在气体流量比较大的条件下，相对于电源输出的变化，臭氧浓度不怎么变化。因此，在这种条件下，电源输出的调节量不充分，臭氧浓度不容易接近设定臭氧浓度。因此，在以往的反馈控制中，无法使臭氧浓度迅速地收敛于设定臭氧浓度。

4、本公开正是着眼于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种臭氧产生装置，其通过反馈控制，能够与气体流量的变化无关地使臭氧浓度迅速地收敛于设定臭氧浓度。

5、－用以解决技术问题的技术方案－

6、未来解决上述问题，在本发明的臭氧产生装置中，执行反馈控制，在反馈控制中，根据臭氧产生部的设定臭氧浓度、表示所述臭氧产生部的气体流量的指标、所述检测臭氧浓度以及多个函数，来求出与所述设定臭氧浓度对应的第一电源输出和与所述检测臭氧浓度对应的第二电源输出，根据该第一电源输出和所述第二电源输出之差，来控制所述电源输出。

7、这样一来，即使臭氧产生部的气体流量发生变化，也能够根据多个函数求出与气体流量对应的电源输出的最佳调节量。因此，能够使检测臭氧浓度迅速地收敛于设定臭氧浓度。

8、优选为：存储部存储与互不相等的气体流量对应的三个以上的函数。

9、通过使用与气体流量对应的三个以上的函数，能够跟踪更细微的气体流量的变化。这样一来，能够求出电源输出的更适当的调节量。

10、优选为：多个函数分别是将表示电源输出和与该电源输出对应的臭氧浓度的多个点线性地连接而成的函数。

11、这样一来，能够实现函数的简化，能够减轻伴随函数的创建所需的运算处理负荷。

12、如果第一条件和第二条件中的至少一个成立，则控制装置执行前馈控制，在前馈控制中控制电源输出以使电源输出接近第一电源输出，第一条件为表示气体流量的指标发生规定值以上的变化的条件，第二条件为设定臭氧浓度发生规定值以上的变化的条件。

13、如果第一条件或第二条件成立，则检测臭氧浓度与设定臭氧浓度之差变大，在上述反馈控制中，检测臭氧浓度有可能难以收敛于设定臭氧浓度。如果第一条件和第二条件中的至少一个成立，则通过使电源输出接近与设定臭氧浓度对应的第一电源输出，能够使检测臭氧浓度迅速接近设定臭氧浓度。

14、优选为：控制装置执行自动取得运转，在自动取得运转中，通过一边改变气体流量一边检测检测臭氧浓度，来自动取得多个函数。

15、通过该自动取得运转，在现场安装臭氧产生装置后，能够自动地创建多个函数。

16、－发明的效果－

17、根据本发明，能够提供一种通过反馈控制能够使臭氧浓度迅速收敛的臭氧产生装置。

技术特征：

1.一种臭氧产生装置，包括电源部、和根据该电源部的电源输出而生成臭氧气体的臭氧产生部，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的臭氧产生装置，其特征在于：

3.根据权利要求1或2所述的臭氧产生装置，其特征在于：

4.根据权利要求1到3中任一项权利要求所述的臭氧产生装置，其特征在于：

5.根据权利要求1到4中任一项权利要求所述的臭氧产生装置，其特征在于：

技术总结
控制装置具有存储部，该存储部根据臭氧产生部中的不同的气体流量，存储表示电源输出和与电源输出对应的臭氧浓度之间的关系的两个以上的函数。控制装置根据臭氧产生部的设定臭氧浓度、表示臭氧产生部的气体流量的指标、检测臭氧浓度以及多个所述函数，来求出与设定臭氧浓度对应的第一电源输出和与检测臭氧浓度对应的第二电源输出，根据第一电源输出和第二电源输出之差，来执行控制电源输出的反馈控制。

技术研发人员：德竹滋和
受保护的技术使用者：住友精密工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12