一种单晶炉用石英导流筒的制作方法

1.本实用新型属于单晶硅生产技术领域，特别涉及一种单晶炉用石英导流筒。


背景技术：

2.直拉单晶炉热场结构中，导流筒的主要作用是控制热场温度梯度以及气场稳流。由内导流筒和外导流筒中间夹一层石墨炭毡组成。内外导流筒材质均为等静压石墨，这种材质应用在热场的缺陷是：1本身存在一定量的杂质，热场高温状态产生挥发物对炉内单晶生产产生较大影响；2高温下韧性和抗氧化性差；3保温性差，影响对于热场温度梯度的控制。并且现有的内导流筒和外导流筒之间的间隔有限，导致保温层壁厚较小，保温效果不理想。
3.因此，提供一种新的单晶炉用石英导流筒是本领域技术人员亟需解决的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术中导流筒保温效果差的缺陷，提供一种单晶炉用石英导流筒。
5.本实用新型提供了一种单晶炉用石英导流筒，包括内导流筒和外导流筒；
6.该内导流筒为倒锥形筒状石英结构，底部设置有导流筒托盘；该导流筒托盘的顶部与该内导流筒底部固定连接；
7.该外导流筒套设在该内导流筒外侧，与该内导流筒同轴设置；
8.该外导流筒和内导流筒均设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿，该外导流筒的支撑外沿和内导流筒的支撑外沿固定连接；
9.该外导流筒的底部与该流筒托盘的底部固定连接；
10.该内导流筒和外导流筒之间密实填充有保温毡。
11.进一步的方案为，该内导流筒包括第一直筒和第一锥筒，该第一直筒位于该第一锥筒顶部，该第一直筒与该第一锥筒一体成型，该第一直筒的高度为该第一锥筒高度的1/3。
12.进一步的方案为，该外导流筒包括第二直筒和第二锥筒，该第二直筒位于该第二锥筒顶部，该第二直筒与该第二锥筒一体成型，该第二直筒的高度为该第二锥筒高度的3倍。
13.进一步的方案为，所述内导流筒的高度大于外导流筒的高度，所述内导流筒的支撑外延宽度大于外导流筒的支撑外延宽度。
14.进一步的方案为，该导流筒托盘的竖直截面为倒锥形，该导流筒托盘与水平面夹角为30
°
。
15.进一步的方案为，该第一直筒和第一锥筒的夹角为115-125
°
。
16.进一步的方案为，该第二直筒和第二锥筒的夹角为115-125
°
。
17.进一步的方案为，该外导流筒为石墨外导流筒，该保温毡为石墨保温碳毡。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
19.本实用新型将传统的石墨内导流筒更换为石英内导流筒，并在内导流筒底部设置了导流筒托盘实现内外导流筒的连接，增加了内外导流筒之间的空隙，通过对内外导流筒的直筒部分个和锥筒部分高度的限定以及直筒部分和锥筒部分夹角的限定，进一步增加了导流筒底部的空隙，进而可实现增加了保温毡的厚度，增强保温效果。并且将导流筒和内外导流筒的连接件分开加工，降低了加工难度，缩短了加工周期，与传统石墨导流筒相比，杂质含量降低，高温抗氧化性和保温性明显提高，更有利用单晶生产品质和产量的提升。
附图说明
20.以下附图仅对本实用新型作示意性的说明和解释，并不用于限定本实用新型的范围，其中：
21.图1：本实用新型结构示意图；
22.图2：导流筒托盘结构示意图；
23.图3：内导流筒结构示意图；
24.图4：外外导流筒结构示意图；
25.图中：1、内导流筒；2、外导流筒；3、保温毡；4、导流筒托盘；5、第一直筒；6、第一锥筒；7、第二直筒；8、第二锥筒。
具体实施方式
26.为了使本实用新型的目的、技术方案、设计方法及优点更加清楚明了，以下结合附图通过具体实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
27.如图1和图2所示，本实用新型提供了一种单晶炉用石英导流筒，包括内导流筒1和外导流筒2；所述内导流筒1为倒锥形筒状石英结构，底部设置有导流筒托盘4；所述导流筒托盘4的顶部与所述内导流筒1底部固定连接；所述外导流筒2套设在所述内导流筒1外侧，与所述内导流筒1同轴设置；所述外导流筒2和内导流筒1均设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿，所述外导流筒2的支撑外沿和内导流筒1的支撑外沿固定连接；所述外导流筒2的底部与所述导流筒托盘的底部固定连接；所述内导流筒1和外导流筒2之间密实填充有保温毡3。其中，所述外导流筒2为石墨外导流筒2，所述保温毡3为石墨保温碳毡。
28.为了进一步增大内导流筒1和外导流筒2之间的空隙，将所述内导流筒1分为第一直筒5和第一锥筒6，所述第一直筒5位于所述第一锥筒6顶部，所述第一直筒5与所述第一锥筒6一体成型，所述第一直筒5的高度为所述第一锥筒6高度的1/3。将所述外导流筒2分为第二直筒7和第二锥筒8，所述第二直筒7位于所述第二锥筒8顶部，所述第二直筒7与所述第二锥筒8一体成型，所述第二直筒7的高度为所述第二锥筒8高度的3倍，所述导流筒托盘4的竖直截面为倒锥形，所述导流筒托盘4与水平面夹角为30
°
，所述第一直筒5和第一锥筒6的夹角为120
°
，所述第二直筒7和第二锥筒8的夹角为120
°
。应当理解的，所述内导流筒的高度大于外导流筒的高度，所述内导流筒的支撑外延宽度大于外导流筒的支撑外延宽度。在该结构下，保温毡3呈上薄下厚结构，使得其促进了内导流筒1中热场的纵向温度的形成，提高了
晶体的等径生长速度。
29.以上已经描述了本实用新型的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。


