本技术属于太阳能直拉单晶硅制造、直拉单晶硅热场改造领域,尤其是涉及一种改善直拉单晶炉副室的定位装置。
背景技术:
1、目前,现代下游产业对硅片品质依赖度日益增加,因此对热场的设计要求越来越高。好的热场必须以高寿命,低成本为主要探索路线。传统热场设备中的定位销其材料为“不锈钢”同时在其外部套了一个四氟套材料,在生产过程中容易发生:1.铁屑掉落在炉盖脖腔上沿密封圈中,在人员打开单晶炉维修时掉落在单晶炉内部,污染单晶炉内部环境,该金属杂质严重影响单晶的生产情况造成断苞及单晶硅棒寿命的降低。2.四氟套材料其一般不耐挤压容易磨损同时掉落在炉盖脖腔上沿密封圈中造成人员清理麻烦及加大了维修成本。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的问题是提供一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,有效防止定位销磨损污染单晶硅生长环境。
2、为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,包括:导向头、第一连接部、第二连接部和导向部,所述导向头、所述第一连接部、所述导向部和所述第二连接部依次连接,所述导向头、所述第一连接部、所述导向部和所述第二连接部的外部均包覆有渗碳层。
3、进一步的,所述渗碳层的厚度为3-5mm。
4、进一步的,所述导向头为锥形导向头。
5、进一步的,所述导向头靠近所述第一连接部的一端与所述第一连接部成阶梯设置。
6、进一步的,所述第二连接部的外部开设有固定安装的外螺纹。
7、进一步的,所述导向部的外径均大于所述第一连接部和所述第二连接部的外径。
8、进一步的,所述导向部靠近所述第一连接部的一端开设有倒角。
9、由于采用上述技术方案,具有以下有益效果:
10、通过在定位销的基础上,在其外部包覆有渗碳层,该材质表面耐磨损,不宜掉落,防止了不锈钢材质的铁屑掉落单晶炉内污染单晶硅生长环境,同时降低了热场清理维修成本以及减少了成晶过程中杂质污染的可能性。同时结构简单,维修方便,加工成本低。
1.一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于,包括:导向头、第一连接部、第二连接部和导向部,所述导向头、所述第一连接部、所述导向部和所述第二连接部依次连接,所述导向头、所述第一连接部、所述导向部和所述第二连接部的外部均包覆有渗碳层。
2.根据权利要求1所述的一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于:所述渗碳层的厚度为3-5mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于:所述导向头为锥形导向头。
4.根据权利要求1所述的一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于:所述导向头靠近所述第一连接部的一端与所述第一连接部成阶梯设置。
5.根据权利要求1所述的一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于:所述第二连接部的外部开设有固定安装的外螺纹。
6.根据权利要求1所述的一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于:所述导向部的外径均大于所述第一连接部和所述第二连接部的外径。
7.根据权利要求6所述的一种改善直拉单晶炉副室的定位装置,其特征在于:所述导向部靠近所述第一连接部的一端开设有倒角。