一种单晶炉晶体提升旋转机构的制作方法

文档序号:37194280发布日期:2024-03-01 13:07阅读:18来源:国知局
一种单晶炉晶体提升旋转机构的制作方法

本发明涉及单晶炉设备,具体涉及一种单晶炉晶体提升旋转机构。


背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、在公开号:cn116024651a,公开日:2023-04-28,名称为《一种用于单晶炉的单晶提升机构及单晶炉》的发明专利申请中,其包括:晶转组件、晶升组件和定滑轮组件,晶转组件的顶部与晶升组件相连,且定滑轮组件设置于晶升组件上。晶升组件包括连接底盘、箱体、卷丝结构和压线结构。卷丝结构能够缠绕多圈卷丝绳,且能够通过旋转对卷丝绳进行收放。压线结构设置于卷丝结构的一侧,当卷丝绳出现跳线的情况时,压线结构能够朝向卷丝结构的一侧压紧卷丝绳,以使卷丝绳与卷丝结构重新相抵。定滑轮组件设置于晶升组件上,定滑轮组件用于将卷丝绳旋转转变为上下升降。通过在卷丝结构的一侧设置压线结构,在卷丝绳出现跳绳的现象时,当卷丝绳与压线机构接触时,压线机构能够朝向卷丝结构的一侧压紧卷丝绳,防止卷丝绳脱离绕线槽的现象。

3、在包括上述专利的现有技术中,通过单晶炉将金属、硅等无机材料进行融化成液体的过程后,由于其具有流动性,且在拉制的过程中,由于其韧性不强,导致在拉制的过程中出现断裂等情况。


技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种单晶炉晶体提升旋转机构,以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

3、一种单晶炉晶体提升旋转机构,包括支架,还包括:滚筒:其转动连接在支架上;搓料块:其设置在滚筒内,搓料块相对于滚筒发生摆动,且搓料块具有一个对金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶的位置;传动机构:其设置在支架上,所述传动机构用于驱动滚筒转动的同时还驱动搓料块摆动;当所述传动机构带动滚筒转动的行程中还驱动搓料块转动,使得搓料块向下对金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶。

4、优选的,所述支架相对的两侧均固定连接有支座,各所述支座分别位于滚筒的端面,且各支座与滚筒转动连接。

5、优选的,所述传动机构包括第一驱动组件以及第二驱动组件,所述第一驱动组件用于驱动滚筒转动,所述第二驱动组件用于搓料块转动并对金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶。

6、优选的,所述第一驱动组件包括同轴固定安装在滚筒上的第一齿轮以及转动连接在支架上的第二齿轮,所述第一齿轮与第二齿轮啮合,且第二齿轮接受电机驱动。

7、优选的,所述第二驱动组件包括第一执行单元以及第二执行单元,所述第一执行单元用于驱动搓料块摆动,所述第二执行单元用于驱动搓料块向下运动对金属、硅等无机材料进而揉搓,提高其韧性。

8、优选的,所述第一执行单元包括两个传送轮以及套在各传送轮上的连接带,其中一个传送轮转动连接在连接支架上,另一个传送轮转动与第二齿轮同轴固定连接。

9、优选的,所述第一执行单元还包括两个转盘,各转盘分别转动连接在各支架上,且其中一个转盘与转动连接在连接支架上的传送轮同轴固定连接。

10、优选的,所述第二执行单元铰接在各支架上的伸缩件,各伸缩件的端部与搓料块固定连接,且各伸缩件接受与其对应设置的转盘驱动。

11、优选的,各所述伸缩件包括端部铰接在与其对应设置支架上的第一摆杆以及端部固定连接在搓料块上的第二摆杆,所述第一摆杆与第二摆杆滑动连接。

12、优选的,各所述第二摆杆上固定连接有一传动销,各所述支座上均开设有一与传动销相适配的连接槽。

13、在上述技术方案中,本发明提供的一种单晶炉晶体提升旋转机构,通过传动组件带动滚筒转动,进而使滚筒在转动的同时还驱动搓料块在滚筒内发生摆动,使得搓料块对滚筒内的金属、硅等无机材料进行翻动的同时还驱动搓料块向下运动,进而将融化的金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶。



技术特征:

1.一种单晶炉晶体提升旋转机构,包括支架(1),其特征在于,还包括:滚筒(1.1):其转动连接在支架(1)上;

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述支架(1)相对的两侧均固定连接有支座(1.2),各所述支座(1.2)分别位于滚筒(1.1)的端面,且各支座(1.2)与滚筒(1.1)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述传动机构包括第一驱动组件以及第二驱动组件,所述第一驱动组件用于驱动滚筒(1.1)转动,所述第二驱动组件用于搓料块(1.26)转动并对金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述第一驱动组件包括同轴固定安装在滚筒(1.1)上的第一齿轮(1.10)以及转动连接在支架(1)上的第二齿轮(1.4),所述第一齿轮(1.10)与第二齿轮(1.4)啮合,且第二齿轮(1.4)接受电机(1.3)驱动。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述第二驱动组件包括第一执行单元以及第二执行单元,所述第一执行单元用于驱动搓料块(1.26)摆动,所述第二执行单元用于驱动搓料块(1.26)向下运动对金属、硅等无机材料进而揉搓,提高其韧性。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述第一执行单元包括两个传送轮(1.20)以及套在各传送轮(1.20)上的连接带(1.21),其中一个传送轮(1.20)转动连接在连接支架(1)上,另一个传送轮(1.20)转动与第二齿轮(1.4)同轴固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述第一执行单元还包括两个转盘(1.23),各转盘(1.23)分别转动连接在各支架(1)上,且其中一个转盘(1.23)与转动连接在连接支架(1)上的传送轮(1.20)同轴固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,所述第二执行单元铰接在各支架(1)上的伸缩件,各伸缩件的端部与搓料块(1.26)固定连接,且各伸缩件接受与其对应设置的转盘(1.23)驱动。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,各所述伸缩件包括端部铰接在与其对应设置支架(1)上的第一摆杆(1.24)以及端部固定连接在搓料块(1.26)上的第二摆杆(1.25),所述第一摆杆(1.24)与第二摆杆(1.25)滑动连接。

10.根据权利要求9所述的一种单晶炉晶体提升旋转机构,其特征在于,各所述第二摆杆(1.25)上固定连接有一传动销(1.250),各所述支座(1.2)上均开设有一与传动销(1.250)相适配的连接槽(1.200)。


技术总结
本发明公开了一种单晶炉晶体提升旋转机构,涉及单晶炉设备领域,包括支架,还包括:滚筒:其转动连接在支架上;搓料块:其设置在滚筒内,搓料块相对于滚筒发生摆动,且搓料块具有一个对金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶的位置;传动机构:其设置在支架上,传动机构用于驱动滚筒转动的同时还驱动搓料块摆动;当传动机构带动滚筒转动的行程中还驱动搓料块转动,使得搓料块向下对金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶。本发明提供的一种单晶炉晶体提升旋转机构,通过传动组件带动滚筒转动,进而使滚筒在转动的同时还驱动搓料块在滚筒内发生摆动,使得搓料块对滚筒内的金属、硅等无机材料进行翻动的同时还驱动搓料块向下运动,进而将融化的金属、硅等无机材料进行揉搓形成籽晶。

技术研发人员:严才根,廖加彬,李忠泽,程水宫,丁双富
受保护的技术使用者:杭州顶星电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/29
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