一种炉底盘开闭机构的制作方法

1.本发明涉及碳化硅长晶设备领域，具体是炉腔开闭机构。


背景技术：

2.针对于碳化硅长晶炉，往往是采用炉体顶部的炉盖的开闭实现装料以及取料。每次开炉装料取料都不方便，炉膛清理也很麻烦。
3.此外，传统的开炉机构为手动形式，效率低。原来炉盖与炉体的连接也是用螺丝紧固，每次开炉前必需把十多个螺丝全部松开后才能开炉，费时费力。
4.目前缺乏一种可以解决上述问题的自动化开关炉机构。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的问题，本发明提供一种炉底盘开闭机构，以解决以上至少一个技术问题。
6.为了达到上述目的，本发明提供了一种炉底盘开闭机构，包括炉体，其特征在于，所述炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘；
7.还包括用于锁定所述炉底盘以及松开所述炉底盘的旋转开闭组件，所述旋转开闭组件包括旋转定位环，所述下法兰与所述旋转定位环转动连接；
8.所述旋转开闭组件包括驱动所述旋转定位环周向转动的驱动机构，所述驱动机构与所述旋转定位环传动连接；
9.所述旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；
10.所述炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，所述导向斜面从邻近开口槽处至远离所述开口槽处倾斜向下。
11.本发明将上开盖的形式，改良为下开盖形式。通过旋转开闭机构的旋转定位环的旋转进而实现炉底盘的锁定以及松开的切换。
12.进一步优选的，当滚轮传动组件与所述导向斜面压紧时，所述炉底盘处于锁定状态；
13.当滚轮传动组件位于开口槽处时，所述炉底盘处于松开状态。
14.进一步优选的，所述开口槽与所述炉底盘的径向外侧导通；
15.所述旋转定位环设有向下延伸的翻边，所述翻边的内侧安装有所述滚轮传动组件。
16.便于炉底盘松开时，开口槽与滚轮传动组件之间的避让。
17.进一步优选的，所述下法兰的外围可拆卸连接有定位环座；
18.所述定位环座支撑所述旋转定位环。
19.便于旋转定位环与下法兰的相对转动。
20.进一步优选的，所述定位环座接触所述旋转定位环侧固定有耐磨垫板。
21.进一步优选的，所述旋转定位环的上端面固定有耐磨垫圈。
22.进一步优选的，所述下法兰上开设有用于安装密封圈的安装槽，所述密封圈设在所述下法兰以及所述炉底盘之间。
23.进一步优选的，所述安装槽为v形槽。
24.进一步优选的，所述滚轮传动组件包括轮体、滚轮轴、隔套以及螺母；
25.所述旋转定位环上开设有穿过滚轮轴的穿孔，所述滚轮轴依次穿过所述轮体、所述隔套以及所述穿孔后，通过所述螺母锁紧固定。
26.进一步优选的，所述驱动机构包括电缸，所述电缸的缸体与安装在所述炉体侧壁的电缸尾座铰接；
27.所述电缸的伸缩端安装有万向轴承，所述万向轴承通过连接轴与所述旋转定位环活动连接。
28.便于实现旋转定位环的周向运动。
29.有益效果：
30.改变了传统炉体的从上装料的方式，本发明采用下装料，并且自动上炉底盘后自动关闭锁紧，自动松开卸料的自动化执行机构。可以非常方便地将炉底打开和关闭，方便装料和卸料以及清理炉体。
附图说明
31.图1为本发明具体实施例1炉底盘处于锁定状态的仰视图；
32.图2为本发明具体实施例1炉底盘处于锁定状态的剖视图；
33.图3为本发明具体实施例1炉底盘处于松开状态的仰视图；
34.图4为本发明具体实施例1炉底盘处于松开状态的分解图。
35.其中：1为炉体；2为密封圈；3为炉底盘；4为耐磨垫圈；5为旋转定位环；6为螺母；7为隔套；8为轮体；9为滚轮轴；10为耐磨垫板；11为定位环座；12为锁紧支座；13为垫圈；14为连接轴；15为电缸；16为开口销；17为销轴；18为电缸尾座。
具体实施方式
36.下面结合附图对本发明做进一步的说明。
37.具体实施例1，参见图1至图4，一种炉底盘3开闭机构，包括炉体1，炉体1的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘3；还包括用于锁定炉底盘3以及松开炉底盘3的旋转开闭组件，旋转开闭组件包括旋转定位环5，下法兰与旋转定位环5转动连接；旋转开闭组件包括驱动旋转定位环5周向转动的驱动机构，驱动机构与旋转定位环5传动连接；旋转定位环5的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；炉底盘3的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，导向斜面从邻近开口槽处至远离开口槽处倾斜向下。本发明将上开盖的形式，改良为下开盖形式。通过旋转开闭机构的旋转定位环5的旋转进而实现炉底盘3的锁定以及松开的切换。
38.当滚轮传动组件h与导向斜面压紧时，炉底盘3处于锁定状态；当滚轮传动组件位于开口槽处时，炉底盘3处于松开状态。
39.下法兰的外围可拆卸连接有定位环座11；定位环座11支撑旋转定位环5。便于旋转定位环5与下法兰的相对转动。定位环座11接触旋转定位环5侧固定有耐磨垫板10。旋转定
位环5的上端面固定有耐磨垫圈4。下法兰上开设有用于安装密封圈2的安装槽，密封圈2夹设在下法兰以及炉底盘3之间。安装槽为v形槽。
40.开口槽上下导通。开口槽与炉底盘3的径向外侧导通；旋转定位环5设有向下延伸的翻边，翻边的内侧安装有滚轮传动组件。便于炉底盘3松开时，开口槽与滚轮传动组件之间的避让。滚轮传动组件包括轮体8、滚轮轴9、隔套7以及螺母6；旋转定位环5上开设有穿过滚轮轴9的穿孔，滚轮轴9依次穿过轮体8、隔套7以及穿孔后，通过螺母6锁紧固定。
41.驱动机构包括电缸15，电缸15的缸体与安装在炉体1侧壁的电缸尾座18铰接。缸体与电缸尾座18通过销轴17转动连接。销轴的端部安装有开口销16。电缸的伸缩端安装有万向轴承，万向轴承通过连接轴与旋转定位环5活动连接。便于实现旋转定位环5的周向运动。旋转定位环5的外侧固定有锁紧支座12。锁紧支座12上安装有连接轴14，万向轴承与锁紧支座之间夹设有穿过连接轴14的垫圈13。电缸上设计有2个位置传感器，分别用于控制电缸的打开位置和关闭位置。
42.炉体优选为长晶炉。下法兰是炉体副腔室底部的下法兰。炉体的副腔室的侧壁开设有气口。便于内压的调整。
43.参见图1以及图2，炉底盘3处于锁定状态；炉体1内是真空加热状态，此时设备处理工作状态，不可以打开炉底盘3，旋转定位环5上的滚轮传动组件的轮体8与炉底盘3的导向斜面完全压紧，确保炉内密封可靠。
44.参见图3以及图4，炉底盘3处于松开状态，炉底盘3上的开口槽与旋转定位环5上的滚轮传动组件位置吻合。此时如果将炉内压力充气至常大压时，打开炉底盘3，将炉底盘3下降，取出炉内热场和晶体。
45.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。


