一种立式扩散炉传动机构的制作方法

1.本实用新型涉及立式扩散炉技术领域，尤其涉及一种立式扩散炉传动机构。


背景技术：

2.扩散炉有立式扩散炉和卧式扩散炉两种类型，都是用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，并且需要将反应气体导入炉体内，扩散到立式扩散炉内放置的晶圆表面，从而所有晶圆表面同时进行薄膜生长。
3.在现有技术中，反应气体一般需要独立设备注入到立式扩散炉内，导致能耗与成本较高，因此我们提出一种立式扩散炉传动机构，用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决反应气体一般需要独立设备注入到立式扩散炉内，导致能耗与成本较高的缺点，而提出的一种立式扩散炉传动机构。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种立式扩散炉传动机构，包括炉体，所述炉体的外壁转动连接有密封门，所述炉体的底部固定连接有设备箱，所述设备箱的内部固定连接有电机，所述电机输出轴的顶部固定连接有空心结构的竖轴，所述竖轴的外壁均匀开设有多个出气孔，所述竖轴的外壁固定套设有第一旋转接头，所述第一旋转接头位于炉体的顶部，所述竖轴的外壁固定套设有第二旋转接头，所述电机输出轴的外壁固定套设有第一链轮，所述第一链轮的外壁啮合连接有链条，所述设备箱的外壁设有传动机构。
7.优选的，所述传动机构包括第二链轮，所述链条的外壁与第二链轮的外壁啮合连接，所述设备箱的外壁开设有长槽，所述第二链轮的外壁固定连接有转动轴，所述炉体的外壁固定连接有集气箱，所述转动轴的顶部固定连接有丝杆，所述丝杆的外壁螺纹连接有丝套，所述丝套的外壁固定连接有矩形板，所述矩形板的外壁与集气箱的内壁滑动连接，所述矩形板的外壁固定连接有橡胶塞，所述集气箱的外壁固定互通有进气管，所述集气箱的外壁固定互通有两个出气管，两个出气管的一端分别与第一旋转接头、第二旋转接头的外壁固定互通，通过设置丝杆使丝套进行移动。
8.优选的，所述设备箱与炉体的外壁均开设有圆孔，圆孔的内壁与电机输出轴的外壁转动连接。
9.优选的，所述炉体的外壁开设有通孔，通孔的内壁与竖轴的外壁转动连接，通过设置竖轴使晶圆放置板进行转动。
10.优选的，所述竖轴的外壁均匀固定连接有多个晶圆放置板，通过设置晶圆放置板对晶圆进行位置固定。
11.优选的，所述集气箱的外壁开设有滑孔，滑孔的内壁与转动轴的外壁转动连接。
12.优选的，所述出气管与进气管的外壁均固定套设有单向阀，所述转动轴的外壁固
定套设有轴承，轴承的外圈与集气箱的外壁固定连接。
13.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
14.本方案通过设置第一链轮、链条、第二链轮、集气箱、转动轴、丝杆、丝套、矩形板、橡胶塞与出气管，使反应气体进入第一旋转接头与第二旋转接头内，并且通过出气孔进入炉体内，从而方便扩散到晶圆表面，并且无需单独设备对反应气体进行输送，降低能耗与成本。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种立式扩散炉传动机构的立体结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种立式扩散炉传动机构的剖面结构示意图；
17.图3为本实用新型提出的一种立式扩散炉传动机构的图2中的a部分放大结构示意图。
18.图中：1、炉体；2、密封门；3、设备箱；4、竖轴；5、电机；6、出气孔；7、第一旋转接头；8、第二旋转接头；9、晶圆放置板；10、第一链轮；11、链条；12、第二链轮；13、集气箱；14、转动轴；15、丝杆；16、丝套；17、矩形板；18、橡胶塞；19、出气管。
具体实施方式
19.由图1与图2所示，涉及一种立式扩散炉传动机构，包括炉体1，炉体1的外壁转动连接有密封门2，炉体1的底部固定连接有设备箱3，设备箱3与炉体1的外壁均开设有圆孔，圆孔的内壁与电机5输出轴的外壁转动连接，设备箱3的内部固定连接有电机5，电机5输出轴的顶部固定连接有空心结构的竖轴4，电机5运转使竖轴4进行转动，方便晶圆与反应气体进行接触，炉体1的外壁开设有通孔，通孔的内壁与竖轴4的外壁转动连接，竖轴4的外壁均匀开设有多个出气孔6，竖轴4的外壁固定套设有第一旋转接头7，第一旋转接头7位于炉体1的顶部，竖轴4的外壁固定套设有第二旋转接头8，竖轴4的外壁均匀固定连接有多个晶圆放置板9，电机5输出轴的外壁固定套设有第一链轮10，第一链轮10的外壁啮合连接有链条11，设备箱3的外壁设有传动机构。
20.由图1、图2与图3所示，传动机构包括第二链轮12，链条11的外壁与第二链轮12的外壁啮合连接，第一链轮10转动使链条11转动，从而使第二链轮12带动转动轴14转动，设备箱3的外壁开设有长槽，第二链轮12的外壁固定连接有转动轴14，炉体1的外壁固定连接有集气箱13，集气箱13的外壁开设有滑孔，滑孔的内壁与转动轴14的外壁转动连接，转动轴14的顶部固定连接有丝杆15，丝杆15的外壁螺纹连接有丝套16，丝杆15转动使丝套16向上移动，丝套16的外壁固定连接有矩形板17，矩形板17的外壁与集气箱13的内壁滑动连接，出气管19与进气管的外壁均固定套设有单向阀，转动轴14的外壁固定套设有轴承，轴承的外圈与集气箱13的外壁固定连接，矩形板17的外壁固定连接有橡胶塞18，矩形板17与橡胶塞18将反应气体送入炉体1内，集气箱13的外壁固定互通有进气管，集气箱13的外壁固定互通有两个出气管19，两个出气管19的一端分别与第一旋转接头7、第二旋转接头8的外壁固定互通。
21.工作原理：在使用时，电机5转动使竖轴4进行转动，竖轴4转动使晶圆放置板9进行转动，同时电机5转动使第一链轮10转动，第一链轮10转动使链条11转动，从而使第二链轮
12带动转动轴14转动，转动轴14转动使丝杆15进行转动，丝杆15转动使丝套16向上移动，丝套16向上移动使矩形板17与橡胶塞18进行移动，将集气箱13内的反应气体通过两个出气管19进入第一旋转接头7与第二旋转接头8内，并且通过出气孔6进入炉体1内，从而方便扩散到晶圆表面，并且无需单独设备对反应气体进行输送，降低能耗与成本。
22.以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。