技术特征：
1.一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，包括内导流筒和外导流筒；所述内导流筒为倒锥形筒状石英结构，底部设置有导流筒托盘；所述导流筒托盘的顶部与所述内导流筒底部固定连接；所述外导流筒套设在所述内导流筒外侧，与所述内导流筒同轴设置；所述外导流筒和内导流筒均设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿，所述外导流筒的支撑外沿和内导流筒的支撑外沿固定连接；所述外导流筒的底部与所述导流筒托盘的底部固定连接；所述内导流筒和外导流筒之间密实填充有保温毡。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述内导流筒包括第一直筒和第一锥筒，所述第一直筒位于所述第一锥筒顶部，所述第一直筒与所述第一锥筒一体成型，所述第一直筒的高度为所述第一锥筒高度的1/3。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述外导流筒包括第二直筒和第二锥筒，所述第二直筒位于所述第二锥筒顶部，所述第二直筒与所述第二锥筒一体成型，所述第二直筒的高度为所述第二锥筒高度的3倍。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述内导流筒的高度大于外导流筒的高度，所述内导流筒的支撑外延宽度大于外导流筒的支撑外延宽度。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述导流筒托盘的竖直截面为倒锥形，所述导流筒托盘斜面与水平面夹角为30
°
。6.根据权利要求3所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述第一直筒和第一锥筒的夹角为115-125
°
。7.根据权利要求3所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述第二直筒和第二锥筒的夹角为115-125
°
。8.根据权利要求1所述的一种单晶炉用石英导流筒，其特征在于，所述外导流筒为石墨外导流筒，所述保温毡为石墨保温碳毡。

技术总结
本实用新型属于单晶硅生产技术领域，具体公开了一种单晶炉用石英导流筒，包括内导流筒和外导流筒；该内导流筒为倒锥形筒状石英结构，底部设置有导流筒托盘；该导流筒托盘的顶部与该内导流筒底部固定连接；该外导流筒套设在该内导流筒外侧，与该内导流筒同轴设置；该外导流筒和内导流筒均设置有外翻的与筒体一次成型的支撑外沿，该外导流筒的支撑外沿和内导流筒的支撑外沿固定连接；该外导流筒的底部与该流筒托盘的底部固定连接；该内导流筒和外导流筒之间密实填充有保温毡。本实用新型将传统的石墨内导流筒更换为石英内导流筒，并在内导流筒底部设置了导流筒托盘实现内外导流筒的连接，增加了内外导流筒之间的空隙，增强保温效果。温效果。温效果。


技术研发人员：张玉峰 刘志飞
受保护的技术使用者：西安维柯亿新能源科技有限公司
技术研发日：2022.02.24
技术公布日：2022/9/5