本发明涉及ito粉，具体是指一种重掺杂ito粉的制备方法。
背景技术：
1、ito是一种在氧化铟中(in2o3)掺杂氧化锡(sno2)的半导体氧化物，应用于tft-lcd、oled等高端显示屏领域的ito,其sno2质量分数可达10％，属于一种重掺杂半导体。目前sno2的掺杂分为两种工艺路线：
2、(1)利用共沉淀工艺，按质量分数in2o3：sno2＝90:10配置in、sn盐溶液，碱滴定共沉淀制备氢氧化铟锡，然后煅烧分解成ito粉体(90:10)，再成型、烧结；
3、(2)单独制备in2o3粉体和sno2粉体，然后机械混合，再成型、烧结。10wt％的sno2已经超出了sn在in2o3的固溶度。
4、对于第一种共沉淀工艺，在烧结温度达到1100℃，会有sno2偏析，然后在温度升至1400℃以上时偏析的sno2与in2o3生成in4sn3o12相，整个过程中sno2偏析均匀性及二次相生成无法控制；第二种in2o3粉体和sno2粉体的机械掺杂工艺，在烧结过程中伴随着大量sn固溶到in2o3的过程，需要较长的烧结工艺时间，且此工艺固溶度的均匀性一致性较差，固溶度直接影响最终产品的电学性能。
技术实现思路
1、本发明要解决的技术问题是克服以上技术困难，提供一种能够避免上述两种工艺的缺陷的一种重掺杂ito粉的制备方法。
2、为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为：
3、一种重掺杂ito粉的制备方法，所述重掺杂ito粉的制备方法包括以下步骤：
4、步骤一、按sno2质量分数6％配制in、sn盐溶液，共沉淀制备氢氧化铟锡，煅烧后得到完全固溶状态的ito粉；
5、步骤二、按sno2质量分数4％加入第一步的ito粉中，机械混合均匀。
6、所述金属铟用硝酸溶解制备铟盐溶液，加入无水sncl4液体(按sno2质量分数6％核算，重量in：sncl4＝1000:138)。
7、所述in/sn盐溶液混合均匀后，水浴加热恒温至40℃，氨水稀释至10％质量浓度，按流速80l/h，滴加至in/sn盐溶液中，控制终点ph8～8.3，滴加完成后保持水浴恒温40℃，且持续搅拌8～12h，得到氢氧化铟锡的沉淀。
8、所述的氢氧化铟锡的沉淀，通过洗涤除去杂质离子，干燥除去水分后，进入电阻炉，800～1000℃高温煅烧，得到氧化铟锡粉体，经物相检测，该粉体为单一in2o3，氧化锡完全固溶其中。
9、所述的含6％sno2的粉体，加入4％sno2粉体(重量in：sno2＝1000:56.7),球磨混合均匀，即得到最终的ito粉体(质量分数in2o3：sno2＝90:10)。
10、所述的ito粉体适用于冷等静压及注浆两种成型方式，按照sno2在in2o3中的固溶度分布配制而成，避免了后期烧结过程的固溶、及偏析现象的发生，可以大幅度提高ito靶材组织成分的均匀性及电学稳定性，同时缩短了烧结过程中的化学迁移过程，降低了了烧结时间，最高温保温时间可缩短40％。
11、本发明与现有技术相比的优点在于：本发明制备的粉体sn元素在in2o3相固溶及颗粒间分布均匀，避免了后期烧结过程的固溶、及偏析现象的发生，可以大幅度提高ito靶材组织成分的均匀性及电学稳定性，同时缩短了烧结过程中的化学迁移过程，降低了了烧结时间。
1.一种重掺杂ito粉的制备方法，其特征在于，所述重掺杂ito粉的制备方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种重掺杂ito粉的制备方法，其特征在于：所述金属铟用硝酸溶解制备铟盐溶液，加入无水sncl4液体(按sno2质量分数6％核算，重量in：sncl4＝1000:138)。
3.根据权利要求1所述的一种重掺杂ito粉的制备方法，其特征在于：所述in/sn盐溶液混合均匀后，水浴加热恒温至40℃，氨水稀释至10％质量浓度，按流速80l/h，滴加至in/sn盐溶液中，控制终点ph8～8.3，滴加完成后保持水浴恒温40℃，且持续搅拌8～12h，得到氢氧化铟锡的沉淀。
4.根据权利要求3所述的一种重掺杂ito粉的制备方法，其特征在于：所述的氢氧化铟锡的沉淀，通过洗涤除去杂质离子，干燥除去水分后，进入电阻炉，800～1000℃高温煅烧，得到氧化铟锡粉体，经物相检测，该粉体为单一in2o3，氧化锡完全固溶其中。
5.根据权利要求4所述的一种重掺杂ito粉的制备方法，其特征在于：所述的含6％sno2的粉体，加入4％sno2粉体(重量in：sno2＝1000:56.7),球磨混合均匀，即得到最终的ito粉体(质量分数in2o3：sno2＝90:10)。
6.根据权利要求5所述的一种重掺杂ito粉的制备方法，其特征在于：所述的ito粉体适用于冷等静压及注浆两种成型方式，按照sno2在in2o3中的固溶度分布配制而成，避免了后期烧结过程的固溶、及偏析现象的发生，可以大幅度提高ito靶材组织成分的均匀性及电学稳定性，同时缩短了烧结过程中的化学迁移过程，降低了了烧结时间，最高温保温时间可缩短40％。