技术特征：
1.一种立式扩散炉传动机构，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）的外壁转动连接有密封门（2），所述炉体（1）的底部固定连接有设备箱（3），所述设备箱（3）的内部固定连接有电机（5），所述电机（5）输出轴的顶部固定连接有空心结构的竖轴（4），所述竖轴（4）的外壁均匀开设有多个出气孔（6），所述竖轴（4）的外壁固定套设有第一旋转接头（7），所述第一旋转接头（7）位于炉体（1）的顶部，所述竖轴（4）的外壁固定套设有第二旋转接头（8），所述电机（5）输出轴的外壁固定套设有第一链轮（10），所述第一链轮（10）的外壁啮合连接有链条（11），所述设备箱（3）的外壁设有传动机构。2.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉传动机构，其特征在于，所述传动机构包括第二链轮（12），所述链条（11）的外壁与第二链轮（12）的外壁啮合连接，所述设备箱（3）的外壁开设有长槽，所述第二链轮（12）的外壁固定连接有转动轴（14），所述炉体（1）的外壁固定连接有集气箱（13），所述转动轴（14）的顶部固定连接有丝杆（15），所述丝杆（15）的外壁螺纹连接有丝套（16），所述丝套（16）的外壁固定连接有矩形板（17），所述矩形板（17）的外壁与集气箱（13）的内壁滑动连接，所述矩形板（17）的外壁固定连接有橡胶塞（18），所述集气箱（13）的外壁固定互通有进气管，所述集气箱（13）的外壁固定互通有两个出气管（19），两个出气管（19）的一端分别与第一旋转接头（7）、第二旋转接头（8）的外壁固定互通。3.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉传动机构，其特征在于，所述设备箱（3）与炉体（1）的外壁均开设有圆孔，圆孔的内壁与电机（5）输出轴的外壁转动连接。4.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉传动机构，其特征在于，所述炉体（1）的外壁开设有通孔，通孔的内壁与竖轴（4）的外壁转动连接。5.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉传动机构，其特征在于，所述竖轴（4）的外壁均匀固定连接有多个晶圆放置板（9）。6.根据权利要求2所述的一种立式扩散炉传动机构，其特征在于，所述集气箱（13）的外壁开设有滑孔，滑孔的内壁与转动轴（14）的外壁转动连接。7.根据权利要求2所述的一种立式扩散炉传动机构，其特征在于，所述出气管（19）与进气管的外壁均固定套设有单向阀，所述转动轴（14）的外壁固定套设有轴承，轴承的外圈与集气箱（13）的外壁固定连接。

技术总结
本实用新型属于立式扩散炉技术领域，尤其是一种立式扩散炉传动机构，针对现有的反应气体一般需要独立设备注入到立式扩散炉内，导致能耗与成本较高的问题，现提出如下方案，其包括炉体，所述炉体的外壁转动连接有密封门，所述炉体的底部固定连接有设备箱，所述设备箱的内部固定连接有电机，所述电机输出轴的顶部固定连接有空心结构的竖轴，本实用新型通过设置第一链轮、链条、第二链轮、集气箱、转动轴、丝杆、丝套、矩形板、橡胶塞与出气管，使反应气体进入第一旋转接头与第二旋转接头内，并且通过出气孔进入炉体内，从而方便扩散到晶圆表面，并且无需单独设备对反应气体进行输送，降低能耗与成本。耗与成本。耗与成本。


技术研发人员：刘明利 王佩佩 周文智
受保护的技术使用者：青岛赛尔科技有限公司
技术研发日：2022.05.27
技术公布日：2022/10/27