籽晶夹持装置和晶体生长设备的制作方法

本技术涉及晶体生长，更具体地，涉及一种籽晶夹持装置和晶体生长设备。

背景技术：

1、相关技术中，在每个晶体拉制完成后，首先需要将籽晶夹持装置从晶体生长设备内取出，然后将拉制完成的籽晶从籽晶夹持装置上拆卸下来，并将新籽晶安装上去，最后将安装有新籽晶的籽晶夹持装置装入晶体生长设备，操作过程需要花费较长的时间，且籽晶的拆卸过程较为费力，影响长晶的效率。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种籽晶夹持装置，所述籽晶夹持装置无需频繁的更换籽晶，减少了更换籽晶所需的时间，有利于提升长晶效率。

2、本实用新型的另一个目的在于提出一种具有上述籽晶夹持装置的晶体生长设备。

3、根据本实用新型实施例的籽晶夹持装置，包括：壳体组件，所述壳体组件内限定出容纳籽晶的容纳腔，所述容纳腔的下端敞开，所述籽晶的下端适于从所述容纳腔的下端敞开口伸出；驱动组件，所述驱动组件设于所述壳体组件上且用于驱动所述籽晶沿上下方向移动。

4、根据本实用新型实施例的籽晶夹持装置，通过壳体组件的容纳腔的下端敞开，籽晶的下端适于从容纳腔的下端敞开口伸出，驱动组件设于壳体组件上且用于驱动籽晶沿上下方向移动，由此，在籽晶的长度无法满足下一根晶体的拉制要求时，可以通过驱动组件下移籽晶，使得籽晶伸出下端敞开口的长度满足拉晶所需的籽晶长度，仅需要对籽晶安装一次，即可实现多次晶体的拉制，无需频繁的更换籽晶，减少了更换籽晶所需的时间，且操作简单，有利于提升长晶效率。

5、另外，根据本实用新型上述实施例的籽晶夹持装置还可以具有如下附加的技术特征：

6、根据本实用新型一些实施例的籽晶夹持装置，所述籽晶的长度为180mm-360mm。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述壳体组件包括：壳体，所述驱动组件设于所述壳体上；夹套组件，所述夹套组件与所述壳体的下端连接，所述容纳腔包括设于所述壳体内的第一容纳腔和设于所述夹套组件内的第二容纳腔，所述第二容纳腔的上端与所述第一容纳腔的下端连通，所述第二容纳腔的下端敞开形成为所述下端敞开口，所述第二容纳腔的内壁面设有第一配合部，所述籽晶的周壁上设有与所述第一配合部配合的第二配合部，所述第一配合部和所述第二配合中的一个为沿上下方向间隔开的多个。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述第一配合部形成为限位卡凸，所述第二配合部形成为与所述限位卡凸配合的限位卡槽，所述第二配合部为沿上下方向间隔开的多个；或，所述第二配合部形成为限位卡凸，所述第一配合部形成为与所述限位卡凸配合的限位卡槽，所述第一配合部为沿上下方向间隔开的多个。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述夹套组件包括：第一夹套和第二夹套，所述第一夹套的上端和所述第二夹套的上端均与所述壳体连接，所述第一夹套和所述第二夹套对接后限定出所述第二容纳腔，所述第一夹套和所述第二夹套在朝向彼此和远离彼此的方向上位置可调。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述第一夹套和所述第二夹套通过紧固件连接，所述第一夹套和所述第二夹套之间设有弹性件，用于驱动所述第一夹套和所述第二夹套朝向远离彼此的方向移动。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述第一夹套和所述第二夹套的上端均设有限位滑槽，所述壳体上设有分别与两个所述限位滑槽配合的限位滑轨，所述限位滑轨可滑动地设于所述限位滑槽内，所述限位滑槽在所述第一夹套和所述第二夹套的排布方向上延伸。

12、根据本实用新型的一些实施例，籽晶夹持装置还包括：加料组件，所述加料组件设于所述壳体组件上且环绕所述壳体组件设置，所述加料组件内设有下料通道，所述加料组件的上下两端分别设有与所述下料通道连通的加料口与出料口。

13、根据本实用新型的一些实施例，所述加料组件包括：主体部，所述主体部套设于所述壳体组件上且与所述壳体组件连接，所述主体部具有环形空腔，所述环形空腔的下端敞开；固定部，所述固定部形成为环形且设于所述环形空腔内，所述固定部相对所述主体部沿上下方向可移动，所述下料通道设于所述固定部内，所述主体部的上端具有与加料口相对的第一避让孔，所述主体部的上端还具有第二避让孔；限位推杆，所述限位推杆穿设于所述第二避让孔且与所述固定部连接，所述限位推杆的远离所述固定部的一端固定。

