加工设备的制作方法

本技术涉及基片加工，特别是涉及一种加工设备。

背景技术：

1、基片在出厂前可能需要进行多种处理，以满足应用的需求。例如，玻璃作为一种基片，在出厂前进行表面粗化处理，以在玻璃的表面产生防眩光的效果。

2、由于基片的一些工艺环节需要在真空环境中进行，传统技术一般将基片放置入腔室内，其后，对腔室的各个通口进行密封以及将腔室内的气体抽出，使腔室内部处于真空状态。

3、然而，由于对腔室抽真空处理过程没有处理到位，腔室内可能剩余一定的杂质气体，导致对基片的工艺处理的质量受到影响。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对腔室内存在杂质气体，导致对基片的工艺处理质量受到影响的问题，提供一种加工设备。

2、一种加工设备，包括：

3、腔体组件，用于形成内腔；

4、管体，设置于所述内腔；所述管体沿第一预定平面分布；所述管体的端口连接于能够提供冷却介质的供应组件；及

5、挡板，设置于所述第一预定平面的一侧；所述挡板与所述第一预定平面之间的距离小于或等于预设值。

6、上述加工设备，对内腔进行抽真空后，基片在内腔中进行相应的工艺处理。由于冷却介质由供应组件输入至管体，使冷却介质在管体内流通，管体外壁的温度下降。在管体沿第一预定平面分布的同时，挡板设置于第一预定平面的一侧，且与第一预定平面之间的距离小于预设值，能使挡板的热量均匀传递至管体，使挡板的温度下降。内腔中的杂质气体遇到温度较低的挡板时，会凝结成液态并附着在挡板的表面。在挡板具有较充分的表面积以及挡板的温度足够低的情况下，内腔中的大部分杂质气体会凝结并附着在挡板表面，从而有效减少内腔中的杂质气体，避免工艺处理的质量受到影响。

7、在其中一个实施例中，所述挡板的截面边缘呈弯折状或波浪状。

8、在其中一个实施例中，所述内腔的一部分空间用于形成处理工位；所述挡板处于所述管体与所述处理工位之间。

9、在其中一个实施例中，所述挡板朝向于所述处理工位的一侧覆盖有吸热涂层。

10、在其中一个实施例中，所述管体包括多个平流段及多个弯流段；多个所述平流段沿排列方向依次分布；相邻的所述平流段之间通过所述弯流段连通。

11、在其中一个实施例中，所述平流段垂直于水平面；所述弯流段包括第一弯流段及第二弯流段；所述第一弯流段用于连通两个相邻所述平流段的第一端；所述第二弯流段用于连通两个相邻所述平流段的第二端；所述挡板的上边缘高于所述第一弯流段；所述挡板的下边缘低于所述第二弯流段。

12、在其中一个实施例中，相邻的所述平流段之间间隔设置。

13、在其中一个实施例中，所述挡板与所述腔体组件内侧之间连接有支杆；所述支杆穿设于所述平流段之间的间隔空间。

14、在其中一个实施例中，所述加工设备还包括支架，所述支架连接于多个所述平流段或所述弯流段；所述支架还连接于所述腔体组件。

15、在其中一个实施例中，所述挡板抵靠于所述支架。

技术特征：

1.一种加工设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述挡板的截面边缘呈弯折状或波浪状。

3.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述内腔的一部分空间用于形成处理工位；所述挡板处于所述管体与所述处理工位之间。

4.根据权利要求3所述的加工设备，其特征在于，所述挡板朝向于所述处理工位的一侧覆盖有吸热涂层。

5.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述管体包括多个平流段及多个弯流段；多个所述平流段沿排列方向依次分布；相邻的所述平流段之间通过所述弯流段连通。

6.根据权利要求5所述的加工设备，其特征在于，所述平流段垂直于水平面；所述弯流段包括第一弯流段及第二弯流段；所述第一弯流段用于连通两个相邻所述平流段的第一端；所述第二弯流段用于连通两个相邻所述平流段的第二端；所述挡板的上边缘高于所述第一弯流段；所述挡板的下边缘低于所述第二弯流段。

7.根据权利要求5所述的加工设备，其特征在于，相邻的所述平流段之间间隔设置。

8.根据权利要求7所述的加工设备，其特征在于，所述挡板与所述腔体组件内侧之间连接有支杆；所述支杆穿设于所述平流段之间的间隔空间。

9.根据权利要求5所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括支架，所述支架连接于多个所述平流段或所述弯流段；所述支架还连接于所述腔体组件。

10.根据权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述挡板抵靠于所述支架。

技术总结
本技术涉及一种加工设备，包括管体及挡板。管体设置于内腔。管体沿第一预定平面分布。管体的端口连接于能够提供冷却介质的供应组件。挡板设置于第一预定平面的一侧。挡板与第一预定平面之间的距离小于或等于预设值。在管体沿第一预定平面分布的同时，挡板设置于第一预定平面的一侧，且与第一预定平面之间的距离小于预设值，能使挡板的热量均匀传递至管体，使挡板的温度下降。内腔中的杂质气体遇到温度较低的挡板时，会凝结成液态并附着在挡板的表面。在挡板具有较充分的表面积以及挡板的温度足够低的情况下，内腔中的大部分杂质气体会凝结并附着在挡板表面，从而有效减少内腔中的杂质气体，避免工艺处理的质量受到影响。

技术研发人员：赵成伟,邬文波
受保护的技术使用者：西实显示高新材料（沈阳）有限公司
技术研发日：20220926
技术公布日：2024/1/12