一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置的制作方法

本技术涉及化学工程，尤其涉及一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置。

背景技术：

1、为了去除单晶硅棒因外圆表面磨削加工之后产生的表面机械损伤和表面玷污，更有利于后续的加工，对单晶硅棒表面进行酸腐蚀处理，但人工对单晶硅棒进行酸腐蚀处理时安全性较差，氮氧化物的溢出率也较高。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的缺陷和不足，本实用新型提供一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，不仅能够在单晶硅棒的表面充分接触酸液进行酸腐蚀的同时保证操作人员的安全性，还能降低操作过程中氮氧化物的溢出率。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动连接，支撑杆的另一端与推拉杆的一端固定连接。

3、优选的，承载盒的底部设有若干个隔板。

4、进一步的，承载盒提竿上设有卡口，支撑杆的下方设有能够与卡口进行卡合的卡接件，支撑杆通过卡接件和卡口与承载盒提竿活动连接。

5、进一步的，推拉杆的另一端设有把手。

6、与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

7、本实用新型在承载盒基础上增加固定于槽体底部的半圆杆及上部推拉杆，通过在安全距离外操作推拉杆，增大了酸腐蚀过程中操作人员进行手动晃动操作的安全距离。

8、本实用新型使用时可以关闭机台的升降门至最低点，有效阻止酸腐蚀过程中氮氧化物的外溢。

技术特征：

1.一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，其特征在于，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动连接，支撑杆的另一端与推拉杆的一端固定连接。

2.如权利要求1所述的一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，其特征在于，承载盒的底部设有若干个隔板。

3.如权利要求1或2所述的一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，其特征在于，承载盒提竿上设有卡口，支撑杆的下方设有能够与卡口进行卡合的卡接件，支撑杆通过卡接件和卡口与承载盒提竿活动连接。

4.如权利要求1所述的一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，其特征在于，推拉杆的另一端设有把手。

技术总结
本技术涉及一种用于单晶硅棒槽式酸腐蚀的可晃动承载装置，包括固定于槽体底部的半圆杆、承载盒、承载盒提竿、支撑杆和推拉杆；所述半圆杆圆弧面朝上，承载盒放置半圆杆上；承载盒提竿固定在承载盒的上方；承载盒提竿与支撑杆的一端通过连接件进行活动连接，支撑杆的另一端与推拉杆的一端固定连接。本技术通过在承载盒基础上增加底部半圆杆及上部推拉杆，通过在安全距离外操作推拉杆，增大了酸腐蚀过程中操作人员进行手动晃动操作的安全距离。

技术研发人员：姚剑龙,周涛,宋亚峰
受保护的技术使用者：洛阳鸿泰半导体有限公司
技术研发日：20230120
技术公布日：2024/1/12