技术特征：
1.一种炉底盘开闭机构，包括炉体，其特征在于，所述炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘；还包括用于锁定所述炉底盘以及松开所述炉底盘的旋转开闭组件，所述旋转开闭组件包括旋转定位环，所述下法兰与所述旋转定位环转动连接；所述旋转开闭组件包括驱动所述旋转定位环周向转动的驱动机构，所述驱动机构与所述旋转定位环传动连接；所述旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；所述炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，所述导向斜面从邻近开口槽处至远离所述开口槽处倾斜向下。2.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：当滚轮传动组件与所述导向斜面压紧时，所述炉底盘处于锁定状态；当滚轮传动组件位于开口槽处时，所述炉底盘处于松开状态。3.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述开口槽与所述炉底盘的径向外侧导通；所述旋转定位环设有向下延伸的翻边，所述翻边的内侧安装有所述滚轮传动组件。4.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述下法兰的外围可拆卸连接有定位环座；所述定位环座支撑所述旋转定位环。5.根据权利要求4所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述定位环座上接触所述旋转定位环侧固定有耐磨垫板。6.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述旋转定位环的上端面固定有耐磨垫圈。7.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述下法兰上开设有用于安装密封圈的安装槽，所述密封圈夹设在所述下法兰以及所述炉底盘之间。8.根据权利要求7所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述安装槽为v形槽。9.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述滚轮传动组件包括轮体、滚轮轴、隔套以及螺母；所述旋转定位环上开设有穿过滚轮轴的穿孔，所述滚轮轴依次穿过所述轮体、所述隔套以及所述穿孔后，通过所述螺母锁紧固定。10.根据权利要求1所述的一种炉底盘开闭机构，其特征在于：所述驱动机构包括电缸，所述电缸的缸体与安装在所述炉体侧壁的电缸尾座铰接；所述电缸的伸缩端安装有万向轴承，所述万向轴承通过连接轴与所述旋转定位环活动连接。

技术总结
本发明涉及碳化硅长晶设备技术领域。一种炉底盘开闭机构，包括炉体，炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘；还包括用于锁定炉底盘以及松开炉底盘的旋转开闭组件，旋转开闭组件包括旋转定位环，下法兰与旋转定位环转动连接；旋转开闭组件包括驱动旋转定位环周向转动的驱动机构，驱动机构与旋转定位环传动连接；旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，导向斜面从邻近开口槽处至远离开口槽处倾斜向下。本发明将上开盖的形式，改良为下开盖形式。通过旋转开闭机构的旋转定位环的旋转进而实现炉底盘的锁定以及松开的切换。换。换。


技术研发人员：赖章田 贺贤汉 陈有生 夏孝平 徐淑文 唐明
受保护的技术使用者：上海汉虹精密机械有限公司
技术研发日：2022.08.19
技术公布日：2022/11/29