一种新型导流筒的制作方法

本技术涉及导流筒领域，更具体地说，涉及一种新型导流筒。

背景技术：

1、导流筒作为单晶炉的一个重要部件，在单晶硅的生产中起到了重要的作用，单晶炉的导流筒对晶体生长有很大影响。使用导流筒可以减少炉体上部的氩气流动涡胞，进而减少si02在单晶炉上部的沉积，从而确保拉制的单晶硅棒具有很高的质量；

2、然而，现有的导流筒对氩气气流的流速没有什么实质性的帮助，进而使得单晶生长固液界面存在着较多的潜热而无法被带走，使得单晶氧含量较多，进而造成单晶硅的质量没有保障，且使得生长的速率也受到一定的限制。

技术实现思路

1、1.要解决的技术问题

2、针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种新型导流筒，它可以实现提升晶体生长速度，降低晶体中氧含量，保障了晶体的质量。

3、2.技术方案

4、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

5、一种新型导流筒，包括导流筒外罩，所述导流筒外罩的底部设置有底部环形罩，所述底部环形罩的外侧固定有多个流道；

6、所述导流筒外罩的外侧安装有导流组件，所述导流组件用于导流气体。

7、进一步的，所述导流组件包括有撑托环，所述撑托环固定于所述导流筒外罩的外侧，所述撑托环的顶部安装有固定环，所述固定环内侧的底部设置有导流环槽，所述导流环槽顶部的两侧均设置有弧形槽，两个所述弧形槽通过一平流道相连接。

8、进一步的，所述撑托环的顶部设置有多个卡紧块，所述固定环的底部设置有与所述卡紧块数量相同且位置对应的卡紧槽。

9、进一步的，所述流道为弧状三角形。

10、进一步的，两个所述弧形槽形状相同且位置对称。

11、进一步的，所述卡紧块的外径小于所述卡紧槽的内径。

12、3.有益效果

13、相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

14、本方案在导流筒外罩底部增加流道，可提高气流在导流筒外罩底部流过的速率，降低炉体上部的气流漩涡，减少sio2在热场上部的沉积概率，并且增加的导流流道占据底部一部分空间，阻挡热量传递，降低功耗，同时气流增强带走更多结晶潜热，提升晶体生长速度，降低晶体中氧含量，保障了晶体的质量。

技术特征：

1.一种新型导流筒，包括导流筒外罩(1)，其特征在于：所述导流筒外罩(1)的底部设置有底部环形罩(2)，所述底部环形罩(2)的外侧固定有多个流道(3)；

2.根据权利要求1所述的一种新型导流筒，其特征在于：所述导流组件包括有撑托环(8)，所述撑托环(8)固定于所述导流筒外罩(1)的外侧，所述撑托环(8)的顶部安装有固定环(4)，所述固定环(4)内侧的底部设置有导流环槽(5)，所述导流环槽(5)顶部的两侧均设置有弧形槽(6)，两个所述弧形槽(6)通过一平流道(7)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种新型导流筒，其特征在于：所述撑托环(8)的顶部设置有多个卡紧块(9)，所述固定环(4)的底部设置有与所述卡紧块(9)数量相同且位置对应的卡紧槽(10)。

4.根据权利要求1所述的一种新型导流筒，其特征在于：所述流道(3)为弧状三角形。

5.根据权利要求2所述的一种新型导流筒，其特征在于：两个所述弧形槽(6)形状相同且位置对称。

6.根据权利要求3所述的一种新型导流筒，其特征在于：所述卡紧块(9)的外径小于所述卡紧槽(10)的内径。

技术总结
本技术公开了一种新型导流筒，属于导流筒领域，一种新型导流筒，包括导流筒外罩，导流筒外罩的底部设置有底部环形罩，底部环形罩的外侧固定有多个流道，导流筒外罩的外侧安装有导流组件，导流组件用于导流气体，导流组件包括有撑托环，撑托环固定于导流筒外罩的外侧，撑托环的顶部安装有固定环，固定环内侧的底部设置有导流环槽，导流环槽顶部的两侧均设置有弧形槽，两个弧形槽通过一平流道相连接，撑托环的顶部设置有多个卡紧块，固定环的底部设置有与卡紧块数量相同且位置对应的卡紧槽，流道为弧状三角形，两个弧形槽形状相同且位置对称；它可以实现提升晶体生长速度，降低晶体中氧含量，保障了晶体的质量。

技术研发人员：杨昊,王保强
受保护的技术使用者：弘元新材料（包头）有限公司
技术研发日：20230106
技术公布日：2024/1/13