一种分子束外延系统的进样结构的制作方法

1.本实用新型涉及安全自检技术领域，尤其涉及一种分子束外延系统的进样结构。


背景技术：

2.分子束外延技术是在半导体工艺中近十几年来发展起来的一项新技术，它是在超高真空条件下，类似于真空蒸发镀把构成晶体的各个组分和予掺杂的原子(分子)，以一定的热运动速度，按一定的比例从喷射炉中喷射到基片上去进行晶体外延生长而制备单晶膜的一种方法，分子束外延系统中包括进样结构以及喷射结构等。
3.现有的进样结构在具体使用过程中存在以下不足之处：1、进样结构与外界接触的结构会带入外界空气，空气中的杂质会导致后续喷射工作产生较大的误差；2、进样的盖体采用螺纹对接，长期的旋拧会导致螺纹走丝，密封性差。
4.因此可采用一种新型的分子束外延系统的进样结构来解决现有技术的不足之处。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在问题，而提出的一种分子束外延系统的进样结构。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种分子束外延系统的进样结构，包括进样室，所述进样室上固定安装有真空气泵，所述真空气泵与进样室之间通过气管相连通，所述进样室上固定连通有进样管，所述进样管上固定安装有支杆，所述支杆上通过转动部件安装有盖板，所述盖板上通过滑动部件安装有卡块，所述进样管上固定安装有与卡块相配合的卡板，所述进样室上固定安装有隔板，所述隔板上固定安装有控制器以及感应器，所述隔板上开设有漏孔，所述漏孔上滑动安装有塞板，所述塞板与隔板之间固定安装弹簧一，所述进样室上固定安装有与塞板相配合的电推杆，所述电推杆与控制器之间电连接。
8.在上述的一种分子束外延系统的进样结构中，所述进样室底部固定安装有多个支腿，每个所述支腿上均固定粘贴有橡胶垫。
9.在上述的一种分子束外延系统的进样结构中，所述转动部件包括转轴以及转孔，所述支杆上固定安装有转轴，所述盖板上开设有与转轴相配合的转孔。
10.在上述的一种分子束外延系统的进样结构中，所述滑动部件包括滑杆以及滑槽，所述卡块上固定安装有滑杆，所述盖板上开设有与滑杆相配合的滑槽，所述滑杆与滑槽之间安装有抵压构件。
11.在上述的一种分子束外延系统的进样结构中，所述抵压构件包括弹簧二，所述滑杆与滑槽之间固定安装有弹簧二。
12.在上述的一种分子束外延系统的进样结构中，所述盖板上固定安装有密封圈，所述密封圈的直径大于进样管上部直径。
13.与现有的技术相比，本实用新型优点在于：
14.1：通过设置卡块、卡板、滑杆以及弹簧二，替代了现有的螺纹旋宁对接的方式，有效的杜绝了螺纹走丝带来密封不严实的问题，大大提高了密闭性。
15.2：通过设置真空气泵，可将进样室内的空气排出，降低了进样室内悬浮杂质，使喷射通道畅通，有效的降低了喷射产生的误差，提高喷射精准度。
16.综上所述，本实用新型替代了现有的螺纹旋宁对接的方式，有效的杜绝了螺纹走丝带来密封不严实的问题，大大提高了密闭性，同时还有效的降低了喷射产生的误差，提高喷射精准度。
附图说明
17.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，其中：
18.图1为本实用新型提出的一种分子束外延系统的进样结构的结构示意图；
19.图2为图1中a部分的放大结构示意详图。
20.图中：1进样室、2进样管、3真空气泵、4支腿、5隔板、6控制器、7感应器、8电推杆、9塞板、10弹簧一、11支杆、12盖板、13卡块、14卡板、15滑杆、16滑槽、17弹簧二、18密封圈。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.参照图1-2，一种分子束外延系统的进样结构，包括进样室1，进样室1上固定安装有真空气泵3，真空气泵3与进样室1之间通过气管相连通，进样室1上固定连通有进样管2，进样管2上固定安装有支杆11，支杆11上通过转动部件安装有盖板12，盖板12上通过滑动部件安装有卡块13，进样管2上固定安装有与卡块13相配合的卡板14，进样室1上固定安装有隔板5，隔板5上固定安装有控制器6以及感应器7，隔板5上开设有漏孔，漏孔上滑动安装有塞板9，塞板9与隔板5之间固定安装弹簧一10，进样室1上固定安装有与塞板9相配合的电推杆8，电推杆8与控制器6之间电连接；
