玻璃板的制造方法、磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法和玻璃板的处理装置与流程

本发明涉及包括对于圆环形状的玻璃板的内周端面照射激光的处理的玻璃板的制造方法和使用了该玻璃板的制造方法的磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法、以及玻璃板的处理装置。

背景技术：

1、在用于数据记录的硬盘驱动器(hdd)装置中使用了在圆环形状的非磁性的磁盘用玻璃基板上设置磁性层而成的磁盘。

2、在制造磁盘用玻璃基板时，对于构成作为最终产品的磁盘用玻璃基板的坯板的圆环状的玻璃板的端面，为了防止微细的颗粒附着于主表面而对磁盘性能带来不良影响，也优选对容易产生颗粒的端面的表面进行平滑处理。另外，从将磁盘高精度地组装到hdd装置中的方面出发，优选将玻璃板的端面统一成目标形状，以使得在玻璃基板的主表面形成磁性膜时适合于把持玻璃基板的外周端面的夹具的把持。

3、作为用于使圆环形状的玻璃板的端面成为目标形状的方法，已知有使用激光对玻璃板的边缘进行倒角加工的方法。例如，已知有能够使用激光以低成本且容易地对信息记录介质用玻璃基板的内外周端面进行平滑处理的技术(专利文献1)。

4、具体地说，在进行内周端面的倒角加工的情况下，将反射镜配置在圆环形状的玻璃板的内孔，从玻璃板的主表面的上方朝向反射镜照射激光，将由反射镜反射的激光的反射光照射至内周端面。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1：日本特开2002-150546号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、但是，在使用上述技术对多个玻璃板的内周端面照射激光的情况下，为了使玻璃板与反射镜不会发生碰撞，例如在每次更换玻璃板时需要使反射镜从内孔退出或者移动至下一个加工的玻璃板的内孔内。这种情况下需要用于使反射镜移动的移动机构，并且反射镜的移动也要花费时间。另一方面，在移动玻璃板而不移动反射镜的情况下，移动路径也变得复杂。因此，使用反射镜的激光照射装置的装置构成变得复杂、并且生产率劣化。

3、因此，本发明的目的在于提供玻璃板的制造方法、磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘的制造方法，在对于圆环形状的玻璃板的内周端面进行激光的照射来制造玻璃板时，能够通过简化的装置构成进行激光的照射。

4、用于解决课题的手段

5、本发明的一个方式涉及一种玻璃板的制造方法，其包括沿着与圆环形状的玻璃板的内孔相符的内周端面照射激光的处理。

6、在上述处理中，在对上述内周端面照射上述激光时，利用聚光透镜使上述激光聚光后成为扩散光，使上述扩散光从相对于上述玻璃板的主表面倾斜的方向照射至上述内周端面。

7、优选通过上述处理，上述玻璃板的两侧的各个上述主表面与上述内周端面之间的角部被倒角。

8、上述激光的中心轴相对于上述主表面的倾斜角度优选为20度以下。

9、上述激光的扩散角度优选为20度以下。

10、优选通过上述处理，上述玻璃板的两侧的各个上述主表面与上述内周端面之间的角部被倒角；

11、上述角部被倒角的上述内周端面的截面形状为相对于穿过上述玻璃板的厚度方向的中心且与上述主表面平行的中心线呈线对称形状。

12、上述激光利用上述聚光透镜聚光的位置优选位于比夹着上述内孔的中心与上述激光在上述内周端面上的照射位置对置的上述内周端面的位置更靠径向外侧的包含上述主表面的平面的上方。

13、上述玻璃板优选为作为磁盘用玻璃基板的母板的玻璃基板。

14、上述激光的照射后，优选在不对上述内周端面进行研磨处理的情况下对上述玻璃板的主表面进行磨削或研磨。

15、本发明的另一方式为磁盘用玻璃基板的制造方法。该磁盘用玻璃基板的制造方法的特征在于，在通过上述玻璃板的制造方法制造玻璃板后，对上述玻璃板的主表面进行磨削或研磨来制造上述磁盘用玻璃基板。

16、本发明的又一方式为磁盘的制造方法，其特征在于，在通过上述磁盘用玻璃基板的制造方法制造出的玻璃板的主表面形成磁性膜。

17、本发明的再一方式为玻璃板的处理装置，其沿着与圆环形状的玻璃板的内孔相符的内周端面进行照射激光的处理。

18、在上述处理中，在对上述内周端面照射上述激光时，利用聚光透镜使上述激光聚光后成为扩散光，使上述扩散光从相对于上述玻璃板的主表面倾斜的方向照射至上述内周端面。

19、优选通过上述处理使上述玻璃板的两侧的各个上述主表面与上述内周端面之间的角部被倒角。

20、发明的效果

21、根据上述玻璃板的制造方法、磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法以及玻璃板的处理装置，在对于圆环形状的玻璃板的内周端面照射激光来制造玻璃板的装置中，能够通过简化的装置构成进行激光的照射。

技术特征：

1.一种玻璃板的制造方法，其是包括沿着与圆环形状的玻璃板的内孔相符的内周端面照射激光的处理的玻璃板的制造方法，其特征在于，

2.如权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中，所述激光的中心轴相对于所述主表面的倾斜角度为20度以下。

3.如权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，所述激光的扩散角度为20度以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述激光利用所述聚光透镜聚光的位置位于比夹着所述内孔的中心与所述激光在所述内周端面上的照射位置对置的所述内周端面的位置更靠径向外侧的包含所述主表面的平面的上方。

6.如权利要求1～5中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板是作为磁盘用玻璃基板的母板的玻璃基板。

7.如权利要求1～6中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，在所述激光的照射后，在不对所述内周端面进行研磨处理的情况下对所述玻璃板的主表面进行磨削或研磨。

8.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在通过权利要求1～6中任一项所述的玻璃板的制造方法制造玻璃板后，对所述玻璃板的主表面进行磨削或研磨来制造所述磁盘用玻璃基板。

9.一种磁盘的制造方法，其特征在于，在通过权利要求8所述的磁盘用玻璃基板的制造方法制造出的玻璃板的主表面形成磁性膜。

10.一种玻璃板的处理装置，其是进行沿着与圆环形状的玻璃板的内孔相符的内周端面照射激光的处理的玻璃板的处理装置，其特征在于，在所述处理中，在对所述内周端面照射所述激光时，利用聚光透镜使所述激光聚光后成为扩散光，使所述扩散光从相对于所述玻璃板的主表面倾斜的方向照射至所述内周端面。

技术总结
玻璃板的制造方法包括沿着与圆环形状的玻璃板的内孔相符的内周端面照射激光的处理。在对上述内周端面照射上述激光时，利用聚光透镜使上述激光聚光后成为扩散光，使上述扩散光从相对于上述玻璃板的主表面倾斜的方向照射至上述内周端面。

技术研发人员：东修平
受保护的技术使用者：豪雅株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15