微波等离子单晶制备仪的制作方法

本技术涉及微波等离子单晶制备，具体为微波等离子单晶制备仪。

背景技术：

1、在微波等离子单晶的制备过程中，就需要用到微波等离子单晶制备仪，比如：微波等离子体cvd系统仪器。

2、目前市场上的一些微波等离子体cvd系统仪器，其制备结构较为简单，每次只能进行单份单晶体的制备，无法同时进行多份单晶体的制备，其制备效率较低，有待改进。

3、所以我们提出了微波等离子单晶制备仪，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于解决目前市场上的一些微波等离子体cvd系统仪器，其制备结构较为简单，每次只能进行单份单晶体的制备，无法同时进行多份单晶体的制备，其制备效率较低，有待改进的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器，所述微波发生器侧面设置有机构架，所述机构架包括上支撑板和下支撑板，所述上支撑板下表面设置有支撑腿，所述上支撑板上表面开设有升降槽口，且所述上支撑板上方对应升降槽口的位置设置有连接板，所述连接板两端均连接有l形支撑杆，所述l形支撑杆的一端与上支撑板相固定，所述连接板下表面设置有多个上罩体，所述微波发生器侧面连接有第一波导管，所述第一波导管侧面设置有多个与上罩体相连通的第二波导管，所述上支撑板上表面设置有活塞机构，所述上罩体侧面开设有活塞筒，所述连接板上表面设置有多个与上罩体相连通的进气管，所述下支撑板下表面设置有多个第一气缸，所述第一气缸的活塞杆顶端连接有升降板，所述升降板的上表面设置有多个与上罩体相对应的下罩体，所述下罩体内设置有基片加热台，所述基片加热台上设置有基片，所述下罩体表面连接有抽气管。

3、进一步地，所述基片加热台内开设有加热腔，所述加热腔内设置有电加热管，所述基片加热台内设置有与电加热管相连接的电连接线，所述升降板内开设有排线腔，且所述升降板侧面设置有与排线腔相连通的接线护套。

4、进一步地，所述上罩体的底部连接有卡环，所述下罩体顶端开设有与卡环相适配的环形卡槽，所述卡环表面包覆设置有第一密封橡胶垫，所述环形卡槽内设置有第二密封橡胶垫。

5、进一步地，所述活塞机构包括与上支撑板相连接的支撑架，所述支撑架上设置有第二气缸，所述第二气缸的活塞杆一端连接有推板，所述推板侧面连接有多个推杆，所述推杆的一端连接有与活塞筒相适配的活塞头。

6、进一步地，所述下支撑板上表面对称设置有限位杆，所述升降板表面靠近两端的位置对称开设有限位孔，所述限位孔与限位杆滑动连接。

7、进一步地，所述电加热管设置为平面螺旋结构。

8、进一步地，所述上罩体和下罩体均采用石英罩。

9、本实用新型的有益效果：通过在连接板下表面设置有多个上罩体，在微波发生器侧面连接有第一波导管，所述第一波导管侧面设置有多个与上罩体相连通的第二波导管，在多个上罩体侧面开设有活塞筒，以及在连接板上表面设置有多个与上罩体相连通的进气管，在升降板的上表面设置有多个与上罩体相对应的下罩体，在下罩体表面连接有抽气管，在下罩体的基片加热台上设置有基片，能够通过上罩体、第一波导管、第二波导管、活塞筒、活塞机构、进气管、下罩体、抽气管、以及基片加热台和基片之间的配合，能够同时进行多份单晶体的制备，大大提高了效率。

技术特征：

1.微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器(1)，其特征在于：所述微波发生器(1)侧面设置有机构架(2)，所述机构架(2)包括上支撑板(201)和下支撑板(202)，所述上支撑板(201)下表面设置有支撑腿(203)，所述上支撑板(201)上表面开设有升降槽口(2011)，且所述上支撑板(201)上方对应升降槽口(2011)的位置设置有连接板(3)，所述连接板(3)两端均连接有l形支撑杆(4)，所述l形支撑杆(4)的一端与上支撑板(201)相固定，所述连接板(3)下表面设置有多个上罩体(5)，所述微波发生器(1)侧面连接有第一波导管(6)，所述第一波导管(6)侧面设置有多个与上罩体(5)相连通的第二波导管(7)，所述上支撑板(201)上表面设置有活塞机构(8)，所述上罩体(5)侧面开设有活塞筒(9)，所述连接板(3)上表面设置有多个与上罩体(5)相连通的进气管(10)，所述下支撑板(202)下表面设置有多个第一气缸(11)，所述第一气缸(11)的活塞杆顶端连接有升降板(12)，所述升降板(12)的上表面设置有多个与上罩体(5)相对应的下罩体(13)，所述下罩体(13)内设置有基片加热台(14)，所述基片加热台(14)上设置有基片(15)，所述下罩体(13)表面连接有抽气管(18)。

2.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述基片加热台(14)内开设有加热腔，所述加热腔内设置有电加热管(16)，所述基片加热台(14)内设置有与电加热管(16)相连接的电连接线(17)，所述升降板(12)内开设有排线腔(121)，且所述升降板(12)侧面设置有与排线腔(121)相连通的接线护套(19)。

3.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述上罩体(5)的底部连接有卡环(20)，所述下罩体(13)顶端开设有与卡环(20)相适配的环形卡槽，所述卡环(20)表面包覆设置有第一密封橡胶垫(21)，所述环形卡槽内设置有第二密封橡胶垫(22)。

4.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述活塞机构(8)包括与上支撑板(201)相连接的支撑架(81)，所述支撑架(81)上设置有第二气缸(82)，所述第二气缸(82)的活塞杆一端连接有推板(83)，所述推板(83)侧面连接有多个推杆(84)，所述推杆(84)的一端连接有与活塞筒(9)相适配的活塞头(85)。

5.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述下支撑板(202)上表面对称设置有限位杆(23)，所述升降板(12)表面靠近两端的位置对称开设有限位孔，所述限位孔与限位杆(23)滑动连接。

6.根据权利要求2所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述电加热管(16)设置为平面螺旋结构。

7.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述上罩体(5)和下罩体(13)均采用石英罩。

技术总结
本技术涉及微波等离子单晶制备技术领域，且公开了微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器，该微波等离子单晶制备仪，能够通过上罩体、第一波导管、第二波导管、活塞筒、活塞机构、进气管、下罩体、抽气管、以及基片加热台和基片之间的配合，能够同时进行多份单晶体的制备，大大提高了效率。

技术研发人员：李少梅,汪纪彬
受保护的技术使用者：郑州成越科学仪器有限公司
技术研发日：20230308
技术公布日：2024/1/13