14、根据本实用新型的一些实施例，所述主体部的上端设有连接部，所述连接部与所述主体部的内周壁连接，所述连接部的下表面设有定位柱，所述壳体组件的上端面设有与所述定位柱配合的定位槽。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述下料通道沿所述固定部的周向螺旋向下延伸。

16、根据本实用新型的一些实施例，所述驱动组件包括：驱动电机，所述驱动电机设于所述壳体组件；丝杠，所述丝杠的至少部分设于所述容纳腔内，所述丝杠与所述驱动电机连接；传动件，所述传动件套设于所述丝杠上，所述传动件的远离所述驱动电机的一端与所述籽晶连接，所述驱动电机用于驱动所述丝杠转动以使所述传动件沿所述壳体组件的长度方向移动。

17、根据本实用新型的一些实施例，所述容纳腔的内壁面和所述传动件中的一个设有限位凸起，另一个设有与所述限位凸起配合的限位凹槽，所述限位凸起和所述限位凹槽中的至少一个沿上下方向延伸。

18、根据本实用新型实施例的晶体生长设备包括根据本实用新型实施例所述的籽晶夹持装置。

19、根据本实用新型实施例的晶体生长设备，通过壳体组件的容纳腔的下端敞开，籽晶的下端适于从容纳腔的下端敞开口伸出，驱动组件设于壳体组件上且用于驱动籽晶沿上下方向移动，由此，在籽晶的长度无法满足下一根晶体的拉制要求时，可以通过驱动组件下移籽晶，使得籽晶伸出下端敞开口的长度满足拉晶所需的籽晶长度，仅需要对籽晶安装一次，即可实现多次晶体的拉制，无需频繁的更换籽晶，减少了更换籽晶所需的时间，且操作简单，有利于提升长晶效率。

20、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种籽晶夹持装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述籽晶的长度为180mm-360mm。

3.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述壳体组件包括：

4.根据权利要求3所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述第一配合部形成为限位卡凸，所述第二配合部形成为与所述限位卡凸配合的限位卡槽，所述第二配合部为沿上下方向间隔开的多个；

5.根据权利要求3所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述夹套组件包括：

6.根据权利要求5所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述第一夹套和所述第二夹套通过紧固件连接，所述第一夹套和所述第二夹套之间设有弹性件，用于驱动所述第一夹套和所述第二夹套朝向远离彼此的方向移动。

7.根据权利要求5所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述第一夹套和所述第二夹套的上端均设有限位滑槽，所述壳体上设有分别与两个所述限位滑槽配合的限位滑轨，所述限位滑轨可滑动地设于所述限位滑槽内，所述限位滑槽在所述第一夹套和所述第二夹套的排布方向上延伸。

8.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述加料组件包括：

10.根据权利要求9所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述主体部的上端设有连接部，所述连接部与所述主体部的内周壁连接，所述连接部的下表面设有定位柱，所述壳体组件的上端面设有与所述定位柱配合的定位槽。

11.根据权利要求9所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述下料通道沿所述固定部的周向螺旋向下延伸。

12.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

13.根据权利要求12所述的籽晶夹持装置，其特征在于，所述容纳腔的内壁面和所述传动件中的一个设有限位凸起，另一个设有与所述限位凸起配合的限位凹槽，所述限位凸起和所述限位凹槽中的至少一个沿上下方向延伸。

14.一种晶体生长设备，其特征在于，包括根据权利要求1-13中任一项所述的籽晶夹持装置。

技术总结
本技术公开了一种籽晶夹持装置和晶体生长设备，籽晶夹持装置包括：壳体组件，壳体组件内限定出容纳籽晶的容纳腔，容纳腔的下端敞开，籽晶的下端适于从容纳腔的下端敞开口伸出；驱动组件，驱动组件设于壳体组件上且用于驱动籽晶沿上下方向移动。根据本技术的籽晶夹持装置，在籽晶的长度无法满足下一根晶体的拉制要求时，可以通过驱动组件下移籽晶，使得籽晶伸出下端敞开口的长度满足拉晶所需的籽晶长度，仅需要对籽晶安装一次，即可实现多次晶体的拉制，无需频繁的更换籽晶，减少了更换籽晶所需的时间，且操作简单，有利于提升长晶效率。

技术研发人员：陈俊宏
受保护的技术使用者：中环领先（徐州）半导体材料有限公司
技术研发日：20221221
技术公布日：2024/1/12