23.上述值得注意的有以下几点：
24.1、进样室1底部固定安装有多个支腿4，每个支腿4上均固定粘贴有橡胶垫，橡胶垫设置的作用是为了提高进样室1的稳定性。
25.2、转动部件包括转轴以及转孔，支杆11上固定安装有转轴，盖板12上开设有与转轴相配合的转孔，这样设置的作用是为了减小支杆11与盖板12之间的摩擦力，使得盖板12转动得更加顺畅。
26.3、滑动部件包括滑杆15以及滑槽16，卡块13上固定安装有滑杆15，盖板12上开设有与滑杆15相配合的滑槽16，滑杆15与滑槽16之间安装有抵压构件，这样设置的作用是为了减小卡块13与盖板12之间的摩擦力，使卡块13移动得更加顺畅。
27.4、抵压构件包括弹簧二17，滑杆15与滑槽16之间固定安装有弹簧二17，这样设置的作用是为了使卡块13与卡板14相抵，卡合更紧。
28.5、盖板12上固定安装有密封圈18，密封圈18的直径大于进样管2上部直径，这样设
置的作用是为了提高进样室1得密闭性。
29.通过进样管2加入样料，然后盖上盖板12，使卡块13与卡板14卡合，接着开启真空气泵3，将进样室1内得空气抽出，通过感应器7感应隔板5上下腔室内的压强，当上下腔室压强相同时，即是真空状态，然后通过控制器6控制电推杆8收缩，将塞板9提起，样料通过漏孔流出以进行喷射工艺。
30.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种分子束外延系统的进样结构，包括进样室(1)，其特征在于，所述进样室(1)上固定安装有真空气泵(3)，所述真空气泵(3)与进样室(1)之间通过气管相连通，所述进样室(1)上固定连通有进样管(2)，所述进样管(2)上固定安装有支杆(11)，所述支杆(11)上通过转动部件安装有盖板(12)，所述盖板(12)上通过滑动部件安装有卡块(13)，所述进样管(2)上固定安装有与卡块(13)相配合的卡板(14)，所述进样室(1)上固定安装有隔板(5)，所述隔板(5)上固定安装有控制器(6)以及感应器(7)，所述隔板(5)上开设有漏孔，所述漏孔上滑动安装有塞板(9)，所述塞板(9)与隔板(5)之间固定安装弹簧一(10)，所述进样室(1)上固定安装有与塞板(9)相配合的电推杆(8)，所述电推杆(8)与控制器(6)之间电连接。2.根据权利要求1所述的一种分子束外延系统的进样结构，其特征在于，所述进样室(1)底部固定安装有多个支腿(4)，每个所述支腿(4)上均固定粘贴有橡胶垫。3.根据权利要求1所述的一种分子束外延系统的进样结构，其特征在于，所述转动部件包括转轴以及转孔，所述支杆(11)上固定安装有转轴，所述盖板(12)上开设有与转轴相配合的转孔。4.根据权利要求1所述的一种分子束外延系统的进样结构，其特征在于，所述滑动部件包括滑杆(15)以及滑槽(16)，所述卡块(13)上固定安装有滑杆(15)，所述盖板(12)上开设有与滑杆(15)相配合的滑槽(16)，所述滑杆(15)与滑槽(16)之间安装有抵压构件。5.根据权利要求4所述的一种分子束外延系统的进样结构，其特征在于，所述抵压构件包括弹簧二(17)，所述滑杆(15)与滑槽(16)之间固定安装有弹簧二(17)。6.根据权利要求1所述的一种分子束外延系统的进样结构，其特征在于，所述盖板(12)上固定安装有密封圈(18)，所述密封圈(18)的直径大于进样管(2)上部直径。

技术总结
本实用新型公开了一种分子束外延系统的进样结构，包括进样室，所述进样室上固定安装有真空气泵，所述真空气泵与进样室之间通过气管相连通，所述进样室上固定连通有进样管，所述进样管上固定安装有支杆，所述支杆上通过转动部件安装有盖板，所述盖板上通过滑动部件安装有卡块，所述进样管上固定安装有与卡块相配合的卡板。优点在于：替代了现有的螺纹旋宁对接的方式，有效的杜绝了螺纹走丝带来密封不严实的问题，大大提高了密闭性，同时还有效的降低了喷射产生的误差，提高喷射精准度。提高喷射精准度。提高喷射精准度。


技术研发人员：路云峰 温涵
受保护的技术使用者：苏州信越半导体有限公司
技术研发日：2022.11.10
技术公布日：2023/3/23