本发明属于ito靶材领域，具体涉及一种降低烧结后ito平面靶翘曲的方法。
背景技术：
1、ito靶材经过溅射成膜后，由于其独特的物理化学特性，如高的光透过率、高的导电性以及强的紫外光吸收性，因而被广泛应用在液晶显示、太阳能电池以及军事领域等。ito平面靶作为目前靶材应用行业的主流产品，其主要烧结方式为常压烧结，然而在烧结过程中，由于靶坯自身存在密度差、烧结炉内温度不均匀等因素，极易造成烧结后靶坯产生很大的翘曲，从而导致靶坯的预留量不够，只能报废或者降级处理，从而导致靶坯成品率低，大大提高了生产成本。
2、本案解决的技术问题在于：如何高精度、高合格率的对翘曲ito靶材进行校正。
技术实现思路
1、本发明的目的是提供一种降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，采用本发明的方法具有精度高、靶材受损小的优势。
2、本发明的技术方案为：
3、一种降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，在翘曲的ito平面靶的翘曲的位置的表面施加6-20n的力，然后升温至850-950℃，保温一段时间，最后升温至1500～1600℃，保温一段时间。
4、本发明适用的ito平面靶为：选用成分比为in2o3：sno2＝90:10的ito靶材，靶材的长、宽、后分别为1000*250*12mm。
5、需要说明的是，本发明定义翘曲程度的方法为：
6、将尺寸为1000*250*12mm的靶材放到一个平面上，测量靶材的边缘和平面之间的最大间距，即可定义为翘曲程度。
7、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，包括如下步骤：
8、步骤1：将ito平面靶放置在平面上；
9、步骤2：施加6-20n的力至翘曲的位置的表面，力的大小和翘曲程度呈正相关；
10、步骤3：升温至850-950℃，保温一段时间；
11、步骤4：升温至1500～1600℃，保温一段时间。
12、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，还包括步骤5：降温至室温。
13、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，ito平面靶的翘曲程度为3-10mm；
14、翘曲程度为3-5mm时，压力为6-7.5n；
15、翘曲程度为5-7mm时，压力为7.5-10n；
16、翘曲程度为7-10mm时，压力为10-20n。
17、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，步骤2中，在ito平面靶的表面施加力的方式为：将与ito平面靶表面不反应、不粘结的块状材料放到ito平面靶的表面；
18、所述平面和ito平面靶之间铺设有与ito平面靶表面不反应、不粘结的耐高温粉末。
19、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，所述块状材料为氧化铝块、氧化锆块或氧化镁块；所述耐高温粉末为氧化铝、氧化锡、氧化锆或氧化镁；所述平面为d承烧板。
20、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，所述步骤3的升温速度为2～10℃/min，保温时间为5～10h；所述步骤4的升温速度为2～5℃/min，保温时间为5～50h。
21、在上述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法中，所述降温速度为5～10℃/min。
22、本发明的有益效果如下：
23、本发明利用ito靶材在高温下的可塑性，通过施加外力作用，减小烧结后靶坯的翘曲度，降低生产不良成本。
24、本发明的优势在于：通过本发明的方法校正后，平整度高、产品合格率高。
25、达到上述优势，必须采用以下手段：
26、1.较小且合适的压力；2.需要一个预热的平台温度段；3.需要一个接近于熔融温度的平台温度段。
27、其中，第一点和第二点尤为重要，压力过大的话，在高温下靶材的自身强度降低，无法承受大的压力而出现开裂的不良现象；如果没有预热阶段或预热时间过短，靶材表面吸收的热量会远大于内部吸收的热量，从而产生温度差，出现较大热应力导致靶材曲翘进一步加大；
28、当炉内温度达到1500～1600℃后，在高温作用下，靶材的可塑性增强，可在适当外力施加的作用发生变形而不会导致靶材开裂，从而达到校平靶材的目的；
29、基于以上三个手段，可以实现高精度、高合格率的校平。
1.一种降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，在翘曲的ito平面靶的翘曲的位置的表面施加6-20n的力，然后升温至850-950℃，保温一段时间，最后升温至1500～1600℃，保温一段时间。
2.根据权利要求1所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，包括如下步骤：
3.根据权利要求2所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，还包括步骤5：降温至室温。
4.根据权利要求2所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，ito平面靶的翘曲程度为3-10mm；
5.根据权利要求2所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，步骤2中，在ito平面靶的表面施加力的方式为：将与ito平面靶表面不反应、不粘结的块状材料放到ito平面靶的表面；
6.根据权利要求5所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，所述块状材料为氧化铝块、氧化锆块或氧化镁块；所述耐高温粉末为氧化铝、氧化锡、氧化锆或氧化镁；所述平面为d承烧板。
7.根据权利要求2所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，所述步骤3的升温速度为2～10℃/min，保温时间为5～10h；所述步骤4的升温速度为2～5℃/min，保温时间为5～50h。
8.根据权利要求3所述的降低烧结后ito平面靶翘曲的方法，其特征在于，所述降温速度为5～10℃/min。