一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置的制作方法

本技术属于真空设备领域或半导体设备领域，尤其涉及一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置。

背景技术：

1、目前，真空设备的电极法兰只可以作为导体使用，无法做到即可以作为导体使用，还可以直接给真空室内部加热体冷却。而且传统电极材料为了可以在高温下工作，都是采用石墨材料作为电极使用。但是在半导体行业，特别是生产氮化硅晶体的设备，都需要在真空室内部，给氮化硅原材料施加高温(>1000℃)来实现氮化硅晶体的生长。

2、现有真空设备的内部加热线圈无法直接被冷却，所以当加热感应线圈使用大功率(>15kw)时，真空室内部加热感应线圈温度升高，如果不能使加热线圈冷却，加热感应线圈长时间在高温环境下工作，会造成加热感应线圈变形，甚至损坏，从而影响碳化硅晶体的质量。

技术实现思路

1、本实用新型就是针对现有技术存在的缺陷，提供一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括安装有真空电极的真空电极法兰，其特征在于，所述真空电极法兰的法兰盘上开设有法兰水冷通道，该法兰水冷通道的一端设置有水冷法兰进水口，法兰水冷通道的另一端设置有水冷法兰出水口。

3、进一步地，所述真空电极内开设有电极水冷通道，与真空电极相连的加热线圈内开设有线圈水冷通道，电极水冷通道与线圈水冷通道相连通，构成线圈内部水路。

4、更进一步地，两个真空电极中，其中一个真空电极的自由端设置加热线圈进水口，另一真空电极的自由端设置加热线圈出水口；加热线圈进水口及加热线圈出水口均与对应的电极水冷通道相连通。

5、进一步地，所述真空电极与法兰盘之间的绝缘套采用聚四氟绝缘套。

6、与现有技术相比本实用新型有益效果。

7、本实用新型通过改变真空设备陶封电极及石墨电极结构，增加电极与法兰的内部冷却系统，解决真空室内部感应线圈无法冷却问题。

8、当真空室内部有多组加热感应线圈时，在法兰上安装多组水冷电极给线圈降温使用，即节省了真空室内部与外部的设计空间，也节省了各类成本。

技术特征：

1.一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置，包括安装有真空电极的真空电极法兰；其特征在于：所述真空电极法兰的法兰盘上开设有法兰水冷通道，该法兰水冷通道的一端设置有水冷法兰进水口，法兰水冷通道的另一端设置有水冷法兰出水口。

2.根据权利要求1所述的一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置，其特征在于：所述真空电极内开设有电极水冷通道，与真空电极相连的加热线圈内开设有线圈水冷通道，电极水冷通道与线圈水冷通道相连通，构成线圈内部水路。

3.根据权利要求2所述的一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置，其特征在于：两个真空电极中，其中一个真空电极的自由端设置加热线圈进水口，另一真空电极的自由端设置加热线圈出水口；加热线圈进水口及加热线圈出水口均与对应的电极水冷通道相连通。

4.根据权利要求1所述的一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置，其特征在于：所述真空电极与法兰盘之间的绝缘套采用聚四氟绝缘套。

技术总结
本技术属于真空设备领域或半导体设备领域，尤其涉及一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置。其增加电极与法兰的内部冷却系统，解决真空室内部感应线圈无法冷却问题。其包括安装有真空电极的真空电极法兰，其特征在于，所述真空电极法兰的法兰盘上开设有法兰水冷通道，该法兰水冷通道的一端设置有水冷法兰进水口，法兰水冷通道的另一端设置有水冷法兰出水口。

技术研发人员：赵科新,孟凡利,王海涛,王学峰,孙浩
受保护的技术使用者：沈阳天科合达半导体设备有限公司
技术研发日：20230217
技术公布日：2024/1/12